Xüsusi qazın son qazının işarələnməsi üçün istifadə olunur!

Uduşluq müalicət cihazları, polümer, sıvı kristal və solary enerji sənayələrində istifadə olunan etçilma prosesləri və kimyəvi buhar depozisiyası prosesləri ilə bağlı qazları işləyə bilər, buna SiH4, SiH2Cl2, PH3, B2H6, TEOS, H2, CO, NF3, SF6, C2F6, WF6, NH3, N2O və digərləri daxildir.

Ədvazın müalicə edilmə metodu

Ədvazın müalicə edilmə xüsusiyyətlərinə əsasən, müalicədən dörd növ müalicə bölünür:

1. Su yeməkli növ (kərorəst qazların müalicəsi)

2. Oksidasiya növu (yanğın və zehərli qazlarla üzləşmək)

3. Assimilasiya (assimilasiya materialının növü əsasında uyğun ədvazın müalicəsi).

4.Plasma yanma növu (bütün növ ədvazları müalicə edə bilər).

Hər bir tür tedbirin özünləri və eksiklikləri var ki, bu da istifadə sahələrini də əhatə edir. Tedbir üsulu su ilə yuvarlama olduğunda, texnikalar ucuz və sadədir və yalnız su ilə çözünən qazları işləyə bilər; elektrikli su yuvarlaması növü su yuvarlamasından daha yüksəkdir, lakin idarəetmə maliyyəsi yüksəkdir; quru növü yaxşı işləmə effektivliyinə malikdir və blok olunan və ya akışlı qaz potokuşuna uyğun deyil.

Semi-kondüktor sənayesində ümumiyyətlə istifadə olunan kimyəvi maddələr və onların yan məhsulları kimyəvi xüsusiyyətlərə və fərqli diapazonlarına görə təsnif edilə bilər:

1. SiH4H2 kimi yanğın qazlar.

2. AsH3, PH3 kimi zehrlı qazlar.

3. HF, HCl kimi koroziv qazlar.

4. CF4, NF3 kimi seranya qazları.

Üstəkda qeyd edilən dörd qaz çevrə və ya insan cismi üçün təhlükəlidir, ona görə də onların doğrudan atmosferə salınmasını məhdudlaşdırmaq lazımdır, beləliklə, ümumi semiconductor fabrikalarında böyük mərkəzi mühəndisliyi qaz idarə etmə sistemləri quraşdırılır, lakin bu sistem yalnız su ilə əlaqədar qazları işləyir, ona görə də uzun məsafəli suya həll olunan qazlara tətbiq olunur və semiconductor prosesinin dəyişən və məhkəmləşən qaz problemlərini həll etmək mümkün deyil. Beləliklə, hər bir prosesdən nəticə olaraq yaranan qaz xüsusiyyətlərinə əsasən uyğun qaz idarəetmə texnikası seçilməsi və uyğunlaşdırılması lazımdır ki, prosesin daha kiçik səviyyəsində qaz problemini həll etmək mümkünsün. İş sahəsi ən çox mərkəzi qaz idarəetmə sistemindən uzaqdadır, bu da qaz xüsusiyyətlərinə görə borluqlarda kristalllaşma və toz toplanması səbəbindən borluqların təkanmasından, qaz sökülmesinə və ciddi hallarda hətta fırlantıya səbəb olur, işçilərin işinizdə təhlükəsizliyini təmin etmək mümkün deyil. Beləliklə, iş sahəsində proses qazlarının xüsusiyyətlərinə uyğun gələn kiçik qaz idarəetmə texnikası quraşdırılmalıdır ki, iş sahəsində qalan qazların sayını azaltmaq və şəxslərin təhlükəsizliyini təmin etmək üçün.