Xüsusi qaz quyruq qazının təmizlənməsi qazının tətbiqi! Azərbaycan

Quyruq qazının təmizlənməsi avadanlığı SiH4, SiH2Cl2, PH3, B2H6, TEOS, H2, CO, NF3, SF6, C2F6, WF6 daxil olmaqla yarımkeçirici, maye kristal və günəş enerjisi sənayelərində aşındırma proseslərində və kimyəvi buxar çökmə proseslərində istifadə olunan qazları idarə edə bilər. , NH3, N2O və s.

Egzoz qazının təmizlənməsi üsulu

Egzoz qazının təmizlənməsinin xüsusiyyətlərinə görə, müalicə dörd növ müalicəyə bölünə bilər:

1. Suyun yuyulma növü (korroziyalı qazların təmizlənməsi)

2. Oksidləşdirici tip (yanan və zəhərli qazlarla məşğul olan)

3. Adsorbsiya (müvafiq işlənmiş qazla məşğul olmaq üçün adsorbsiya materialının növünə görə).

4.Plazma yanma növü (bütün növ işlənmiş qazlar müalicə edilə bilər).

Hər bir müalicə növünün öz üstünlükləri və mənfi cəhətləri, həmçinin tətbiq dairəsi var. Müalicə üsulu suyun yuyulması olduqda, avadanlıq ucuz və sadədir və yalnız suda həll olunan qazları idarə edə bilər; elektrik su ilə yuyulma növünün tətbiqi diapazonu su ilə yuyulma növündən daha yüksəkdir, lakin əməliyyat dəyəri yüksəkdir; quru növü yaxşı müalicə səmərəliliyinə malikdir və tıxanması və ya axması asan olan qaz axınına tətbiq edilmir.

Yarımkeçiricilər sənayesində ümumi istifadə edilən kimyəvi maddələr və onların əlavə məhsulları kimyəvi xassələrinə və müxtəlif diapazonlarına görə təsnif edilə bilər:

1. Yanan qazlar, məsələn, SiH4H2 və s.

2. Zəhərli qazlar, məsələn, AsH3, PH3 və s.

3. HF, HCl kimi aşındırıcı qazlar və s.

4. CF4, NF3 kimi istixana qazları və s.

Yuxarıdakı dörd qaz ətraf mühitə və ya insan orqanizminə zərərli olduğundan, onun birbaşa atmosferə atılmasının qarşısını almalıdır, buna görə də ümumi yarımkeçirici qurğu böyük bir mərkəzləşdirilmiş işlənmiş qazın təmizlənməsi sistemi ilə quraşdırılmışdır, lakin bu sistem yalnız su təmizləyici işlənmiş qazdır, buna görə də onun tətbiqi uzun məsafəli suda həll olunan qazlarla məhdudlaşır və yarımkeçirici prosesinin işlənmiş qazının daim dəyişən və incə bölünməsi ilə məşğul ola bilməz. Buna görə də, işlənmiş qaz problemini kiçik bir şəkildə həll etmək üçün hər bir prosesdən əldə edilən qaz xüsusiyyətlərinə uyğun olaraq müvafiq işlənmiş qaz təmizləyici avadanlığı seçmək və uyğunlaşdırmaq lazımdır. İş sahəsi əsasən mərkəzi işlənmiş qazın təmizlənməsi sistemindən uzaqda yerləşdiyindən, çox vaxt qaz xüsusiyyətlərinə görə boru kəmərində kristallaşmaya və ya tozun yığılmasına səbəb olur, nəticədə boru kəmərinin tıxanması qaz sızmasına, ağır hallarda isə hətta partlayışa səbəb olur. , sayt işçilərinin iş təhlükəsizliyini təmin edə bilməz. Buna görə də, iş sahəsində iş sahəsində durğun işlənmiş qazı azaltmaq, personalın təhlükəsizliyini təmin etmək üçün, proses qazının xüsusiyyətlərinə uyğun kiçik bir işlənmiş qaz təmizləyici avadanlığı konfiqurasiya etmək lazımdır.