Yarımkeçiricilər istehsalında ultra yüksək təmizlikli qazların populyarlaşması! Azərbaycan

Ultra yüksək təmizlikli qazlar yarımkeçirici tədarük zəncirində vacibdir. Əslində, tipik bir fab üçün yüksək təmizlikli qazlar silikonun özündən sonra ən böyük material xərcləridir. Qlobal çip çatışmazlığından sonra sənaye həmişəkindən daha sürətlə genişlənir və yüksək təmizlikli qazlara tələbat artır.

Yarımkeçiricilərin istehsalında ən çox istifadə edilən kütləvi qazlar azot, helium, hidrogen və arqondur.

Azot

Azot atmosferimizin 78%-ni təşkil edir və son dərəcə boldur. Həm də kimyəvi cəhətdən təsirsiz və keçirici deyil. Nəticədə azot sərfəli inert qaz kimi bir sıra sənaye sahələrində öz yolunu tapdı.

Yarımkeçirici sənaye azotun əsas istehlakçısıdır. Müasir yarımkeçiricilər istehsalı zavodunun saatda 50,000 min kubmetrə qədər azotdan istifadə edəcəyi gözlənilir. Yarımkeçiricilər istehsalında azot ümumi təyinatlı qazı təsirsiz hala gətirən və təmizləyən, həssas silikon vafliləri reaktiv oksigendən və havadakı nəmdən qoruyan bir vasitə kimi çıxış edir.

Helium

Helium inert bir qazdır. Bu o deməkdir ki, azot kimi, helium da kimyəvi cəhətdən təsirsizdir - lakin o, həm də yüksək istilik keçiriciliyinin əlavə üstünlüyünə malikdir. Bu, xüsusilə yarımkeçiricilərin istehsalında faydalıdır, yüksək enerjili proseslərdən istiliyi səmərəli şəkildə keçirməyə imkan verir və onları termal zədələrdən və arzuolunmaz kimyəvi reaksiyalardan qorumağa kömək edir.

Hidrogen

Hidrogen bütün elektronika istehsalı prosesində geniş şəkildə istifadə olunur və yarımkeçiricilərin istehsalı da istisna deyil. Xüsusilə, hidrogen aşağıdakılar üçün istifadə olunur:

Yuyulma: Silikon vaflilər adətən yüksək temperatura qədər qızdırılır və kristal quruluşu təmir etmək (tavlamaq) üçün yavaş-yavaş soyudulur. Hidrogen istiliyi vafliyə bərabər şəkildə ötürmək və kristal quruluşun yenidən qurulmasına kömək etmək üçün istifadə olunur.

Epitaksiya: Ultra yüksək saflıqda hidrogen, silisium və germanium kimi yarımkeçirici materialların epitaksial çökdürülməsində azaldıcı vasitə kimi istifadə olunur.

Çökmə: Hidrogen, atom quruluşunu daha nizamsız etmək, müqaviməti artırmağa kömək etmək üçün silikon filmlərə əlavə edilə bilər.

Plazma Təmizləmə: Hidrogen plazması ultrabənövşəyi litoqrafiyada istifadə olunan işıq mənbələrindən qalay çirklənməsinin aradan qaldırılmasında xüsusilə təsirlidir.

Arqon

Arqon başqa bir nəcib qazdır, ona görə də azot və helium kimi aşağı reaktivliyi nümayiş etdirir. Bununla belə, arqonun aşağı ionlaşma enerjisi onu yarımkeçirici tətbiqlərdə faydalı edir. Nisbi ionlaşma asanlığına görə, arqon adətən yarımkeçiricilərin istehsalında aşındırma və çökmə reaksiyaları üçün əsas plazma qazı kimi istifadə olunur. Bundan əlavə, arqon ultrabənövşəyi litoqrafiya üçün eksimer lazerlərdə də istifadə olunur.

Nə üçün təmizlik vacibdir

Tipik olaraq, yarımkeçirici texnologiyasında irəliləyişlər ölçü miqyası ilə əldə edilmişdir və yeni nəsil yarımkeçirici texnologiya daha kiçik xüsusiyyət ölçüləri ilə xarakterizə olunur. Bu, bir çox üstünlüklər verir: müəyyən həcmdə daha çox tranzistor, təkmilləşdirilmiş cərəyanlar, daha az enerji istehlakı və daha sürətli keçid.

Bununla belə, kritik ölçülər azaldıqca yarımkeçirici cihazlar getdikcə təkmilləşir. Ayrı-ayrı atomların mövqeyinin vacib olduğu bir dünyada səhvlərə dözümlülük hədləri çox sıxdır. Nəticədə, müasir yarımkeçirici proseslər mümkün olan ən yüksək təmizliyə malik texnoloji qazları tələb edir.

WOFLY qaz tətbiqi sistemləri mühəndisliyi üzrə ixtisaslaşan yüksək texnologiyalı müəssisədir: elektron xüsusi qaz sistemi, laboratoriya qaz dövrə sistemi, sənaye mərkəzləşdirilmiş qaz təchizatı sistemi, toplu qaz (maye) sistemi, yüksək təmizlikli qaz və xüsusi texnoloji qaz ikincil boru sistemi, kimyəvi tədarük sistem, təmiz su sistemi, texniki məsləhət, ümumi planlaşdırma, sistemin dizaynı, avadanlıqların seçilməsi, prefabrik komponentlər, layihə sahəsinin quraşdırılması və tikintisi, ümumi sistemin sınaqdan keçirilməsinə qədər mühəndis və texniki xidmətlərin və köməkçi məhsulların tam dəstini təmin etmək, texniki xidmət və digər köməkçi məhsullar inteqrasiya olunmuş şəkildə.