Semikondüktorların hazırlanmasında ultra-yüksək səffəlikdə qazlar haqqında məlumat!

Semiçductor təchizatı zincirində ultra-yüksək səffəlikli qazlar hər yerdə əsaslı şəkildə vacibdir. Aslında, tipik bir fabrika üçün, yüksək səffəlikli qazlar silikonun özündən sonra ən böyük material xərcidir. Ümumi dünya çip eksikliyi nəticəsində, sənayə daha sürətli genişləşir - və yüksək səffəlikli qazlar üzərində tələb artır.

Semiçductor istifadəsi zamanı ən çox istifadə olunan toplu qazlar azot, helium, hidrogen və argondur.

نیتروژن

Azot atmosferimizin %78-indən ibarətdir və çox mədəncəkdir. Həm də o kimyəvi olaraq pasiv və elektrik iletən deyil. Nəticədə, azot bir çox sənayələrdə maliyet effektiv pasiv qaz kimi istifadə olunur.

Semiçductor sənayesi azotun əsas müştərilərindən biridir. Mütəxəssis semiçductor istehsal etmə mərkəzi saatda 50,000 metr kub azot istifadə edir. Semiçductor istehsalında azot ümumi addımlarda pasivləşdirmə və toxunmaq üçün istifadə olunur, reaktiv oksigen və hava daşıqlığından hassas silikon diskləri müdafiə edir.

هلیوم

Helium inert gazdır. Bu, heliumun kimyəvi olaraq inerte olması nəzərə alınarsa, azot kimi dəyişikliktən kenarlaşan maddədir - amma bu, yüksək ısıl iletisiyyatlı xüsusiyyətinin varlığı ilə daşıqlanır. Bu, xüsusilə semikonduktorların istifadəsində çox faydalıdır, onu yüksək-enerji prosesslərdən uzaqda saxlayaraq və onları ısıl zədələrdən və istəsiz kimyəvi reaksiyalardan qoruyaraq effektiv şəkildə işi əks etdirir.

Hidrogen

Hidrojen elektronika istehsal prosesində geniş miqdarada istifadə olunur və semikonduktor istehsalı da istisna deyil. Xüsusilə hidrojen aşağıdakı məqsədlər üçün istifadə olunur:

Anelirovma: Silikon plitkalar ümumiyyətlə kristal strukturunu tənzimləmək (anelirovma) üçün yüksək temperaturaya daxil edilir və yavaş yavaş soğutulur. Hidrojen, Plattan ısını bərabər şəkildə köçürmək və kristal strukturunun yenidən inşa etməsinə kömək etmək üçün istifadə olunur.

Epitaksiya: Ultrasaf hidrojen, silikon və germanium kimi semikonduktor materiallarının epitaksial deponiyasında azaltıcı agent kimi istifadə olunur.

Depozisiya: Hidrogen silikon filmlərində daxil edilə bilər ki, bu onların atom yarımçığı daha çox diskatseylasın, bu da müqaviməti artırmağa kömək edir.

Plazma təmizləməsi: Hidrogen plazması UV litografiyada istifadə olunan işıq mənbələrindəki qurşun sirlənməsini çıxarmaqda xüsusilə effektivdir.

آرگون

Argon başqa bir böyük gasdır, beləliklə, o az reaktivliyi nitrojen və helium kimi göstərir. Ancaq, argonun aşağı ionlaşdırma enerjisi onu semiçondüktor tətbiqlərində istifadə etmək üçün faydalı edir. Onun nisbətən asan ionlaşması səbəbindən, argon semiçondüktor ümumiyyətlə inkişafında etçilik və depozisiya reaksiyaları üçün əsas plazma gasi kimi ümumiləşmişdir. Bundan əlavə, argon UV litografiyası üçün eksimer lazeraldə də istifadə olunur.

Niyə sachlność vacibdir

Tipik olaraq, polükonduktor texnologiyasında əhəmiyyətli addımlar ölçülərin kiçilinməsi vasitəsilə alınmışdır və yeni nesil polükonduktor texnologiyası daha kiçik xarakteristika ölçüləri ilə xarakterizə olunur. Bu çoxsaylı faydalar verir: müəyyən həcmə daha çox tranzistor, yaxşılaşmış cür, azaldılmış elektrik sörfi və sürətli dəyişmə.

Amma, kritik ölçülər azalarkən, polükonduktor cihazları daha inkişaf etmiş şəkildəyə gəlirlər. Fərdi atomların yerləri əhəmiyyətli olan bir dünyada, səhv tolerans sıraları çox sıxdır. Nəticədə, modern polükonduktor prosessləri ən yüksək mövcud saflik ilə proses qazlarını tələb edir.

WOFLY, gaz tətbiqi sistem mühəndisliyinə mütəxəssis olan yüksək texnologiyalı bir şirkətdir: elektronik xüsusi gaz sistemi, laboratoriya gaz şəbəkə sistemi, sənayi mərkziyyətli gaz təchizatı sistemi, toplu gaz (sıvı) sistemi, yüksək nəqatlı gaz və xüsusi proses gazu ikinci püran sistemləri, kimya çatdırma sistemi, buraxılış suyu sistemi kimi texniki xidmətlər və əlavə məhsulların tam kompleksini təmin edir. Bu da texniki danışdanma, ümumi planlama, sistem dizaynı, təsnifat seçimi, prefabricasiya komponentləri, proqram yerində quraşdırılması və inkişafı, ümumi sistem sinifləndirməsi, idarəetmə və digər əlaqədə məhsullar kimi inteqrasiya olunur.