Elektron Xüsusi Qaz Hazırlama Prosesləri üçün Sistem Tələbləri！ Azərbaycan

Elektron xüsusi qazların istehsalı prosesi sintez, təmizlənmə, doldurulma, analiz və sınaq, qarışdırma və nisbətləşdirmə kimi bir neçə prosesi əhatə edir. Təmizlik və çirklilik tərkibi üçün aşağı axın yarımkeçirici istehsal tələblərinə cavab vermək üçün təmizləmə prosesi çox vacibdir. Yuxarı sintez qazının və ya xam qazın tərkibindən asılı olaraq aşağı temperaturda distillə və ya çoxmərhələli təmizləmə aparılır.

Yüksək təmizlik tələbləri

Elektron xüsusi qazların hazırlanması prosesi kimyəvi istehsal prosesinə aid olan yuxarıda sintezin hazırlanması və təmizlənməsinin iki əsas blokuna bölünə bilər. İstehsal boru kəmərinin ölçüsü böyükdür və xüsusi təmizlik səviyyəsi tələbi yoxdur. Aşağı axınla təmizləndikdən sonra məhsul qazla doldurulur və hazırlıq üçün qarışdırılır. İstehsal boru kəməri kiçikdir və təmizlik səviyyəsində tələblərə malikdir. Yarımkeçirici istehsal prosesinin standart spesifikasiyasına cavab verməlidir.

Yüksək sızdırmazlıq tələbləri

Kimyəvi fəaliyyətinə görə elektron xüsusi qazlar da istehsal prosesi sisteminin materiallarına və möhürlənməsinə yüksək tələblər qoyur. Yarımkeçirici istehsalının tələbləri kimi, çirklərin daxil olması və ya xüsusi qazların korroziyası nəticəsində yaranan interfeys sızmasının qarşısını alır. Sistem həmçinin xüsusi qazların korroziyasından qaynaqlanan çirklərin və ya interfeysin sızmasının qarşısını almaq üçün istifadə edilə bilər.

Yüksək keyfiyyətli sabitlik tələbləri

Elektron xüsusi qazların keyfiyyətinə təmizlik və çirkli hissəciklərin tərkibi kimi bir sıra göstəricilər daxildir. Göstəricilərdə hər hansı dəyişiklik aşağı axın yarımkeçirici istehsalı prosesinin nəticələrinə təsir edəcəkdir. Buna görə də elektron xüsusi qaz məhsulu göstəricilərinin ardıcıllığını təmin etmək üçün göstəricilərin sabitliyinə nəzarət etmək üçün hazırlıq prosesi sistemi də çox vacibdir.

Xüsusi Qaz Hazırlama Proses Sistemlərinin Tətbiqi

EGP-nin kimyəvi fəaliyyətinə və keyfiyyət tələblərinə görə, EGP hazırlamaq üçün istehsal sistemi, xüsusilə aşağı axın təmizləmə sistemi yüksək təmizlikli materiallar, yüksək sızdırmazlıq, yüksək təmizlik və yüksək keyfiyyətli konsistensiya tələblərinə cavab verməlidir və mühəndis komponentlərinin konstruksiyası yarımkeçiricilər istehsalı sənayesinin standartlarına cavab verir.

Bizim adətən "yüksək təmizlik" adlandırdığımız şey nəzəri cəhətdən yüksək təmizlikli qazlar, yüksək təmizlikli kimyəvi maddələr və s. kimi maddənin saflığının tərifidir. Yüksək təmizlikli maddələrə tətbiq edilən proses sistemləri və ya proses sistemi komponentləri də istinad edilir. yüksək təmizlik sistemləri və yüksək təmizlik klapanları kimi yüksək təmizliyə. Elektron xüsusi qaz hazırlama sistemləri yüksək təmizlikli tətbiq fitinqləri, klapanlar və digər maye komponentləri, yəni yüksək təmizlikli materiallar və təmiz istehsal prosesləri ilə işlənmiş və asan təmizləmə və təmizləmə üçün strukturlaşdırılmış fitinqlər və klapanlar tələb edir. Yüksək sızdırmazlıq performansı ilə. Bu maye komponentləri yarımkeçirici sənayenin mühəndislik və tikinti tələblərindən istifadə edərək, tətbiqin proses axını yoluna cavab vermək üçün nəzərdə tutulmuşdur.

Yüksək Saflıqda Boru Bağlantıları

Videomagnitofon metal contasının üz möhür birləşmələri və avtomatik bələdçi qaynaq birləşmələri birləşmədə axın yolunun hamar keçidinə, durğunluq zonasının olmamasına və yüksək sızdırmazlıq performansına cavab vermək qabiliyyətinə görə tələb olunan maye sisteminin təmizliyi prosesi tələblərində geniş istifadə olunur.VCR birləşmələri nisbətən yumşaq bir metal conta ilə sıxışdırılaraq dar bir səth möhürü meydana gətirir. Hər dəfə deformasiyaya uğramış conta çıxarılan və dəyişdirildikdə təkrarlanan və ardıcıl əlaqə və sızdırmazlıq performansı təmin edilir.

Borular avtomatik orbital qaynaq sistemindən istifadə edərək qaynaqlanır. Boru içəridən və xaricdən yüksək təmizlikli qazla qorunur. Volfram elektrodu yüksək keyfiyyətli qaynaq üçün orbit boyunca fırlanır. Tam avtomatlaşdırılmış orbital qaynaq, digər materiallar təqdim etmədən boruyu əridir, nazik divarlı boruya dəfələrlə nəzarət edərək yüksək keyfiyyətli qaynaq əldə etmək əl qaynağı ilə əldə etmək çətindir.

Videomagnitofon Metal Conta Üz Sızdırmazlığı Bağlantısı

Boruların avtomatik orbital qaynaq qaynağı

Yüksək təmizlik klapanları

Yanan, partlayıcı, aşındırıcı və zəhərli elektron xüsusi qazların kimyəvi aktivliyi klapanın möhürlənməsinə yüksək tələblər qoyur. Sızdırmazlığın etibarlılığını artırmaq üçün xarici sızmanın qarşısını almaq üçün qablaşdırmasız klapanların tələbi, yəni aşınma və aşınma nəticəsində sızmanın aradan qaldırılması üçün metal körüklərdən və ya metal diafraqmadan istifadə edərək klapan sapının və klapan gövdəsinin möhür arasında dəyişdirilməsi. qablaşdırma möhürünün deformasiyası. Körüklü möhürlənmiş və diafraqma ilə möhürlənmiş klapanlar, möhürlərin daha etibarlılığına və klapan daxili hissələrinin daha asan təmizlənməsinə və təmizlənməsinə görə yüksək təmizlik tətbiqləri üçün texnoloji sistemlərdə istifadə olunur.

Körüklü möhürlənmiş klapanlar yavaş açılmağa və axının tənzimlənməsinə imkan verən qablaşdırmasız iynəli klapan konstruksiyasıdır. Təhlükəsizlik axını tələbləri ilə elektron ixtisaslaşdırılmış qaz doldurulması üçün və ya yüksək təhlükəsizlik tələbləri olan prekursor mənbə şüşələrində istifadə olunur. Tamamilə metal gövdə ucun möhürləri olduqca aşağı iş temperaturlarına imkan verir və boru kəmərləri üçün kriogen distillədən sonra hazır məhsul çənlərində elektron xüsusi qazların kriogen mayeləşdirilməsi üçün istifadə olunur.

Yaysız Diafraqma Sızdırmazlıq Klapanı çatdırılma boru kəmərlərində avtomatik idarə olunan keçid klapan kimi istifadə üçün 1/4" klapandır. Onlar sadə daxili axın yolu, kiçik olması səbəbindən çox yüksək təzyiqli, yüksək təmizlik tətbiqlərində istifadə olunur. daxili həcm, təmizləmə və dəyişdirmə asanlığı.

Gövdə ucu ilə bağlanan diafraqma möhürlənmiş klapanlar yavaş-yavaş aça bilər və yaylı olmayan diafraqma möhürlənmiş klapanlara nisbətən daha yüksək iş təzyiqlərində istifadə edilə bilər. Onlar yüksək təzyiqli elektron xüsusi qaz doldurma və ya prekursor qaynaq şüşələrində geniş istifadə olunur.

İkinci dərəcəli sızdırmazlıq körüklü klapan yalnız -200 dərəcədə ultra aşağı temperaturlu proses sistemlərində istifadə oluna bilməz, həm də təhlükəli mühitin atmosferə sızmasının qarşısını alır. Adətən silan doldurma sistemi kimi çox təhlükəli elektron xüsusi qazlar üçün istifadə olunur.

Shenzhen Wofei Technology Co., Ltd, yarımkeçiricilər, LED, DRAM, TFT-LCD bazarları üçün sənaye və xüsusi qazların, materialların, qaz təchizatı sistemlərinin və qaz mühəndisliyinin tədarükü sahəsində 10 ildən çox təcrübəyə malik olmaqla, sizə təqdim edə bilərik məhsullarınızı sənayenin ön sıralarına çıxarmaq üçün lazımi materiallar. Biz nəinki yarımkeçirici elektron ixtisaslaşdırılmış qazlar üçün geniş çeşiddə klapan və fitinqlər təqdim edə bilərik, həm də müştərilərimiz üçün qaz kəmərləri və avadanlıqların quraşdırılmasını layihələndirə bilərik. Bu sahədə hər hansı ehtiyacınız varsa 27919860 nömrəsi ilə əlaqə saxlayın.