Aplikace speciálního plynu pro úpravu zbytkového plynu！ Česká republika

Zařízení na úpravu zbytkového plynu může zpracovávat plyny používané v procesech leptání a chemickém nanášení par v průmyslu polovodičů, tekutých krystalů a solární energetiky, včetně SiH4, SiH2Cl2, PH3, B2H6, TEOS, H2, CO, NF3, SF6, C2F6, WF6 NH3, N2O a tak dále.

Metoda úpravy výfukových plynů

Podle vlastností úpravy výfukových plynů lze úpravu rozdělit do čtyř typů úpravy:

1. Typ mytí vodou (úprava korozivních plynů)

2. Oxidační typ (zacházení s hořlavými a toxickými plyny)

3. Adsorpce (podle typu adsorpčního materiálu se vypořádat s odpovídajícími výfukovými plyny).

4.Plazmový typ spalování (lze upravovat všechny druhy výfukových plynů).

Každý typ léčby má své výhody a nevýhody a také rozsah použití. Je-li metodou úpravy mytí vodou, je zařízení levné a jednoduché a zvládne pouze ve vodě rozpustné plyny; rozsah použití elektrického vodního mytí je vyšší než u vodního mycího typu, ale provozní náklady jsou vysoké; suchý typ má dobrou účinnost úpravy a není použitelný pro proud plynu, který se snadno ucpe nebo proudí.

Chemikálie a jejich vedlejší produkty běžně používané v polovodičovém průmyslu lze kategorizovat podle jejich chemických vlastností a jejich různých rozsahů:

1. Hořlavé plyny jako SiH4H2 atd.

2. Toxické plyny jako AsH3, PH3 atd.

3. Korozivní plyny jako HF, HCl atd.

4. Skleníkové plyny jako CF4, NF3 atd.

Vzhledem k tomu, že výše uvedené čtyři plyny jsou škodlivé pro životní prostředí nebo lidské tělo, musí zabránit jejich přímým emisím do atmosféry, takže obecné polovodičové závody jsou instalovány s velkým centralizovaným systémem úpravy výfukových plynů, ale tento systém je pouze vodním čištěním výfukových plynů, takže jeho aplikace je omezena na plyny rozpustné ve vodě na velké vzdálenosti a nemůže se vypořádat s neustále se měnícím a jemným dělením odpadních plynů z polovodičového procesu. Proto je nutné vybrat a sladit odpovídající zařízení na úpravu výfukových plynů podle charakteristik plynů odvozených z každého procesu, aby se problém výfukových plynů vyřešil malým způsobem. Vzhledem k tomu, že pracovní prostor je většinou daleko od centrálního systému úpravy výfukových plynů, často kvůli charakteristikám plynu dochází ke krystalizaci nebo hromadění prachu v potrubí, což vede k ucpání potrubí vedoucímu k úniku plynu a ve vážných případech dokonce k explozi. , nemůže zajistit bezpečnost práce pracovníků staveniště. Proto je v pracovní oblasti potřeba nakonfigurovat malé zařízení na úpravu výfukových plynů vhodné pro charakteristiky procesního plynu, aby se snížily stagnující výfukové plyny v pracovní oblasti, aby byla zajištěna bezpečnost personálu.