Použití speciálního plynu pro úpravu koncového plynu!

Zařízení pro úpravu ocasních plynů dokáže zpracovat plyny používané v procesech etching a chemické parní deponace v polobodové, kapalné krystalové a solární energetice, včetně SiH4, SiH2Cl2, PH3, B2H6, TEOS, H2, CO, NF3, SF6, C2F6, WF6, NH3, N2O a další.

Metoda úpravy výfukových plynů

Podle charakteristik úpravy výfukových plynů lze úpravu rozdělit na čtyři typy úprav:

1. Vodní praní (úprava korozičných plynů)

2. Oxidací (řešení hořlavých a toxických plynů)

3. Adsorpce (podle druhu adsorpčního materiálu pro úpravu odpovídajících výfukových plynů).

4. Plazmové spalování (mohou být zpracovány všechny druhy výfukových plynů).

Každý druh léčby má své vlastní výhody a nevýhody, stejně jako své použití. Když je způsob léčby vodní mytí, zařízení je levné a jednoduché a může ošetřovat pouze vodou rozpustné plyny; rozsah aplikace elektro-vodního typu je vyšší než u typu vodního, ale provozní náklady jsou vysoké; suchý typ má dobré účinnost při léčbě, není však vhodný pro proudy plynů, které se snadno uzavírají nebo tokem.

Chemikálie a jejich vedlejší produkty běžně používané v polovodičovém průmyslu lze kategorizovat podle jejich chemických vlastností a různých oborů použití:

1. Hořlavé plyny, jako jsou SiH4, H2 atd.

2. Toxické plyny, jako jsou AsH3, PH3 atd.

3. Korozivní plyny, jako jsou HF, HCl atd.

4. Skleníkové plyny, jako jsou CF4, NF3 atd.

Vzhledem k tomu, že výše uvedené čtyři plyny jsou škodlivé pro životní prostředí nebo lidské tělo, je nutné zabránit jejich přímému vypouštění do atmosféry. Proto většina polovodičových závodů disponuje velkým centralizovaným systémem na očištění výfukových plynů. Nicméně tento systém umožňuje pouze vodní očišťování a jeho použití je omezeno na dálkově rozpustné plyny. Nemůže se vypořádat s neustále se měnícími a podrobně rozdělenými výfukovými plyny procesu vyrábění polovodičů. Proto je nutné vybírat a upravovat odpovídající zařízení na očištění výfukových plynů podle charakteristik plynů vzniklých v jednotlivých procesech, aby bylo možné řešit problém výfukových plynů lokálně. Vzhledem k tomu, že pracovní oblast je většinou vzdálena od centrálního systému na očištění výfukových plynů, dochází často kvůli charakteristikám plynů k krystalizaci nebo nánosům prachu v potrubí, což může vést ke zablokování potrubí a následnému úniku plynu. V těžkých případech to dokonce může způsobit výbuch a nemůže zajistit bezpečnost práce personálu na místě. Proto je v pracovní oblasti třeba vybavit malé zařízení na očištění výfukových plynů vhodné pro charakteristiky procesních plynů, aby se snížilo zadržování výfukových plynů v pracovní oblasti a zajistilo se bezpečnost personálu.