Návrh systému pro plyny používané v výrobě polovodičů

Jak roste trh s polovodiči, standardy pro čistotu a přesnost se stávají přísnějšími. Jeden z klíčových faktorů ovlivňujících kvalitu výroby polovodičů jsou plyny používané v procesu. Tyto plyny hrají mnoho rolí v procesu výroby, včetně:

Přesná řízení procesu

Prevence kontaminace

Zlepšení metalurgických vlastností

Aby tyto role plnily účinně, systém dodávky a distribuce plynů musí být efektivní. Návrh systémů pro manipulaci s plynem používanými ve výrobě polovodičů musí být podpořen robustními komponenty a přizpůsobenými sestavami, aby bylo zajištěno spolehlivé a vysoké kvality produkce polovodičů.

Plyny používané ve výrobě polovodičů

Proces výroby polovodičů vyžaduje použití různých plynů v různých fázích procesu.

Zatímco běžné plyny jako dusík, vodík, argon a helium mohou být používány ve své čisté formě, některé procesy mohou vyžadovat specializované směsi. Silany nebo siloxany, hexafluoridy, halidy a uhlovodíky jsou některé ze specializovaných plynů používaných v výrobě polovodičů. Mnoho z těchto plynů může být nebezpečných nebo velmi reaktivních, což vytváří výzvy při výběru a návrhu součástek pro systémy dodávky plynů.

Tady jsou některé příklady:

Vodík a helium mohou snadno unikat z potrubních systémů a spojů kvůli jejich malé atomové velikosti a hmotnosti.

Silany jsou vysoko hořlavé a mohou se spontánně zapálit (autozapal) na vzduchu.

Difluorid dusíku používaný v etapách nasazování, gravírování a čištění komor se stává účinným skleníkovým plynem, když unikne do prostředí.

Fluorovodík (gravírovací plyn) je vysoko korozičný pro kovové potrubí.

Trimethylgallium a amoniak mohou být obtížné ke zpracování - malé kolísání v jejich požadavcích na teplotu a tlak mohou ovlivnit proces nasazování.

Řízení procesních podmínek za účelem minimalizace negativních účinků těchto plynů musí být nejvyšší prioritou při návrhu systému. Stejně důležité je použít komponenty nejvyšší kvality, jako jsou membránové ventilky AFK, během fáze montáže.

Řešení výzv souvisejících s návrhem systému

Plyny průmyslové kvality pro polovodiče jsou většinou vysoce čisté a poskytují inertní podmínky nebo zvyšují reakce v různých fázích výrobního procesu, jako jsou plyny pro etching a deponaci. Únik nebo kontaminace těchto plynů může mít negativní dopady. Proto je kritické, aby systémové komponenty byly hermeticky uzavřené, odolné vůči korozi a měly hladkou povrchovou strukturu (elektrolytické leštění), aby se zajistilo, že není možnost kontaminace a aby bylo možné udržet extrémně vysokou úroveň čistoty.

Navíc některé z těchto plynů lze ohřát nebo ochladit pro dosažení požadovaných podmínek procesu. Dobře izolované součásti zajistí kontrolu teploty, což je kritické pro efektivní výkon konečného produktu.

Od zdrojového vstupu až po místo použití podporuje široká paleta součástí AFK ultra-vysokou čistotu, kontrolu teploty, tlaku a průtoku vyžadovanou v čistnách pro výrobu polovodičů a vakuumových komorách.

Návrh systémů se kvalitními součástmi ve výrobě polovodičů

Role kvalitních součástí a optimalizace návrhu je kritická pro přesnou kontrolu a bezpečnou výrobu polovodičů. Použité součásti musí být odolné a nepropustné, aby odpovídaly různým podmínkám procesu vyžadovaným v různých fázích výroby. Vysoko kvalitní ventilky, spoje, regulátory, trubky a uzavírací závěsy od AFK mají následující vlastnosti:

Ultra-Vysoká Čistota

Nepropustné uzavírání

Teplotně řízená izolace

Řízení tlaku

Odolnost proti korozi

Elektrolytické leštění