Návrh systému pro plyny používané při výrobě polovodičů Česká republika

Jak roste trh s polovodiči, standardy pro čistotu a přesnost jsou stále přísnější. Jedním z určujících faktorů kvality výroby polovodičů jsou plyny použité v procesu. Tyto plyny hrají ve výrobním procesu mnoho rolí, včetně:

Přesné řízení procesu

Prevence kontaminace

Zhodnocování hutních vlastností

Pro efektivní plnění těchto rolí musí být systém dodávek a distribuce plynu efektivní. Návrh systémů pro manipulaci s plyny používaných při výrobě polovodičů musí být podporován robustními součástmi a přizpůsobenými sestavami, aby byla zajištěna spolehlivá a vysoce kvalitní výroba polovodičů.

Plyny používané při výrobě polovodičů

Proces výroby polovodičů vyžaduje použití různých plynů v různých fázích procesu.

Zatímco běžné plyny, jako je dusík, vodík, argon a helium mohou být použity v jejich čisté formě, některé procesy mohou vyžadovat specializované směsi. Silany nebo siloxany, hexafluoridy, halogenidy a uhlovodíky jsou některé ze speciálních plynů používaných při výrobě polovodičů. Mnohé z těchto plynů mohou být nebezpečné nebo vysoce reaktivní, což vytváří problémy při výběru a návrhu komponent pro plynové systémy.

Zde jsou některé příklady:

Vodík a helium mohou snadno unikat z potrubních systémů a armatur kvůli jejich malé atomové velikosti a hmotnosti.

Silany jsou vysoce hořlavé a mohou se na vzduchu spontánně vznítit (samovznítit).

Fluorid dusnatý používaný ve fázích nanášení, leptání a čištění komory se při úniku do životního prostředí stává silným skleníkovým plynem.

Fluorovodík (leptací plyn) je vysoce korozivní pro kovové potrubí.

S trimethylgalliem a amoniakem může být obtížné manipulovat - malé výkyvy v jejich požadavcích na teplotu a tlak mohou ovlivnit proces depozice.

Řízení podmínek procesu za účelem minimalizace negativních účinků těchto plynů musí být nejvyšší prioritou při návrhu systému. Stejně důležité je během procesu montáže používat komponenty nejvyšší kvality, jako jsou membránové ventily AFK.

Řešení výzev návrhu systému

Plyny polovodičové kvality mají ve většině případů vysokou čistotu a poskytují inertní podmínky nebo podporují reakce v různých fázích výrobního procesu, jako jsou leptací a depoziční plyny. Únik nebo kontaminace takových plynů může mít negativní účinky. Proto je důležité, aby použité komponenty systému byly hermeticky uzavřeny a odolné vůči korozi a měly hladký povrch (elektrolytické leštění), aby bylo zajištěno, že neexistuje možnost kontaminace a že lze udržovat extrémně vysokou úroveň čistoty.

Kromě toho mohou být některé z těchto plynů zahřívány nebo ochlazovány pro dosažení požadovaných podmínek procesu. Dobře izolované komponenty zajišťují regulaci teploty, která je rozhodující pro efektivní výkon konečného produktu.

Široká škála komponentů AFK od vstupu zdroje až po místo použití podporuje ultra vysokou čistotu, řízení teploty, tlaku a průtoku požadované v polovodičových čistých prostorách a vakuových komorách.

Navržené systémy s kvalitními komponenty v polovodičových Fabs

Pro přesné řízení a bezpečnou výrobu polovodičů je důležitá role kvalitních komponent a optimalizace designu. Použité komponenty musí být robustní a bez úniků, aby odpovídaly měnícím se procesním podmínkám požadovaným v různých fázích výroby. Vysoce kvalitní ventily, armatury, regulátory, potrubí a těsnící konzoly společnosti AFK se vyznačují následujícími vlastnostmi:

Ultra vysoká čistota

Těsnění bez úniku

Izolace řízená teplotou

Řízení tlaku

odolnost proti korozi

Ošetření elektrolytickým leštěním