Požadavky systému na procesy přípravy speciálních elektronických plynů!

Proces výroby elektronických specialitních plynů zahrnuje několik procesů, jako jsou syntéza, očišťování, vyplňování, analýza a testování, míchání a dávkování. Aby byly splněny požadavky výroby polovodičů týkající se čistoty a obsahu nečistot, je velmi důležitý proces očišťování. Podle složení syrového plynu nebo plynů získaných syntézou se provádí nízkoteplotná destilace nebo vícestupňové očišťování.

Vysoké požadavky na čistotu

Proces přípravy elektronických speciálních plynů lze rozdělit na dva hlavní bloky: syntézu a čištění v horním proudu, což patří do chemického produkčního procesu. Rozměry produkční trubkoviny jsou velké a neexistují požadavky na speciální stupeň čistoty. Po čištění v dolním proudu je produkt naplněn plyny a smíchán pro přípravu. Produkční trubkovina je malá a má požadavky na stupeň čistoty. Musí splnit standardizované úpravy procesu výroby polovodičů.

Vysoké požadavky na uzavřenost

Z důvodu jejich chemické aktivity také elektronické speciální plyny kladou vysoké požadavky na materiály a uzavřenost systému pro výrobní proces. Stejně jako požadavky výroby polovodičů zabrání úniku na rozhraních způsobeném přítokem nepůvodních látek nebo koroze speciálních plynů. Systém může být také použit k prevenci přítoku nepůvodních látek nebo úniku na rozhraní způsobeném korozi speciálních plynů.

Vysoké požadavky na stabilitu kvality

Kvalita elektronických speciálních plynů zahrnuje řadu ukazatelů, jako je čistota a obsah cizích částic. Jakákoli změna těchto ukazatelů ovlivní výsledky procesu výroby polovodičů v dolním proudu. Proto je velmi důležité zajistit konzistenci ukazatelů produktu elektronického speciálního plynu pomocí systému kontroly stability při jeho přípravě.

Aplikace systémů přípravy speciálních plynů

Z důvodu chemické aktivity a kvalitních požadavků EGP musí výrobní systém pro přípravu EGP, zejména čistící systém na dolním toku, splňovat požadavky na materiály vysoké čistoty, vysokou uzavřenost, vysokou čistotu a vysokou kvalitní konzistenci a konstrukce inženýrských součástí musí vyhovovat standardům průmyslu výroby polovodičů.

Co běžně označujeme jako "vysokou čistotu" je teoreticky definice čistoty látky, jako jsou plynové směsi vysoké čistoty, chemikálie vysoké čistoty atd. Procesní systémy nebo součástky procesních systémů používané pro látky vysoké čistoty se také nazývají vysoká čistota, jako jsou systémy vysoké čistoty a ventilky vysoké čistoty. Přípravné systémy elektronických speciálních plynu vyžadují připojky, ventily a další kapalnostní součástky s aplikacemi vysoké čistoty, tj. připojky a ventily zpracované z materiálů vysoké čistoty a s čistými výrobními procesy, které jsou navrženy pro jednoduché spolášení a čištění. S vysokým uzavíracím výkonem. Tyto kapalnostní součástky jsou navrženy tak, aby splňovaly tokovou trasu aplikace, pomocí inženýrských a stavebních požadavků polovodičového průmyslu.

Připojení trubek vysoké čistoty

VCR metalové uzavírací kroužky s plošným spojem a automatické vodičové spoje s výztužným svářením jsou široce používány v náročných procesech čistoty tekutinových systémů díky schopnosti splnit hladký přechod tokové cesty na spojení, žádnou zónu zastavení a vysoký stupeň uzavírání. VCR spoje tvoří úzký povrchový uzavírací prvek stlačením relativně měkkého metalického uzavíracího kroužku. Opakovatelnost a konzistence spojovacích a uzavíracích vlastností je zajištěna pokaždé, když je deformovaný uzavírací kroužek odebrán a nahrazen.

Trubky jsou svářeny pomocí automatického orbitálního svářicího systému. Trubka je chráněna vysokočistým plynem jak uvnitř, tak vně. Elektrod z tungalky se točí po dráze pro dosažení kvalitního sváření. Plně automatizované orbitální sváření roztaví trubku bez přidání jiných materiálů, což dosahuje vysoké kvality svárku, kterou je obtížné dosáhnout ručním svářením tenkostěnných trubek.

VCR Metalový Uzavírací Kroužek Plošného Spoje

Automatické Orbitální Výztužné Sváření Trubek

Vysokočisté Klapy

Chemická aktivita hořlavých, výbušných, korozičných a toxických elektronických speciálních plynů klade vysoké požadavky na uzavírání ventilu. Pro zlepšení spolehlivosti uzavírání je nutné použít ventily bez těsnic, aby se zabránilo vnějšímu uniku, což znamená, že mezi hmatlem a tělem ventilu se používá uzavírání pomocí kovového valce nebo kovové membrány, aby se eliminovaly úniky způsobené opotřením a deformací těsnic. Ventily s válcovým uzavíráním a membránová uzavíraná ventila jsou běžně používány v procesních systémech pro aplikace s vysokou čistotou kvůli vyšší spolehlivosti uzavírání a snazšímu čištění a vyměňování vnitřních součástí ventilu.

Ventil s měchýřovým uzavřením je konstrukce jehlového ventilu bez těsnic, která umožňuje pomalé otevírání a regulaci průtoku. Používá se pro naplnění elektronických speciálních plynů s požadavky na bezpečnostní proudy nebo na láhve s předchůdci s vysokými bezpečnostními požadavky. Tipy všech kovových pák uzavírajících umožňují extrémně nízké pracovní teploty a používají se pro kryogenní kapalné oddělování elektronických speciálních plynů v nádržích s hotovým produktem po kryogenní distilaci pro potrubí.

Ventil s membránovým uzavřením bez pružiny je ventilem 1/4" s rychlým otevřením určeným jako automaticky řízený spínač v dopravních potrubinách. Běžně se používají v ultra-vysokotlakých, vysokočistých aplikacích díky jednoduchému internímu toku, malému internímu objemu a snadnému vyplachování a nahrazování.

Ventily uzavřené membránou, které se zavírají pomocí špičky hřídele, se mohou otvírat pomalu a používat se při vyšších pracovních tlacích než ventily uzavřené membránou bez pružiny. Jsou široce používány při vysokotlakém napájení elektronickými specialitními plyny nebo předchůdci ve zdrojových lahvích.

Sekundární uzavírací ventil s klapkou může být použit nejen v ultra-nízkotemperaturách v procesních systémech u -200 stupňů, ale také brání unikání nebezpečných látek do atmosféry. Bývá obvykle používán pro velmi nebezpečné elektronické speciální plyny, jako je systém napájení silanem.

Shenzhen Wofei Technology Co., Ltd, s více než 10 lety zkušeností v dodávce průmyslových a specialitních plynů, materiálů, systémů pro dodávku plynů a plynového inženýrství pro trhy s polovodiči, LED, DRAM, TFT-LCD, vám můžeme poskytnout potřebné materiály, abyste své produkty přivedli na popředí průmyslu. Můžeme nabízet širokou škálu ventilů a spojek pro specialitní plyny v elektronice s polovodiči, ale také můžeme navrhnout plynové trubkovody a instalaci zařízení pro naše zákazníky. Pokud máte jakékoliv požadavky v této oblasti, kontaktujte nás pod číslem 27919860.