Systémové požadavky pro elektronické procesy přípravy speciálních plynů！ Česká republika

Výrobní proces elektronických speciálních plynů zahrnuje několik procesů, jako je syntéza, čištění, plnění, analýza a testování, míchání a dávkování. Aby byly splněny požadavky na čistotu a obsah nečistot při výrobě polovodičů, je velmi důležitý proces čištění. V závislosti na složení předřazeného syntézního plynu nebo surového plynu se provádí nízkoteplotní destilace nebo vícestupňové čištění.

Vysoké požadavky na čistotu

Proces přípravy elektronických speciálních plynů lze rozdělit do dvou hlavních bloků přípravy a čištění předřazené syntézy, která patří do procesu chemické výroby. Velikost výrobního potrubí je velká a neexistují žádné zvláštní požadavky na úroveň čistoty. Po následném čištění je produkt naplněn plynem a míchán pro přípravu. Výrobní potrubí je malé a má požadavky na úroveň čistoty. Musí splňovat standardní specifikaci procesu výroby polovodičů.

Vysoké požadavky na těsnění

Elektronické speciální plyny kladou vzhledem ke své chemické aktivitě také vysoké nároky na materiály a těsnění systému výrobního procesu. Stejně jako požadavky na výrobu polovodičů zabraňuje netěsnostem rozhraní způsobeným vnášením nečistot nebo korozí speciálních plynů. Systém lze také použít k zabránění vnášení nečistot nebo netěsnosti rozhraní způsobené korozí speciálních plynů.

Požadavky na vysokou kvalitu stability

Kvalita elektronických speciálních plynů zahrnuje řadu ukazatelů, jako je čistota a obsah nečistot. Jakákoli změna indikátorů ovlivní výsledky následného výrobního procesu polovodičů. Proto, aby byla zajištěna konzistence elektronických indikátorů speciálních plynových produktů, je také velmi důležitý systém přípravy pro kontrolu stability indikátorů.

Aplikace speciálních systémů přípravy plynů

Vzhledem k chemické aktivitě a požadavkům na kvalitu EGP musí výrobní systém pro přípravu EGP, zejména následný purifikační systém, splňovat požadavky na vysoce čisté materiály, vysoké těsnění, vysokou čistotu a vysokou kvalitu konzistence a konstrukce inženýrských komponent musí splňují standardy průmyslu výroby polovodičů.

To, co běžně označujeme jako „vysoká čistota“, je teoreticky definice čistoty látky, jako jsou plyny o vysoké čistotě, chemikálie o vysoké čistotě atd. Procesní systémy nebo součásti procesního systému, které se aplikují na látky s vysokou čistotou, jsou také označovány jako až po vysoce čisté, jako jsou systémy s vysokou čistotou a ventily s vysokou čistotou. Elektronické speciální systémy pro přípravu plynů vyžadují vysoce čisté aplikační armatury, ventily a další komponenty kapalin, tj. armatury a ventily, které jsou zpracovány vysoce čistými materiály a čistými výrobními procesy a jsou strukturovány pro snadné čištění a čištění. S vysokým těsnícím výkonem. Tyto tekuté komponenty jsou navrženy tak, aby splňovaly cestu toku procesu aplikace, využívající inženýrské a konstrukční požadavky polovodičového průmyslu.

Vysoce čisté připojení potrubí

Spoje VCR s kovovým těsněním čelního těsnění a spoje s automatickým vodicím tupým svarem jsou široce používány v náročných požadavcích na čistotu kapalinového systému díky schopnosti splnit hladký přechod průtokové cesty na spoji, žádnou stagnační zónu a vysoký těsnící výkon. Spoje VCR vytvoří úzké povrchové těsnění vytlačením relativně měkkého kovového těsnění. Opakovatelné a konzistentní spojení a těsnicí výkon je zajištěn pokaždé, když je deformované těsnění odstraněno a nahrazeno.

Trubky jsou svařovány automatickým orbitálním svařovacím systémem. Trubice je uvnitř i vně chráněna vysoce čistým plynem. Wolframová elektroda se otáčí podél oběžné dráhy pro vysoce kvalitní svařování. Plně automatizované orbitální svařování roztaví trubku bez zavádění dalších materiálů, dosažení vysoce kvalitního svaru opakovaným řízením tenkostěnných trubek je obtížné dosáhnout ručním svařováním.

Připojení kovového těsnění čelního těsnění videorekordéru

Automatické spojování trubek orbitálním svařováním na tupo

Ventily s vysokou čistotou

Chemická aktivita hořlavých, výbušných, korozivních a toxických elektronických speciálních plynů klade vysoké nároky na utěsnění ventilu. Aby se zlepšila spolehlivost těsnění, požadavek na bezucpávkové ventily, aby se zabránilo vnější netěsnosti, to znamená přepínání provozu vřetene ventilu a tělesa ventilu mezi těsněním pomocí kovového vlnovce nebo kovové membrány, aby se eliminovaly netěsnosti způsobené otěrem a deformace těsnění těsnění. Vlnovcové a membránově utěsněné ventily se běžně používají v procesních systémech pro vysoce čisté aplikace kvůli větší spolehlivosti těsnění a snadnějšímu čištění a výměně vnitřních částí ventilů.

Vlnovcové ventily jsou konstrukce jehlového ventilu bez ucpávky, která umožňuje pomalé otevírání a regulaci průtoku. Používá se pro elektronické plnění speciálních plynů s požadavky na bezpečný průtok nebo na lahve s prekurzorovým zdrojem s vysokými požadavky na bezpečnost. Celokovová těsnění špičky vřetene umožňují extrémně nízké provozní teploty a používají se pro kryogenní zkapalňování elektronických speciálních plynů v nádržích na hotové produkty po kryogenní destilaci pro potrubí.

Bezpružinový membránový těsnicí ventil je 1/4" zaklapávací ventil pro použití jako automaticky řízený přepínací ventil ve výtlačném potrubí. Běžně se používají v aplikacích s ultra vysokým tlakem a vysokou čistotou díky jejich jednoduché vnitřní průtokové cestě, malé vnitřní objem a snadné čištění a výměna.

Membránové utěsněné ventily, které se zavírají přes špičku vřetene, se mohou otevírat pomalu a lze je používat při vyšších provozních tlacích než neodpružené membránově utěsněné ventily. Jsou široce používány u vysokotlakých elektronických speciálních plynových lahví nebo prekurzorových lahví.

Sekundární těsnící vlnovcový ventil lze nejen použít v ultranízkoteplotních procesních systémech při -200 stupních, ale také zabraňuje úniku nebezpečných médií do atmosféry. Obvykle se používá pro velmi nebezpečné elektronické speciální plyny, jako je silanový plnicí systém.

Shenzhen Wofei Technology Co., Ltd, s více než 10 lety zkušeností v dodávkách průmyslových a speciálních plynů, materiálů, systémů zásobování plynem a plynového inženýrství pro polovodiče, LED, DRAM, TFT-LCD trhy, vám můžeme poskytnout potřebné materiály k tomu, aby se vaše produkty dostaly do popředí v oboru. Dokážeme nejen dodat širokou škálu ventilů a armatur pro polovodičové elektronické speciální plyny, ale dokážeme našim zákazníkům navrhnout i plynovodní potrubí a instalaci zařízení. Pokud máte nějaké potřeby v této oblasti, kontaktujte nás na čísle 27919860.