Introducción del sistema de tuberías de gas de la planta semiconductora

La conexión permite a la máquina alcanzar la función deseada al conectarse para transmitir utilidades. La conexión consiste en unir las utilidades (como agua, electricidad, gas, productos químicos, etc.) proporcionadas por la fábrica a la máquina y sus accesorios mediante el punto de conexión reservado (puerto o enchufe) a través de tuberías o cables.

Estas utilidades son utilizadas por la máquina para cumplir con los requisitos del proceso que se le asigna. Después de usar la máquina, el agua reciclable o desechos (como aguas residuales, gases residuales, etc.) generados por la máquina se conectan al contacto reservado del sistema a través de una tubería y luego se transmiten al sistema de recuperación de la planta o al sistema de tratamiento de gases residuales. El proyecto de conexión incluye principalmente: CAD, mudanza, perforación nuclear, sismología, vacío, gas, química D.I, PCW, CW, mensajería, electricidad, drenaje.

GAS HOOK-UP Conocimiento profesional básico

En las plantas de semiconductores, la conexión de la línea de gas se llama "sp1hook up" en términos de buckgas (gases generales como CDA, GN2, pN2, PO2, Phe, par, H2, etc.), y el punto de toma desde el punto de salida del tanque de almacenamiento de gas de la fuente de suministro de gas hasta la subconductora a través de la conductora principal se llama "sp1hook up", que va desde el punto de salida de toma hasta el punto de entrada de la máquina (herramienta) o equipo, llamado configuración secundaria (sp2hook up).

Para specialtygas (gas especial como corrosivo, tóxico, inflamable, gas de calefacción, etc.), su fuente de suministro de gas es gascabinet. Desde el punto de salida del g/c hasta el punto de entrada primario del VMB (caja principal de válvulas) o VMP (panel principal de válvulas) se llama sp1hook up, y desde el punto de salida secundario del VMB o VMP hasta el punto de entrada de la máquina se llama sp2 hook.