Requisitos del sistema para procesos de preparación de gases especiales electrónicos¡

El proceso de producción de gases electrónicos especializados incluye varios procesos como síntesis, purificación, llenado, análisis y prueba, mezcla y proporción. Para cumplir con los requisitos de pureza y contenido de impurezas de la fabricación de semiconductores aguas abajo, el proceso de purificación es muy importante. Dependiendo de la composición del gas de síntesis o gas crudo aguas arriba, se realiza una destilación a baja temperatura o una purificación en varias etapas.

Altos requisitos de limpieza

El proceso de preparación de gases electrónicos especiales se puede dividir en dos grandes bloques: la síntesis y purificación upstream, que pertenece al proceso de producción química. El tamaño de la línea de producción es grande y no hay requisitos especiales de nivel de limpieza. Después de la purificación downstream, el producto se llena con gas y se mezcla para su preparación. La línea de producción es pequeña y tiene requisitos de nivel de limpieza. Es necesario cumplir con la especificación estándar del proceso de fabricación de semiconductores.

Altos requisitos de sellado

Debido a su actividad química, los gases electrónicos especializados también imponen altos requisitos a los materiales y sellos del sistema de proceso de producción. Al igual que las exigencias de la fabricación de semiconductores, previene fugas en las interfaces causadas por la introducción de impurezas o la corrosión de los gases especiales. El sistema también puede utilizarse para evitar la introducción de impurezas o la fuga en la interfaz causada por la corrosión de los gases especiales.

Requisitos de alta estabilidad de calidad

La calidad de los gases electrónicos especializados incluye una serie de indicadores, como la pureza y el contenido de partículas de impurezas. Cualquier cambio en estos indicadores afectará los resultados del proceso de fabricación de semiconductores aguas abajo. Por lo tanto, para garantizar la consistencia de los indicadores del producto de gas especial electrónico, es muy importante que el sistema de proceso de preparación controle la estabilidad de los indicadores.

Aplicación de los sistemas de procesos de preparación de gases especiales

Debido a la actividad química y los requisitos de calidad del EGP, el sistema de producción para la preparación de EGP, especialmente el sistema de purificación downstream, debe cumplir con los requisitos de materiales de alta pureza, alta hermeticidad, alta limpieza y alta consistencia en la calidad, y la construcción de componentes ingenieriles debe cumplir con los estándares de la industria de fabricación de semiconductores.

Lo que comúnmente llamamos "alta pureza" es teóricamente la definición de la pureza de una sustancia, como gases de alta pureza, productos químicos de alta pureza, etc. Los sistemas de proceso o los componentes del sistema de proceso que se aplican a sustancias de alta pureza también se denominan de alta pureza, como sistemas de alta pureza y válvulas de alta pureza. Los sistemas de preparación de gases electrónicos especializados requieren accesorios, válvulas y otros componentes fluidos de aplicación de alta pureza, es decir, accesorios y válvulas que se procesan con materiales de alta pureza y procesos de fabricación limpios, y están diseñados para facilitar el purgado y la limpieza. Con un alto rendimiento en sellado. Estos componentes fluidos están diseñados para cumplir con el camino de flujo de proceso de la aplicación, utilizando los requisitos de ingeniería y construcción de la industria semiconductor.

Conexiones de Tubos de Alta Pureza

Las conexiones de sello facial con junta metálica VCR y las conexiones de soldadura por contacto automático son ampliamente utilizadas en requisitos de proceso de pureza del sistema de fluidos exigentes debido a la capacidad de cumplir con una transición suave del camino de flujo en la conexión, sin zonas de estancamiento y un alto rendimiento de sellado. Las conexiones VCR forman un sello superficial estrecho al extruir una junta metálica relativamente blanda. Se asegura un rendimiento de conexión y sellado repetible y consistente cada vez que se retira y reemplaza la junta deformada.

Los tubos se soldan utilizando un sistema de soldadura orbital automática. El tubo está protegido por gas de alta pureza tanto por dentro como por fuera. El electrodo de tungsteno gira a lo largo de la órbita para lograr una soldadura de alta calidad. La soldadura orbital completamente automatizada derrite el tubo sin introducir otros materiales, logrando una soldadura de alta calidad que es difícil de alcanzar con la soldadura manual al controlar repetidamente tubos de pared delgada.

Conexión de Sello Facial con Junta Metálica VCR

Conexión de Soldadura Orbital Automática de Tuberías

Válvulas de Alta Pureza

La actividad química de los gases especializados electrónicos inflamables, explosivos, corrosivos y tóxicos plantea altas exigencias en el sellado de la válvula. Para mejorar la fiabilidad del sellado, se requiere el uso de válvulas sin relleno para prevenir fugas externas, es decir, operación de conmutación entre el eje de la válvula y el cuerpo de la válvula utilizando juntas metálicas o diafragmas metálicos, con el fin de eliminar fugas debidas al desgaste y a la deformación del sello de relleno. Las válvulas con juntas de manguito y las válvulas con diafragma son comúnmente utilizadas en sistemas de proceso para aplicaciones de alta pureza debido a la mayor fiabilidad de los sellos y a la facilidad de limpieza y purga del reemplazo de los componentes internos de la válvula.

Las válvulas selladas con acorazado son una construcción de válvula de aguja sin relleno que permite una apertura lenta y regulación del flujo. Se utilizan para el llenado de gases electrónicos especiales con requisitos de flujo seguro o en botellas de fuentes precursoras con altos requisitos de seguridad. Los sellos de punta de eje metálicos permiten temperaturas operativas extremadamente bajas y se utilizan para la licuación criogénica de gases electrónicos especiales en tanques de producto terminado después de la destilación criogénica para tuberías.

La válvula de sello diafragma sin resorte es una válvula de apertura rápida de 1/4" para su uso como válvula de conmutación controlada automáticamente en tuberías de suministro. Son comúnmente utilizadas en aplicaciones de alta pureza y ultra-alta presión debido a su simple trayectoria de flujo interno, pequeño volumen interno y facilidad para purgar y reemplazar.

Las válvulas selladas con diafragma que se cierran mediante la punta del vástago pueden abrirse lentamente y ser utilizadas a presiones de funcionamiento más altas que las válvulas selladas con diafragma sin resorte. Se utilizan ampliamente en botellas de llenado de gases electrónicos especiales o fuentes de precursores de alta presión.

La válvula de campana de sello secundario no solo puede usarse en sistemas de proceso de ultra-baja temperatura a -200 grados, sino que también evita la fuga de medios peligrosos a la atmósfera. Generalmente se utiliza para gases electrónicos especiales muy peligrosos, como el sistema de llenado de silano.

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