Requisitos del sistema para procesos electrónicos de preparación de gases especiales！

El proceso de producción de gases especiales para electrónicos incluye varios procesos como síntesis, purificación, llenado, análisis y prueba, mezcla y dosificación. Para cumplir con los requisitos de pureza y contenido de impurezas de la fabricación de semiconductores posteriores, el proceso de purificación es muy importante. Dependiendo de la composición del gas de síntesis o del gas crudo aguas arriba, se realiza una destilación a baja temperatura o una purificación en varias etapas.

Altos requisitos de limpieza.

El proceso de preparación de gases especiales electrónicos se puede dividir en dos bloques principales: preparación de síntesis y purificación, que pertenece al proceso de producción química. El tamaño de la tubería de producción es grande y no existe ningún requisito de nivel de limpieza especial. Después de la purificación posterior, el producto se llena con gas y se mezcla para su preparación. La línea de producción es pequeña y tiene requisitos de nivel de limpieza. Debe cumplir con las especificaciones estándar del proceso de fabricación de semiconductores.

Altos requisitos de sellado

Debido a su actividad química, los gases especiales para electrónica también imponen altas exigencias a los materiales y al sellado del sistema de proceso de producción. Al igual que los requisitos de la fabricación de semiconductores, previene las fugas en la interfaz causadas por la introducción de impurezas o la corrosión de gases especiales. El sistema también se puede utilizar para evitar la introducción de impurezas o la fuga de interfaz causada por la corrosión de gases especiales.

Requisitos de estabilidad de alta calidad.

La calidad de los gases especiales para electrónica incluye una serie de indicadores como la pureza y el contenido de partículas de impurezas. Cualquier cambio en los indicadores afectará los resultados del proceso de fabricación de semiconductores. Por lo tanto, para garantizar la consistencia de los indicadores electrónicos de productos de gases especiales, el sistema del proceso de preparación para controlar la estabilidad de los indicadores también es muy importante.

Aplicación de sistemas de procesos de preparación de gases especiales

Debido a la actividad química y los requisitos de calidad de EGP, el sistema de producción para la preparación de EGP, especialmente el sistema de purificación posterior, debe cumplir con los requisitos de materiales de alta pureza, alto sellado, alta limpieza y consistencia de alta calidad, y la construcción de componentes de ingeniería debe cumplir con los estándares de la industria de fabricación de semiconductores.

Lo que comúnmente llamamos "alta pureza" es teóricamente la definición de la pureza de una sustancia, como gases de alta pureza, productos químicos de alta pureza, etc. También se denominan sistemas de proceso o componentes de sistemas de proceso que se aplican a sustancias de alta pureza. como de alta pureza, como sistemas de alta pureza y válvulas de alta pureza. Los sistemas electrónicos de preparación de gases especiales requieren accesorios de aplicación, válvulas y otros componentes de fluidos de alta pureza, es decir, accesorios y válvulas que se procesan con materiales de alta pureza y procesos de fabricación limpios, y que están estructurados para una fácil purga y limpieza. Con alto rendimiento de sellado. Estos componentes fluidos están diseñados para cumplir con la ruta de flujo del proceso de la aplicación, utilizando los requisitos de ingeniería y construcción de la industria de semiconductores.

Conexiones de tuberías de alta pureza

Las conexiones de sellado frontal de junta metálica VCR y las conexiones de soldadura a tope de guía automática se utilizan ampliamente en los exigentes requisitos de proceso de pureza del sistema de fluidos debido a la capacidad de cumplir con una transición suave de la ruta del flujo en la conexión, sin zona de estancamiento y un alto rendimiento de sellado. Conexiones VCR Forme un sello de superficie estrecho extruyendo una junta de metal relativamente blanda. Se garantiza un rendimiento de conexión y sellado repetible y consistente cada vez que se retira y reemplaza la junta deformada.

Los tubos se sueldan mediante un sistema de soldadura orbital automático. El tubo está protegido por gas de alta pureza por dentro y por fuera. El electrodo de tungsteno gira a lo largo de la órbita para una soldadura de alta calidad. La soldadura orbital totalmente automatizada funde la tubería sin introducir otros materiales; lograr una soldadura de alta calidad controlando repetidamente tuberías de paredes delgadas es difícil de lograr con la soldadura manual.

Conexión de sello frontal de junta metálica VCR

Conexión automática de tuberías mediante soldadura a tope orbital

Válvulas de alta pureza

La actividad química de gases especiales electrónicos inflamables, explosivos, corrosivos y tóxicos impone altas exigencias al sellado de la válvula. Para mejorar la confiabilidad del sellado, el requisito de válvulas sin empaquetadura para evitar fugas externas, es decir, cambiar la operación del vástago de la válvula y el cuerpo de la válvula entre el sello usando fuelles metálicos o diafragma metálico, para eliminar las fugas debidas a la abrasión y deformación del sello del empaque. Las válvulas selladas con fuelle y con diafragma se usan comúnmente en sistemas de proceso para aplicaciones de alta pureza debido a la mayor confiabilidad de los sellos y la limpieza más fácil y el reemplazo de purga de los componentes internos de la válvula.

Las válvulas selladas con fuelle son una construcción de válvula de aguja sin empaquetadura que permite una apertura lenta y una regulación del flujo. Se utiliza para el llenado electrónico de gases especiales con requisitos de flujo de seguridad o en botellas de precursores con altos requisitos de seguridad. Los sellos de punta del vástago totalmente metálicos permiten temperaturas de funcionamiento extremadamente bajas y se utilizan para la licuefacción criogénica de gases especiales electrónicos en tanques de productos terminados después de la destilación criogénica para tuberías.

La válvula de sello de diafragma sin resorte es una válvula de apertura rápida de 1/4" para usar como válvula de conmutación controlada automáticamente en tuberías de suministro. Se usan comúnmente en aplicaciones de alta pureza y presión ultraalta debido a su ruta de flujo interna simple, pequeña volumen interno y facilidad de purga y reemplazo.

Las válvulas selladas con diafragma que se cierran a través de la punta del vástago pueden abrirse lentamente y usarse a presiones de operación más altas que las válvulas selladas con diafragma sin resorte. Se utilizan ampliamente en el llenado de gases especiales electrónicos de alta presión o en botellas de fuente de precursores.

La válvula de fuelle de sello secundario no solo se puede utilizar en sistemas de proceso de temperatura ultrabaja a -200 grados, sino que también evita la fuga de medios peligrosos a la atmósfera. Generalmente se utiliza para gases especiales electrónicos muy peligrosos, como el sistema de llenado de silano.

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