Primjena posebnog plina za obradu repnog plina!

Oprema za obradu repnih plinova može rukovati plinovima koji se koriste u procesima lejanja i kemikalne parne depozicije u poluprovodničkoj, tečnosnim kristalnim i solarnoenergetskim industrijama, uključujući SiH4, SiH2Cl2, PH3, B2H6, TEOS, H2, CO, NF3, SF6, C2F6, WF6, NH3, N2O i slično.

Način obrade otpornih plinova

Prema karakteristikama obrade otpornih plinova, obrada se može podijeliti na četiri vrste obrade:

1. Vodeni pranje (obrada korozivnih plinova)

2. Oksidacijski tip (borba s izgarljivim i toksičnim plinovima)

3. Adsorpcija (prema vrsti adsorpcijskog materijala za obradu odgovarajućih otpornih plinova).

4. Plazamski izgaranja tip (svi vrste otpornih plinova mogu se obraditi).

Svaki tip tretmana ima svoje prednosti i mane te također i svoj opseg primjene. Kada je metoda tretmana vodenim pranje, oprema je jeftina i jednostavna, a može obraditi samo vodoprljive plinove; opseg primjene električnog vodenog pranja je veći od običnog vodenog pranja, ali su troškovi operacije visoki; suvi tip ima dobru učinkovitost pri obradi, ali nije primjenjiv na plinske toke koje se lako zatvaraju ili proteku.

Kemikalije i njihovi izvodi koji se često koriste u poluprovodničkoj industriji mogu se kategorizirati prema svojstvima i različitim rasponima:

1. Vatroopasni plinovi kao što su SiH4H2 itd.

2. Toksični plinovi kao što su AsH3, PH3 itd.

3. Korozivni plinovi kao što su HF, HCl itd.

4. Staklenički plinovi kao što su CF4, NF3 itd.

Kako su navedene četiri plinove štetni za okoliš ili ljudski tijelo, mora se sprečiti njihov neposredan odbacivanje u zrak, stoga su većina poluprovodničkih tvornica opremljena velikim centraliziranim sustavom obrade izduvnog plina, ali ovaj sustav koristi samo vodeni pranje izduvnog plina, pa je njegova primjena ograničena na dugoročno rastvorive plinove, a ne može upravljati stalno promjenjivim i kompleksnim dijelovima poluprovodničkog procesa odabiranja izduvnog plina. Stoga je nužno odabrati i prilagoditi odgovarajuće uređaje za obradu izduvnog plina prema karakteristikama plinova izvedenih iz svakog procesa kako bi se riješio problem izduvnog plina na maloj razini. Budući da je radna zona uglavnom udaljena od centralnog sustava obrade izduvnog plina, često zbog karakteristika plinova dođe do kristalizacije ili nagomilavanja prašine u cijevima, što uzrokuje zaključenost cijevi što dovodi do promjaha plina, a u ozbiljnijim slučajevima može čak uzrokovati eksploziju, te se ne može osigurati sigurnost rada zaposlenika na mjestu. Stoga je potrebno u radnoj zoni postaviti manje uređaje za obradu izduvnog plina prilagođene karakteristikama procesnog plina kako bi se smanjio zadržani izduvni plin u radnoj zoni i osigurala sigurnost osoblja.