Primjena posebnog plina za obradu otpadnog plina！ Hrvatska

Oprema za obradu otpadnih plinova može rukovati plinovima koji se koriste u procesima jetkanja i procesima kemijskog taloženja parom u industriji poluvodiča, tekućih kristala i solarne energije, uključujući SiH4, SiH2Cl2, PH3, B2H6, TEOS, H2, CO, NF3, SF6, C2F6, WF6 , NH3, N2O i tako dalje.

Metoda obrade ispušnih plinova

Prema karakteristikama obrade ispušnih plinova, obrada se može podijeliti u četiri vrste obrade:

1. Vrsta pranja vodom (obrada korozivnih plinova)

2. Oksidirajući tip (radi sa zapaljivim i otrovnim plinovima)

3. Adsorpcija (prema vrsti adsorpcijskog materijala koji se bavi odgovarajućim ispušnim plinom).

4.Tip plazma izgaranja (sve vrste ispušnih plinova se mogu tretirati).

Svaka vrsta tretmana ima svoje prednosti i nedostatke kao i područje primjene. Kada je metoda obrade pranje vodom, oprema je jeftina i jednostavna i može rukovati samo plinovima topivim u vodi; raspon primjene električnog pranja vodom veći je od onog tipa pranja vodom, ali su troškovi rada visoki; suhi tip ima dobru učinkovitost obrade i nije primjenjiv na protok plina koji se lako začepi ili teče.

Kemikalije i njihovi nusproizvodi koji se obično koriste u industriji poluvodiča mogu se kategorizirati prema njihovim kemijskim svojstvima i različitim rasponima:

1. Zapaljivi plinovi kao što je SiH4H2, itd.

2. Otrovni plinovi kao što su AsH3, PH3, itd.

3. Korozivni plinovi kao što su HF, HCl, itd.

4. Staklenički plinovi kao što su CF4, NF3, itd.

Budući da su gore navedena četiri plina štetna za okoliš ili ljudsko tijelo, mora se spriječiti njihova izravna emisija u atmosferu, tako da je opće postrojenje poluvodiča instalirano s velikim centraliziranim sustavom za obradu ispušnih plinova, ali ovaj sustav je samo ispušni sustav za pranje vodom, pa je primjena je ograničena na plinove topljive u vodi na velikim udaljenostima i ne može se nositi s stalno promjenjivom i suptilnom podjelom ispušnih plinova procesa poluvodiča. Stoga je potrebno odabrati i uskladiti odgovarajuću opremu za obradu ispušnih plinova prema karakteristikama plina izvedenim iz svakog procesa kako bi se problem ispušnih plinova riješio na mali način. Budući da je radno područje većinom udaljeno od središnjeg sustava za obradu ispušnih plinova, često zbog karakteristika plina dolazi do kristalizacije ili nakupljanja prašine u cjevovodu, što rezultira začepljenjem cjevovoda što dovodi do istjecanja plina, au težim slučajevima čak i do eksplozije , ne može osigurati radnu sigurnost osoblja na gradilištu. Stoga je u radnom području potrebno konfigurirati malu opremu za obradu ispušnih plinova koja odgovara karakteristikama procesnog plina, kako bi se smanjio ustajali ispušni plin u radnom području, kako bi se osigurala sigurnost osoblja.