Dizajn sustava za plinove koji se koriste u proizvodnji poluvodiča Hrvatska

Kako tržište poluvodiča raste, standardi za čistoću i točnost postaju sve stroži. Jedan od odlučujućih čimbenika u kvaliteti proizvodnje poluvodiča su plinovi koji se koriste u procesu. Ovi plinovi igraju mnoge uloge u procesu proizvodnje, uključujući:

Precizna kontrola procesa

Sprječavanje kontaminacije

Poboljšanje metalurških svojstava

Za učinkovito obavljanje ovih uloga, sustav opskrbe i distribucije plina mora biti učinkovit. Dizajn sustava za rukovanje plinom koji se koriste u proizvodnji poluvodiča mora biti podržan robusnim komponentama i prilagođenim sklopovima kako bi se osigurala pouzdana i visokokvalitetna proizvodnja poluvodiča.

Plinovi koji se koriste u proizvodnji poluvodiča

Proces proizvodnje poluvodiča zahtijeva korištenje različitih plinova u različitim fazama procesa.

Dok se uobičajeni plinovi kao što su dušik, vodik, argon i helij mogu koristiti u svom čistom obliku, određeni procesi mogu zahtijevati specijalizirane smjese. Silani ili siloksani, heksafluoridi, halogenidi i ugljikovodici samo su neki od specijalnih plinova koji se koriste u proizvodnji poluvodiča. Mnogi od ovih plinova mogu biti opasni ili vrlo reaktivni, stvarajući izazove u odabiru i dizajnu komponenti za plinske sustave.

Evo nekoliko primjera:

Vodik i helij mogu lako iscuriti iz sustava cjevovoda i spojnih dijelova zbog svoje male atomske veličine i težine.

Silani su vrlo zapaljivi i mogu se spontano zapaliti (samozapaliti) na zraku.

Dušikov difluorid koji se koristi u fazama taloženja, jetkanja i čišćenja komore postaje snažan staklenički plin kada iscuri u okoliš.

Vodikov fluorid (plin za jetkanje) vrlo je korozivan za metalne cijevi.

Trimetilgalijum i amonijak mogu biti teški za rukovanje - male fluktuacije u njihovim zahtjevima za temperaturu i tlak mogu utjecati na proces taloženja.

Kontrola uvjeta procesa kako bi se smanjili negativni učinci ovih plinova mora biti glavni prioritet tijekom projektiranja sustava. Jednako je važno koristiti komponente najviše kvalitete kao što su AFK membranski ventili tijekom procesa izrade.

Rješavanje izazova dizajna sustava

Plinovi za poluvodiče u većini su slučajeva visoke čistoće i osiguravaju inertne uvjete ili pojačavaju reakcije u različitim fazama proizvodnog procesa, kao što su plinovi za jetkanje i taloženje. Istjecanje ili kontaminacija takvih plinova može imati negativne učinke. Stoga je ključno da komponente sustava koje se koriste budu hermetički zatvorene i otporne na koroziju, kao i da imaju glatku površinu (elektrolitičko poliranje) kako bi se osiguralo da nema mogućnosti kontaminacije i da se može održati izuzetno visoka razina čistoće.

Osim toga, neki od ovih plinova mogu se grijati ili hladiti kako bi se postigli željeni procesni uvjeti. Dobro izolirane komponente osiguravaju kontrolu temperature, što je ključno za učinkovito djelovanje konačnog proizvoda.

Od ulaza izvora do točke uporabe, AFK-ov širok raspon komponenti podržava ultravisoku čistoću, temperaturu, tlak i kontrolu protoka potrebnu u poluvodičkim čistim sobama i vakuumskim komorama.

Dizajnirani sustavi s kvalitetnim komponentama u tvornicama poluvodiča

Uloga kvalitetnih komponenti i optimizacije dizajna ključna je za preciznu kontrolu i sigurnu proizvodnju poluvodiča. Komponente koje se koriste moraju biti robusne i nepropusne kako bi odgovarale različitim uvjetima procesa potrebnim u različitim fazama proizvodnje. AFK-ove visokokvalitetne ventile, armature, regulatore, cijevi i brtvene nosače karakteriziraju sljedeće značajke:

Ultra-visoke čistoće

Brtve bez curenja

Izolacija s kontroliranom temperaturom

Regulacija tlaka

otpornost na koroziju

Tretman elektrolitičkog poliranja