Zahtjevi sustava za elektronske procese pripreme specijalnih plinova！ Hrvatska

Proces proizvodnje elektroničkih specijalnih plinova uključuje nekoliko procesa kao što su sinteza, pročišćavanje, punjenje, analiza i testiranje, miješanje i proporcioniranje. Kako bi se zadovoljili zahtjevi proizvodnje poluvodiča za čistoću i sadržaj nečistoća, proces pročišćavanja je vrlo važan. Ovisno o sastavu uzvodnog sinteznog plina ili sirovog plina, provodi se destilacija na niskoj temperaturi ili višestupanjsko pročišćavanje.

Visoki zahtjevi za čistoćom

Proces pripreme elektroničkih specijalnih plinova može se podijeliti u dva glavna bloka pripreme i pročišćavanja uzvodne sinteze, što pripada procesu kemijske proizvodnje. Veličina proizvodnog cjevovoda je velika i ne postoji poseban zahtjev za razinu čistoće. Nakon daljnjeg pročišćavanja, proizvod se puni plinom i miješa za pripremu. Proizvodni cjevovod je mali i zahtijeva razinu čistoće. Mora zadovoljiti standardnu ​​specifikaciju procesa proizvodnje poluvodiča.

Visoki zahtjevi za brtvljenje

Zbog svoje kemijske aktivnosti, elektronički specijalni plinovi također postavljaju visoke zahtjeve na materijale i brtvljenje sustava proizvodnog procesa. Baš kao i zahtjevi proizvodnje poluvodiča, sprječava curenje sučelja uzrokovano uvođenjem nečistoća ili korozije posebnih plinova. Sustav se također može koristiti za sprječavanje unošenja nečistoća ili curenja sučelja uzrokovanog korozijom posebnih plinova.

Visoki zahtjevi za stabilnost kvalitete

Kvaliteta elektroničkih specijalnih plinova uključuje niz pokazatelja kao što su čistoća i sadržaj čestica nečistoća. Svaka promjena pokazatelja utjecat će na rezultate daljnjeg procesa proizvodnje poluvodiča. Stoga, kako bi se osigurala konzistentnost elektroničkih indikatora posebnih plinskih proizvoda, sustav procesa pripreme za kontrolu stabilnosti indikatora također je vrlo važan.

Primjena sustava posebnih procesa pripreme plina

Zbog kemijske aktivnosti i zahtjeva kvalitete EGP-a, proizvodni sustav za pripremu EGP-a, posebno sustav za pročišćavanje nizvodno, mora ispunjavati zahtjeve materijala visoke čistoće, visokog brtvljenja, visoke čistoće i visokokvalitetne konzistencije, a konstrukcija projektiranih komponenti mora zadovoljiti standarde industrije proizvodnje poluvodiča.

Ono što obično nazivamo "visoka čistoća" teoretski je definicija čistoće tvari, kao što su plinovi visoke čistoće, kemikalije visoke čistoće, itd. Procesni sustavi ili komponente procesnih sustava koji se primjenjuju na tvari visoke čistoće također se odnose do visoke čistoće, kao što su sustavi visoke čistoće i ventili visoke čistoće. Elektronički specijalni sustavi za pripremu plina zahtijevaju armature, ventile i druge komponente tekućine visoke čistoće, tj. armature i ventile koji su obrađeni materijalima visoke čistoće i čistim proizvodnim procesima, te su strukturirani za lako pročišćavanje i čišćenje. S visokim učinkom brtvljenja. Ove fluidne komponente dizajnirane su da zadovolje proces toka aplikacije, koristeći inženjerske i konstrukcijske zahtjeve industrije poluvodiča.

Priključci cjevovoda visoke čistoće

VCR priključci s čeonom brtvom s metalnom brtvom i priključci s automatskim vođenjem sučeonim zavarivanjem naširoko se koriste u zahtjevnim procesnim zahtjevima čistoće tekućinskog sustava zbog mogućnosti ispunjavanja glatkog prijelaza putanje protoka na spoju, bez zone stagnacije i visokih performansi brtvljenja. VCR priključci oblikujte usku površinsku brtvu istiskivanjem relativno meke metalne brtve. Svaki put kada se deformirana brtva ukloni i zamijeni, osigurana je ponovljiva i dosljedna izvedba spajanja i brtvljenja.

Cijevi se zavaruju pomoću automatskog orbitalnog sustava za zavarivanje. Cijev je zaštićena plinom visoke čistoće iznutra i izvana. Volframova elektroda rotira duž orbite za visokokvalitetno zavarivanje. Potpuno automatizirano orbitalno zavarivanje topi cijev bez uvođenja drugih materijala, postizanje visokokvalitetnog zavara višekratnim kontroliranjem cijevi tankih stijenki teško je postići ručnim zavarivanjem.

VCR Metalna brtva Spoj s čeonom brtvom

Automatsko spajanje cijevi orbitalnim sučeonim zavarivanjem

Ventili visoke čistoće

Kemijska aktivnost zapaljivih, eksplozivnih, korozivnih i otrovnih elektroničkih specijalnih plinova postavlja visoke zahtjeve za brtvljenje ventila. Kako bi se poboljšala pouzdanost brtvljenja, zahtjev za ventile bez brtve za sprječavanje vanjskog curenja, odnosno prebacivanje rada stabla ventila i tijela ventila između brtve pomoću metalnog mijeha ili metalne dijafragme, kako bi se uklonilo curenje zbog abrazije i deformacija brtve pakiranja. Ventili zabrtvljeni mijehom i membranom obično se koriste u procesnim sustavima za aplikacije visoke čistoće zbog veće pouzdanosti brtvi i lakšeg čišćenja i zamjene unutarnjih dijelova ventila.

Ventili s mijehom su konstrukcija igličastog ventila bez brtve koja omogućuje sporo otvaranje i regulaciju protoka. Koristi se za elektroničko punjenje specijalnim plinom sa zahtjevima sigurnog protoka ili na bocama s prethodnim izvorima s visokim sigurnosnim zahtjevima. Potpuno metalne brtve vrha vretena omogućuju iznimno niske radne temperature i koriste se za kriogeno ukapljivanje specijalnih elektroničkih plinova u spremnicima za gotove proizvode nakon kriogene destilacije za cjevovode.

Ventil s membranskom brtvom bez opruge je 1/4" ventil koji se brzo otvara i koristi se kao automatski kontrolirani sklopni ventil u dovodnim cjevovodima. Obično se koriste u aplikacijama s ultra visokim tlakom i visokom čistoćom zbog jednostavnog unutarnjeg puta protoka, malog unutarnji volumen i jednostavnost čišćenja i zamjene.

Ventili s membranskim brtvljenjem koji se zatvaraju preko vrha vretena mogu se polako otvarati i koristiti pri višim radnim tlakovima nego ventili s membranskim brtvljenjem bez opruga. Naširoko se koriste na visokotlačnim elektroničkim specijalnim plinskim punionicama ili bocama izvora prekursora.

Ventil s mijehom sekundarne brtve ne samo da se može koristiti u procesnim sustavima ultra niske temperature na -200 stupnjeva, već također sprječava istjecanje opasnih medija u atmosferu. Obično se koristi za vrlo opasne elektroničke posebne plinove, kao što je sustav za punjenje silanom.

Shenzhen Wofei Technology Co., Ltd, s preko 10 godina iskustva u opskrbi industrijskim i specijalnim plinovima, materijalima, sustavima za opskrbu plinom i plinskom inženjerstvu za tržišta poluvodiča, LED, DRAM, TFT-LCD, možemo vam pružiti potrebne materijale za guranje vaših proizvoda na čelo industrije. Ne samo da možemo isporučiti širok raspon ventila i armatura za poluvodičke elektroničke specijalne plinove, već također možemo projektirati plinske cijevi i instalaciju opreme za naše klijente. Ako imate bilo kakvih potreba u ovom području, kontaktirajte nas na 27919860.