Sustavski zahtjevi za procesima pripreme elektronskih posebnih plinova!

Proces proizvodnje elektronskih specijalnih plinova uključuje nekoliko procesa poput sinteze, očišćavanja, punjenja, analize i testiranja, miješanja i proporcionalnog raspodjele. Kako bi se ispunile zahtjeve proizvodnje poluprovodnika dolvanstrima u smislu čistoće i sadržaja onesnažujućih tvari, proces očišćavanja je vrlo važan. Ovisno o sastavu sintetiziranog plina ili sirovinskog plina iz gornjeg segmenta, izvršava se niskotemperaturna destilacija ili višestruko očišćavanje.

Visoki zahtjevi za čistoćom

Proces pripreme elektronskih posebnih plinova može se podijeliti na dva glavna bloka: gornjezgodni sintetički pripremni i očišćivanje, što pripada procesu kemikalne proizvodnje. Veličina proizvodnog cijevoda je velika, a nema posebnih zahtjeva za razinom čistoće. Nakon dolnjezgodnog očišćivanja, proizvodu se dodaje plin i miješa se za pripremu. Proizvodni cijevod je malen i ima zahtjeve za razinom čistoće. Moraju se ispunjiti standardni specifikaciji procesa izrade poluprovodnika.

Visoki zahtjevi za zatvaranjem

Zbog svoje kemijske aktivnosti, elektronički specijalni plinovi također postavljaju visoke zahtjeve na materijale i sigurnost zatvaranja u sustavu proizvodnog procesa. Slično kao i zahtjevi u proizvodnji haljina, spriječava se promjena na sučelju uzrokovana uvodjenjem onesuđenja ili korozijom specijalnih plinova. Sustav se također može koristiti kako bi se spriječilo uvodjenje onesuđenja ili promjena na sučelju uzrokovana korozijom specijalnih plinova.

Visoki zahtjevi stabilnosti kvalitete

Kvaliteta elektroničkih specijalnih plinova obuhvaća brojne indikatore poput čistoće i sadržaja čestica onesuđenja. Bilo koja promjena tih indikatora utječe na rezultate dolnog procesa proizvodnje haljina. Stoga je važno da se u procesu pripreme kontrolira stabilnost indikatora kako bi se osigurala konzistentnost indikatora elektroničkog specijalnog plina.

Primjena sustava procesa pripreme specijalnih plinova

Zbog kemikalne aktivnosti i zahtjeva za kvalitetom EGP-a, proizvodni sustav za pripremu EGP-a, posebno donji tok purifikacijskog sustava, mora ispunjiti zahtjeve visoke čistoće materijala, visoke sigurnosti, visoke čistoće i visoke konsistencije kvaliteta, a izgradnja inženjerskih komponenti mora ispunjiti standarda industrije proizvodnje poluprovodnika.

Što često nazivamo "visokom čistoćom" je teorijski izraz za čistoću neke tvari, kao što su plinovi visoke čistoće, kemikalije visoke čistoće itd. Procesne sustave ili komponente procesnih sustava koji se primjenjuju na tvari visoke čistoće također nazivamo visokocistim, kao što su sustavi visoke čistoće i ventilacije visoke čistoće. Elektronski specijalistički sustavi za pripremu plinova zahtijevaju prilagodbe, ventile i druge fluidne komponente koje se koriste u aplikacijama visoke čistoće, odnosno prilagodbe i ventile koji su obradjeni s materijalima visoke čistoće i čistim proizvodnim postupcima, a konstruirani su kako bi bilo lako očistiti ih i očistiti. S visokim performansama zaključivanja. Ove fluidne komponente dizajnirane su kako bi zadovoljile putanje toka procesa u aplikaciji, koristeći inženjerske i gradbenike zahtjeve poluprovodničke industrije.

Spajanja cijevi visoke čistoće

VCR metalni prsteni čeljusti i automatski vodič za spojeve butnog svarivanja široko se koriste u zahtijevnim procesima čistoće fluidnih sustava zbog mogućnosti zadovoljiti oba, glatku tranziciju putanje toka na spoju, bez zone stagneracije, te visoku performansu zaključivanja. VCR spojevi formiraju usku površinsku zaključnicu ekstrudiranjem relativno mekog metalnog prstena. Ponovljiva i konzistentna performanca spoja i zaključivanja osigurana je svaki put kada se deformirani prsten ukloni i zamijeni.

Cijevi se svaruju pomoću automatskog orbitalnog sustava za svarivanje. Cijev štiti se visokocistim plinom izvana i unutra. Tungsten elektroda rotira duž orbite za visokokvalitetno svarivanje. Potpuno automatsko orbitalno svarivanje topi cijev bez uvodenja drugih materijala, postizeći visokokvalitetan spoj kontroliranjem tankozidne cijevi što je teško postići ručnim svarivanjem.

VCR Metalni Prsteni Čeljusti

Automatsko Orbitalno Butno Svarivanje Cijevi

Visokocisti Klape

Kemijska aktivnost vatroopasnih, eksplozivnih, korozivnih i toksičnih elektronskih posebnih plinova stavlja visoke zahtjeve na zatvaranje ventil-a. Kako bismo poboljšali pouzdanost zatvaranja, potrebno je koristiti ventile bez punjenja kako bi se spriječila vanjska promaknina, odnosno prelazna operacija između štapa ventila i tijela ventila s pomoću metalnih valjana ili metalne membrane kako bi se eliminirala promaknina zbog oštećenja i deformacije punjenja. Valjano-zatvoreni i membrano-zatvoreni ventili često se koriste u procesnim sustavima za aplikacije visoke čistoće zbog veće pouzdanosti zatvaranja te lakše čišćenja i zamjene unutarnjih dijelova ventila.

Ventil s rukojačnom je konstrukcija staklenog ventila bez izolacije koja omogućuje sporo otvaranje i regulaciju toka. Koristi se za punjenje elektronskih posebnih plinova s zahtjevima za sigurnim protokom ili na precursornim izvorima boca s visokim zahtjevima na sigurnost. Metalna špica ključa omogućuje ekstremno niske radne temperature i koristi se za kriogeno likvefikaciju elektronskih posebnih plinova u rezervoarima za gotov proizvod nakon kriogene destilacije za cijevi.

Ventil s peharastim zaključkom bez pružine je 1/4" ventil brzog otvaranja koji se koristi kao automatski kontrolirani prebacivački ventil u cijevima za dostavu. Često se koriste u ultra-viskokopresnim, visokocistim primjenama zbog jednostavnog unutarnjeg putanje toka, male unutarnje volumene te lakoči očišćavanja i zamjene.

Ventil s dijafrazmom koji se zatvara preko vrha štapa može se otvoriti sporo i koristiti se pri višim radnim tlakova od ventila s dijafrazmom bez pružine. Općenito se koriste na bocama za punjenje elektronskih specijalnih plinova visokog tlaka ili izvora prekursora.

Ventil s sekundarnom zatvarajućom klapetom može se koristiti ne samo u ultra-niskotemperaturnim procesnim sustavima na -200 stupnjeva, već i sprečava prometnušu opasnih tvari u atmosferu. Obično se koristi za vrlo opasne elektronske specijalne plinove, kao što je sistem za punjenje silana.

Shenzhen Wofei Technology Co., Ltd, s više od 10 godina iskustva u dostavi industrijskih i posebnih plinova, materijala, sustava za dobavljanje plinova i plinske inženjerstve za tržišta poluprovodnika, LED-a, DRAM-a, TFT-LCD-a, možemo vam pružiti potrebne materijale kako biste svoje proizvode stavili na čelo industrije. Možemo ne samo dostavljati širok raspon ventilaca i spojeva za posebne plinove u poluprovodničkoj elektronici, već i projektirati cijevanje za plinove te instalirati opremu za naše klijente. Ako imate bilo kakve potrebe u ovom području, kontaktirajte nas na 27919860.