Mempopulerkan gas dengan kemurnian sangat tinggi dalam manufaktur semikonduktor! Indonesia

Gas dengan kemurnian sangat tinggi sangat penting di seluruh rantai pasokan semikonduktor. Faktanya, untuk pabrik pada umumnya, gas dengan kemurnian tinggi merupakan bahan yang menghabiskan biaya terbesar setelah silikon itu sendiri. Setelah kekurangan chip global, industri ini berkembang lebih cepat dari sebelumnya - dan permintaan akan gas dengan kemurnian tinggi pun meningkat.

Gas curah yang paling umum digunakan dalam pembuatan semikonduktor adalah nitrogen, helium, hidrogen, dan argon.

Nitrogen

Nitrogen membentuk 78% atmosfer kita dan jumlahnya sangat melimpah. Ia juga bersifat inert secara kimia dan non-konduktif. Hasilnya, nitrogen telah digunakan di sejumlah industri sebagai gas inert yang hemat biaya.

Industri semikonduktor adalah konsumen utama nitrogen. Pabrik semikonduktor modern diperkirakan menggunakan hingga 50,000 meter kubik nitrogen per jam. Dalam manufaktur semikonduktor, nitrogen bertindak sebagai gas inerting dan pembersih tujuan umum, melindungi wafer silikon sensitif dari oksigen reaktif dan kelembapan di udara.

Helium

Helium adalah gas inert. Artinya, seperti nitrogen, helium bersifat inert secara kimia - namun ia juga memiliki keuntungan tambahan yaitu konduktivitas termal yang tinggi. Hal ini sangat berguna dalam manufaktur semikonduktor, yang memungkinkannya secara efisien menghantarkan panas dari proses berenergi tinggi dan membantu melindunginya dari kerusakan termal dan reaksi kimia yang tidak diinginkan.

Hidrogen

Hidrogen digunakan secara luas di seluruh proses manufaktur elektronik, tidak terkecuali produksi semikonduktor. Secara khusus, hidrogen digunakan untuk:

Annealing: Wafer silikon biasanya dipanaskan hingga suhu tinggi dan didinginkan secara perlahan untuk memperbaiki (anil) struktur kristal. Hidrogen digunakan untuk mentransfer panas secara merata ke wafer dan membantu membangun kembali struktur kristal.

Epitaksi: Hidrogen dengan kemurnian sangat tinggi digunakan sebagai zat pereduksi dalam pengendapan epitaksi bahan semikonduktor seperti silikon dan germanium.

Deposisi: Hidrogen dapat diolah menjadi film silikon untuk membuat struktur atomnya lebih tidak teratur, sehingga membantu meningkatkan resistivitas.

Pembersihan Plasma: Plasma hidrogen sangat efektif dalam menghilangkan kontaminasi timah dari sumber cahaya yang digunakan dalam litografi UV.

Argon

Argon adalah gas mulia lainnya, sehingga menunjukkan reaktivitas rendah yang sama seperti nitrogen dan helium. Namun, energi ionisasi argon yang rendah membuatnya berguna dalam aplikasi semikonduktor. Karena ionisasinya yang relatif mudah, argon umumnya digunakan sebagai gas plasma utama untuk reaksi etsa dan pengendapan dalam pembuatan semikonduktor. Selain itu, argon juga digunakan dalam laser excimer untuk litografi UV.

Mengapa kemurnian itu penting

Biasanya, kemajuan teknologi semikonduktor dicapai melalui penskalaan ukuran, dan teknologi semikonduktor generasi baru ditandai dengan ukuran fitur yang lebih kecil. Hal ini menghasilkan banyak manfaat: lebih banyak transistor dalam volume tertentu, peningkatan arus, konsumsi daya lebih rendah, dan peralihan lebih cepat.

Namun, seiring dengan berkurangnya ukuran kritis, perangkat semikonduktor menjadi semakin canggih. Di dunia di mana posisi masing-masing atom penting, ambang batas toleransi kesalahan sangat ketat. Akibatnya, proses semikonduktor modern memerlukan gas proses dengan kemurnian setinggi mungkin.

WOFLY adalah perusahaan teknologi tinggi yang mengkhususkan diri dalam rekayasa sistem aplikasi gas: sistem gas khusus elektronik, sistem sirkuit gas laboratorium, sistem pasokan gas terpusat industri, sistem gas curah (cair), gas dengan kemurnian tinggi dan sistem perpipaan sekunder gas proses khusus, pengiriman bahan kimia sistem, sistem air murni untuk menyediakan serangkaian layanan teknik dan teknis lengkap serta produk tambahan mulai dari konsultasi teknis, perencanaan keseluruhan, desain sistem, pemilihan peralatan, komponen prefabrikasi, pemasangan dan konstruksi lokasi proyek, pengujian sistem secara keseluruhan, pemeliharaan dan produk pendukung lainnya secara terpadu.