Persyaratan Sistem untuk Proses Persiapan Gas Khusus Elektronik!

Proses produksi gas spesialis elektronik mencakup beberapa proses seperti sintesis, pemurnian, pengisian, analisis dan pengujian, pencampuran dan perbandingan. Untuk memenuhi persyaratan kebersihan dan kandungan imputitas dalam manufaktur semikonduktor hilir, proses pemurnian sangat penting. Bergantung pada komposisi gas sintesis atau gas baku dari hulu, distilasi suhu rendah atau pemurnian multistage dilakukan.

Persyaratan kebersihan tinggi

Proses persiapan gas elektronik khusus dapat dibagi menjadi dua bagian utama, yaitu sintesis persiapan dan pemurnian di hulu, yang termasuk dalam proses produksi kimia. Ukuran saluran produksi cukup besar, dan tidak ada persyaratan tingkat kebersihan khusus. Setelah pemurnian di hilir, produk diisi dengan gas dan dicampur untuk persiapan. Saluran produksinya kecil dan memiliki persyaratan tingkat kebersihan. Harus memenuhi spesifikasi standar proses manufaktur semikonduktor.

Persyaratan penyegelan yang tinggi

Karena aktivitas kimianya, gas spesial elektronik juga menuntut tinggi pada material dan penyegelan sistem proses produksi. Seperti halnya persyaratan dalam pembuatan semikonduktor, ini mencegah kebocoran antarmuka yang disebabkan oleh pengenalan zat asing atau korosi dari gas khusus. Sistem ini juga dapat digunakan untuk mencegah masuknya zat asing atau kebocoran antarmuka yang disebabkan oleh korosi gas khusus.

Persyaratan stabilitas kualitas tinggi

Kualitas gas spesial elektronik meliputi beberapa indikator seperti kekotoran dan jumlah partikel impurities. Perubahan apa pun pada indikator-indikator tersebut akan memengaruhi hasil proses pembuatan semikonduktor di hilir. Oleh karena itu, untuk memastikan konsistensi indikator produk gas khusus elektronik, sistem kontrol proses persiapan untuk menjaga stabilitas indikator juga sangat penting.

Penerapan Sistem Proses Persiapan Gas Spesial

Karena aktivitas kimia dan persyaratan kualitas EGP, sistem produksi untuk persiapan EGP, terutama sistem pemurnian hilir, harus memenuhi persyaratan material dengan kebersihan tinggi, penyegelan tinggi, kebersihan tinggi, dan konsistensi kualitas tinggi, serta pembangunan komponen rekayasa harus memenuhi standar industri manufaktur semikonduktor.

Apa yang kita kenal sebagai "kebersihan tinggi" secara teoritis adalah definisi kebersihan suatu zat, seperti gas bersih tinggi, bahan kimia bersih tinggi, dll. Sistem proses atau komponen sistem proses yang diterapkan pada zat-zat bersih tinggi juga disebut bersih tinggi, seperti sistem bersih tinggi dan katup bersih tinggi. Sistem persiapan gas khusus elektronik memerlukan fitting, katup, dan komponen fluida lainnya untuk aplikasi bersih tinggi, yaitu fitting dan katup yang diproses dengan bahan-bahan bersih tinggi dan proses manufaktur yang bersih, serta dirancang agar mudah dibersihkan dan dibilas. Dengan kinerja penyegelan yang tinggi. Komponen fluida ini dirancang untuk memenuhi jalur aliran proses aplikasi, menggunakan persyaratan rekayasa dan konstruksi dari industri semikonduktor.

Sambungan Pipa Kebersihan Tinggi

Koneksi segel wajah karet logam VCR dan koneksi las pangkal otomatis secara luas digunakan dalam persyaratan proses kebersihan sistem fluida yang menuntut karena kemampuan untuk memenuhi transisi halus jalur aliran pada sambungan, tidak ada zona stagnasi, dan kinerja penyegelan tinggi. Koneksi VCR membentuk segel permukaan sempit dengan mengekstrusi karet logam yang relatif lembut. Kinerja sambungan dan penyegelan yang dapat diulang dan konsisten dijamin setiap kali karet yang dideformasi dilepas dan diganti.

Tabung dilas menggunakan sistem las orbital otomatis. Tabung dilindungi oleh gas kebersihan tinggi di dalam dan di luar. Elektroda wolfram berputar sepanjang orbit untuk las berkualitas tinggi. Las orbital sepenuhnya otomatis melebur pipa tanpa memperkenalkan bahan lain, mencapai las berkualitas tinggi dengan mengontrol ulang pipa berdinding tipis sulit dicapai dengan las manual.

Sambungan Segel Wajah Karet Logam VCR

Las Pangkal Orbital Otomatis Pada Pipa

Katup Kebersihan Tinggi

Aktivitas kimia dari gas spesial elektronik yang mudah terbakar, meledak, korosif, dan beracun menempatkan tuntutan tinggi pada penyegelan katup. Untuk meningkatkan keandalan penyegelan, diperlukan katup tanpa pengisi untuk mencegah kebocoran eksternal, yaitu operasi pergantian antara batang katup dan tubuh katup menggunakan bellow logam atau membran logam, guna menghilangkan kebocoran akibat aus dan deformasi segel pengisi. Katup dengan penyegelan bellow dan penyegelan membran sering digunakan dalam sistem proses untuk aplikasi tingkat kebersihan tinggi karena keandalan segel yang lebih besar serta kemudahan membersihkan dan mengganti bagian internal katup.

Kran bellow adalah konstruksi kran jarum tanpa pengisi yang memungkinkan pembukaan lambat dan regulasi aliran. Digunakan untuk pengisian gas spesial elektronik dengan persyaratan aliran aman atau pada botol sumber prekursor dengan persyaratan keamanan tinggi. Penutup ujung batang logam penuh memungkinkan suhu operasi sangat rendah dan digunakan untuk likuefikasi kriogenik gas spesial elektronik dalam tangki produk akhir setelah destilasi kriogenik untuk pipa.

Kran Segel Diafragma Tanpa Pegas adalah kran buka-cepat 1/4" untuk digunakan sebagai kran saklar yang dikontrol secara otomatis dalam pipa pengiriman. Mereka sering digunakan dalam aplikasi tekanan ultra-tinggi, keaslian tinggi karena jalur aliran internalnya yang sederhana, volume internal kecil, serta kemudahan membersihkan dan menggantinya.

Kran yang tertutup oleh ujung batang melalui diafragma dapat dibuka secara perlahan dan dapat digunakan pada tekanan operasi yang lebih tinggi daripada kran bertutup diafragma tanpa pegas. Mereka banyak digunakan pada pengisian gas khusus elektronik bertekanan tinggi atau botol sumber prekursor.

Kran segel belo sekunder tidak hanya dapat digunakan dalam sistem proses suhu ultra-rendah pada -200 derajat, tetapi juga mencegah kebocoran media berbahaya ke atmosfer. Biasanya digunakan untuk gas khusus elektronik yang sangat berbahaya, seperti sistem pengisian silana.

Shenzhen Wofei Technology Co., Ltd, dengan lebih dari 10 tahun pengalaman dalam penyediaan gas industri dan gas khusus, bahan, sistem pasokan gas dan teknik gas untuk pasar semikonduktor, LED, DRAM, TFT-LCD, kami dapat menyediakan bahan yang diperlukan agar produk Anda berada di garis depan industri. Kami tidak hanya dapat menyediakan berbagai macam katup dan fitting untuk gas elektronik semikonduktor khusus, tetapi kami juga dapat merancang pipa gas dan pemasangan peralatan untuk pelanggan kami. Jika Anda memiliki kebutuhan di bidang ini, silakan hubungi kami di 27919860.