Persyaratan Sistem untuk Proses Persiapan Gas Khusus Elektronik! Indonesia

Proses produksi gas khusus elektronik mencakup beberapa proses seperti sintesis, pemurnian, pengisian, analisis dan pengujian, pencampuran dan proporsi. Untuk memenuhi persyaratan manufaktur semikonduktor hilir dalam hal kemurnian dan kandungan pengotor, proses pemurnian sangat penting. Tergantung pada komposisi gas sintesis hulu atau gas mentah, distilasi suhu rendah atau pemurnian multi-tahap dilakukan.

Persyaratan kebersihan yang tinggi

Proses preparasi gas khusus elektronik dapat dibagi menjadi dua blok utama yaitu preparasi dan pemurnian sintesis hulu, yang termasuk dalam proses produksi kimia. Ukuran pipa produksi besar dan tidak memerlukan persyaratan tingkat kebersihan khusus. Setelah pemurnian hilir, produk diisi dengan gas dan dicampur untuk persiapan. Pipa produksi berukuran kecil dan memiliki persyaratan tingkat kebersihan. Itu harus memenuhi spesifikasi standar proses pembuatan semikonduktor.

Persyaratan penyegelan yang tinggi

Karena aktivitas kimianya, gas khusus elektronik juga memberikan tuntutan yang tinggi pada material dan penyegelan sistem proses produksi. Sama seperti persyaratan manufaktur semikonduktor, ini mencegah kebocoran antarmuka yang disebabkan oleh masuknya kotoran atau korosi gas khusus. Sistem ini juga dapat digunakan untuk mencegah masuknya kotoran atau kebocoran antarmuka yang disebabkan oleh korosi gas khusus.

Persyaratan stabilitas kualitas tinggi

Kualitas gas khusus elektronik mencakup sejumlah indikator seperti kemurnian dan kandungan partikel pengotor. Setiap perubahan indikator akan mempengaruhi hasil proses manufaktur semikonduktor hilir. Oleh karena itu, untuk menjamin konsistensi indikator produk gas khusus elektronik, sistem proses persiapan untuk mengontrol kestabilan indikator juga sangat penting.

Penerapan Sistem Proses Persiapan Gas Khusus

Karena persyaratan aktivitas kimia dan kualitas EGP, sistem produksi untuk persiapan EGP, terutama sistem pemurnian hilir, harus memenuhi persyaratan bahan dengan kemurnian tinggi, penyegelan tinggi, kebersihan tinggi dan konsistensi kualitas tinggi, dan konstruksi komponen rekayasa harus memenuhi standar industri manufaktur semikonduktor.

Apa yang biasa kita sebut sebagai "kemurnian tinggi" secara teoritis adalah definisi kemurnian suatu zat, seperti gas dengan kemurnian tinggi, bahan kimia dengan kemurnian tinggi, dll. Sistem proses atau komponen sistem proses yang diterapkan pada zat dengan kemurnian tinggi juga disebut dengan kemurnian tinggi, seperti sistem dengan kemurnian tinggi dan katup dengan kemurnian tinggi. Sistem penyiapan gas khusus elektronik memerlukan alat kelengkapan aplikasi, katup, dan komponen fluida lainnya dengan kemurnian tinggi, yaitu alat kelengkapan dan katup yang diproses dengan bahan dengan kemurnian tinggi dan proses manufaktur yang bersih, serta disusun untuk memudahkan pembersihan dan pembersihan. Dengan kinerja penyegelan yang tinggi. Komponen fluida ini dirancang untuk memenuhi jalur aliran proses aplikasi, menggunakan persyaratan teknik dan konstruksi industri semikonduktor.

Sambungan Perpipaan dengan Kemurnian Tinggi

Sambungan segel muka paking logam VCR dan sambungan las butt pemandu otomatis banyak digunakan dalam menuntut persyaratan proses kemurnian sistem fluida karena kemampuannya untuk memenuhi transisi jalur aliran yang mulus pada sambungan, tidak ada zona stagnasi, dan kinerja penyegelan yang tinggi. Sambungan VCR membentuk segel permukaan yang sempit dengan mengekstrusi paking logam yang relatif lunak. Kinerja sambungan dan penyegelan yang berulang dan konsisten terjamin setiap kali paking yang cacat dilepas dan diganti.

Tabung dilas menggunakan sistem pengelasan orbital otomatis. Tabung dilindungi oleh gas dengan kemurnian tinggi di dalam dan luar. Elektroda tungsten berputar sepanjang orbit untuk pengelasan berkualitas tinggi. Pengelasan orbital yang sepenuhnya otomatis melelehkan pipa tanpa memasukkan bahan lain, mencapai pengelasan berkualitas tinggi dengan berulang kali mengendalikan pipa berdinding tipis sulit dicapai dengan pengelasan manual.

Sambungan Segel Wajah Gasket Logam VCR

Sambungan Pipa Pengelasan Butt Orbital Otomatis

Katup Kemurnian Tinggi

Aktivitas kimia dari gas khusus elektronik yang mudah terbakar, meledak, korosif, dan beracun sangat menuntut penyegelan katup. Untuk meningkatkan keandalan penyegelan, persyaratan katup tanpa pengepakan untuk mencegah kebocoran eksternal, yaitu peralihan pengoperasian batang katup dan badan katup antara segel menggunakan bellow logam atau diafragma logam, untuk menghilangkan kebocoran akibat abrasi dan deformasi segel pengepakan. Katup bersegel bellow dan katup bersegel diafragma biasanya digunakan dalam sistem proses untuk aplikasi dengan kemurnian tinggi karena keandalan segel yang lebih baik serta pembersihan dan penggantian pembersihan bagian dalam katup yang lebih mudah.

Katup bersegel bellow adalah konstruksi katup jarum tanpa kemasan yang memungkinkan pembukaan dan pengaturan aliran secara lambat. Digunakan untuk pengisian gas khusus elektronik dengan persyaratan aliran keselamatan atau pada botol sumber prekursor dengan persyaratan keselamatan tinggi. Segel ujung batang yang seluruhnya terbuat dari logam memungkinkan suhu pengoperasian yang sangat rendah dan digunakan untuk pencairan kriogenik gas khusus elektronik dalam tangki produk jadi setelah distilasi kriogenik untuk perpipaan.

Katup Segel Diafragma Tanpa Pegas adalah katup terbuka 1/4" untuk digunakan sebagai katup pengalih yang dikontrol secara otomatis dalam pipa pengiriman. Katup ini biasanya digunakan dalam aplikasi bertekanan sangat tinggi dan kemurnian tinggi karena jalur aliran internalnya yang sederhana, kecil volume internal, dan kemudahan pembersihan dan penggantian.

Katup bersegel diafragma yang menutup melalui ujung batang dapat terbuka perlahan dan digunakan pada tekanan pengoperasian yang lebih tinggi dibandingkan katup bersegel diafragma tanpa pegas. Mereka banyak digunakan pada pengisian gas khusus elektronik bertekanan tinggi atau botol sumber prekursor.

Katup bellow segel sekunder tidak hanya dapat digunakan dalam sistem proses bersuhu sangat rendah pada -200 derajat, namun juga mencegah kebocoran media berbahaya ke atmosfer. Biasanya digunakan untuk gas khusus elektronik yang sangat berbahaya, seperti sistem pengisian silan.

Shenzhen Wofei Technology Co., Ltd, dengan lebih dari 10 tahun pengalaman dalam penyediaan gas industri dan khusus, material, sistem pasokan gas, dan teknik gas untuk pasar semikonduktor, LED, DRAM, TFT-LCD, kami dapat memberi Anda bahan yang diperlukan untuk mendorong produk Anda ke garis depan industri. Kami tidak hanya dapat menyediakan berbagai macam katup dan alat kelengkapan untuk gas khusus elektronik semi-konduktor, namun kami juga dapat merancang pipa gas dan instalasi peralatan untuk pelanggan kami. Jika Anda memiliki kebutuhan di bidang ini, silakan hubungi kami di 27919860.