Introduzione alle connessioni delle tubazioni per gas nelle fabbriche di semiconduttori

La connessione consente alla macchina di raggiungere la funzione desiderata connettendosi per trasmettere utilità. La connessione consiste nel collegare le utilità (come acqua, elettricità, gas, chimici, ecc.) fornite dall'azienda alla macchina e ai suoi accessori tramite il punto di connessione delle utilità riservate (porta o stick) attraverso tubazioni e cavi.

Queste utilità vengono utilizzate dalla macchina per soddisfare i requisiti del processo per cui è stata progettata. Dopo l'utilizzo della macchina, l'acqua riciclabile o i rifiuti (come acque reflue, gas di scarico, ecc.) generati dalla macchina vengono connessi al contatto riservato del sistema tramite tubazioni e poi trasmessi al sistema di recupero dell'impianto o al sistema di trattamento dei gas di scarico. Il progetto di connessione include principalmente: CAD, trasferimento, perforazione nucleare, sismica, vuoto, gas, chimica D.I, PCW, CW, espresso, elettrico, scarico.

GAS HOOK-UP Conoscenza di base delle conoscenze professionali

Nelle fabbriche di semiconduttori, la cosiddetta connessione del gaspipeline viene chiamata "sp1hook up" in termini di buckgas (gas generali come CDA, GN2, pN2, PO2, Phe, par, H2, ecc.), e il punto di prelievo dal punto di uscita del serbatoio di gas della fonte di fornitura di gas fino alla sub mainpiping attraverso la mainpiping è chiamato "sp1hook up", che va dal punto di prelievo di uscita al punto di ingresso della macchina (strumento) o dell'attrezzatura, chiamato configurazione secondaria (sp2hook up).

Per il gas specializzato (gas speciale come corrosivo, tossico, infiammabile, gas di riscaldamento, ecc.), la sua fonte di fornitura di gas è gascabinet. Dal punto di uscita del g/c al primo punto di ingresso del VMB (valvola main box.) o VMP (valvola main panel) è chiamato sp1hook up, e dal secondo punto di uscita del VMB o VMP fino al punto di ingresso della macchina è chiamato sp2 hook.