Requisiti di sistema per i processi di preparazione di gas speciali elettronici!

Il processo di produzione di gas speciali elettronici include diversi processi come sintesi, purificazione, riempimento, analisi e testing, miscelazione e dosaggio. Al fine di soddisfare i requisiti di purezza e contenuto di impurità della fabbricazione di semiconduttori a valle, il processo di purificazione è molto importante. In base alla composizione del gas di sintesi o del gas grezzo in arrivo, viene eseguita una distillazione a bassa temperatura o una purificazione a più stadi.

Alte richieste di pulizia

Il processo di preparazione dei gas speciali elettronici può essere diviso in due grandi blocchi: la sintesi preparativa e la purificazione a monte, che appartiene al processo di produzione chimica. La dimensione del tubo di produzione è grande e non c'è una richiesta specifica di livello di pulizia. Dopo la purificazione a valle, il prodotto viene riempito con gas e mescolato per la preparazione. Il tubo di produzione è piccolo e ha requisiti di livello di pulizia. È necessario soddisfare la norma specifica del processo di produzione di semiconduttori.

Alte richieste di ermeticità

A causa della loro attività chimica, i gas speciali elettronici pongono anche alte esigenze sui materiali e le sigillature del sistema di produzione. Proprio come le esigenze della fabbricazione di semiconduttori, impedisce perdite all'interfaccia causate dall'introduzione di impurità o dalla corrosione dei gas speciali. Il sistema può anche essere utilizzato per prevenire l'introduzione di impurità o la perdita all'interfaccia causata dalla corrosione dei gas speciali.

Alte richieste di stabilità della qualità

La qualità dei gas speciali elettronici include numerosi indicatori come purezza e contenuto di particelle di impurità. Qualsiasi cambiamento negli indicatori influenzerà i risultati del processo di fabbricazione dei semiconduttori a valle. Pertanto, per garantire la coerenza degli indicatori del prodotto a gas speciale elettronico, il sistema di preparazione del processo per controllare la stabilità degli indicatori è altrettanto importante.

Applicazione dei sistemi di preparazione dei gas speciali

A causa dell'attività chimica e delle esigenze di qualità dell'EGP, il sistema di produzione per la preparazione dell'EGP, in particolare il sistema di purificazione downstream, deve soddisfare i requisiti di materiali ad alta purezza, alta ermeticità, alta pulizia e alta coerenza di qualità, e la costruzione dei componenti ingegnerizzati deve rispettare gli standard dell'industria della fabbricazione dei semiconduttori.

Quello che comunemente definiamo come "alta purezza" è teoricamente la definizione della purezza di una sostanza, come gas ad alta purezza, chimici ad alta purezza, ecc. I sistemi di processo o i componenti del sistema di processo applicati a sostanze ad alta purezza vengono anch'essi definiti ad alta purezza, come sistemi ad alta purezza e valvole ad alta purezza. I sistemi di preparazione di gas speciali elettronici richiedono componenti ad alta purezza, valvole ed altri componenti fluidici, ovvero componenti che sono stati elaborati con materiali ad alta purezza e processi di produzione puliti, e sono strutturati per consentire un facile scarico e pulizia. Con prestazioni di sigillatura elevate. Questi componenti fluidici sono progettati per soddisfare il percorso di processo dell'applicazione, utilizzando i requisiti di ingegneria e costruzione dell'industria dei semiconduttori.

Connessioni tubolari ad Alta Purezza

Le connessioni a sigillo a faccia con cuscinetto metallico VCR e le connessioni a saldatura ad angolo automatica sono ampiamente utilizzate in sistemi fluidici con requisiti di purità elevati grazie alla capacità di garantire una transizione regolare del percorso del flusso alla connessione, senza aree di stasi e con un'eccellente prestazione di sigillatura. Le connessioni VCR formano un sigillo superficiale stretto deformando un cuscinetto metallico relativamente morbido. Ogni volta che il cuscinetto deformato viene rimosso e sostituito, è garantita una connessione e una prestazione di sigillatura ripetibile e coerente.

I tubi vengono saldati utilizzando un sistema di saldatura orbitale automatico. Il tubo è protetto da gas di alta purezza sia all'interno che all'esterno. L'elettrodo in tungsteno ruota lungo l'orbita per garantire una saldatura di alta qualità. La saldatura orbitale completamente automatizzata fonde il tubo senza introdurre altri materiali, raggiungendo una saldatura di alta qualità che è difficile ottenere con la saldatura manuale sui tubi a parete sottile.

Connessione a Sigillo a Faccia con Cuscinetto Metallico VCR

Connessione a Saldatura ad Angolo Orbitale Automatica dei Tubi

Valvole ad Alta Purezza

L'attività chimica dei gas speciali elettronici infiammabili, esplosivi, corrosivi e tossici impone requisiti elevati per il sigillamento della valvola. Al fine di migliorare la affidabilità del sigillo, si richiede l'utilizzo di valvole senza empacchiatura per prevenire fughe esterne, ovvero operazioni di commutazione tra il gambo della valvola e il corpo utilizzando membrane metalliche o diaframma metallico, al fine di eliminare le fughe dovute all'usura e alla deformazione del sigillo dell'empacchiatura. Le valvole con sigillo a membrane e con sigillo a diaframma vengono comunemente utilizzate nei sistemi di processo per applicazioni ad alta purezza a causa della maggiore affidabilità dei sigilli e della facile pulizia e sostituzione delle parti interne della valvola.

I valvole sigillate a campana sono una costruzione di valvola aago senza imballaggio che consente un'apertura lenta e la regolazione del flusso. Utilizzate per il riempimento di gas speciali elettronici con requisiti di sicurezza del flusso o su bottiglie sorgenti precursori con alti requisiti di sicurezza. I sigilli metallici alla punta dello stelo consentono temperature operative estremamente basse e vengono utilizzati per la liquefazione criogenica di gas speciali elettronici nei serbatoi del prodotto finito dopo la distillazione criogenica per le tubazioni.

La valvola a sigillo membranato senza molla è una valvola di apertura rapida da 1/4" utilizzata come valvola di commutazione controllata automaticamente nelle tubazioni di distribuzione. Vengono comunemente utilizzate in applicazioni ad alta purezza ed ultra-alta pressione a causa del loro semplice percorso di flusso interno, del piccolo volume interno e della facilità di purga e sostituzione.

Valvole sigillate a diaframma che si chiudono tramite la punta del fusto possono aprirsi lentamente e essere utilizzate a pressioni operative più elevate rispetto alle valvole sigillate a diaframma senza molla. Vengono ampiamente utilizzate nei contenitori per il riempimento di gas speciali elettronici ad alta pressione o nelle fonti di precursori.

La valvola a bellow con sigillo secondario può essere utilizzata non solo nei sistemi di processo a ultra-basse temperature a -200 gradi, ma impedisce anche l'uscita di mezzi pericolosi nell'atmosfera. Viene generalmente utilizzata per gas speciali elettronici molto pericolosi, come nei sistemi di riempimento di silano.

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