Mempopularkan gas ketulenan ultra tinggi dalam pembuatan semikonduktor! Malaysia

Gas ketulenan ultra tinggi adalah penting sepanjang rantaian bekalan semikonduktor. Malah, untuk fabrik biasa, gas ketulenan tinggi adalah perbelanjaan bahan terbesar selepas silikon itu sendiri. Berikutan kekurangan cip global, industri berkembang lebih pantas berbanding sebelum ini - dan permintaan untuk gas ketulenan tinggi semakin meningkat.

Gas pukal yang paling biasa digunakan dalam pembuatan semikonduktor ialah nitrogen, helium, hidrogen dan argon.

Nitrogen

Nitrogen membentuk 78% daripada atmosfera kita dan sangat banyak. Ia juga menjadi lengai secara kimia dan tidak konduktif. Akibatnya, nitrogen telah menemui jalan masuk ke dalam beberapa industri sebagai gas lengai yang kos efektif.

Industri semikonduktor adalah pengguna utama nitrogen. Sebuah kilang pembuatan semikonduktor moden dijangka menggunakan sehingga 50,000 meter padu nitrogen sejam. Dalam pembuatan semikonduktor, nitrogen bertindak sebagai gas lengai dan pembersihan tujuan umum, melindungi wafer silikon sensitif daripada oksigen reaktif dan kelembapan di udara.

helium

Helium ialah gas lengai. Ini bermakna, seperti nitrogen, helium tidak aktif secara kimia - tetapi ia juga mempunyai kelebihan tambahan iaitu kekonduksian terma yang tinggi. Ini amat berguna dalam pembuatan semikonduktor, membolehkannya mengalirkan haba dengan cekap dari proses tenaga tinggi dan membantu melindunginya daripada kerosakan terma dan tindak balas kimia yang tidak diingini.

Hidrogen

Hidrogen digunakan secara meluas sepanjang proses pembuatan elektronik, dan pengeluaran semikonduktor tidak terkecuali. Khususnya, hidrogen digunakan untuk:

Penyepuhlindapan: Wafer silikon biasanya dipanaskan pada suhu tinggi dan perlahan-lahan disejukkan untuk membaiki (menyepuhlindap) struktur kristal. Hidrogen digunakan untuk memindahkan haba secara sama rata ke wafer dan untuk membantu dalam membina semula struktur kristal.

Epitaksi: Hidrogen ketulenan ultra tinggi digunakan sebagai agen pengurangan dalam pemendapan epitaxial bahan semikonduktor seperti silikon dan germanium.

Pemendapan: Hidrogen boleh didopkan ke dalam filem silikon untuk menjadikan struktur atomnya lebih tidak teratur, membantu meningkatkan kerintangan.

Pembersihan Plasma: Plasma hidrogen amat berkesan dalam menghapuskan pencemaran timah daripada sumber cahaya yang digunakan dalam litografi UV.

Argon

Argon ialah satu lagi gas mulia, jadi ia mempamerkan kereaktifan rendah yang sama seperti nitrogen dan helium. Walau bagaimanapun, tenaga pengionan rendah argon menjadikannya berguna dalam aplikasi semikonduktor. Kerana kemudahan pengionannya yang relatif, argon biasanya digunakan sebagai gas plasma utama untuk tindak balas etsa dan pemendapan dalam pembuatan semikonduktor. Di samping itu, argon juga digunakan dalam laser excimer untuk litografi UV.

Mengapa kesucian penting

Biasanya, kemajuan dalam teknologi semikonduktor telah dicapai melalui penskalaan saiz, dan generasi baharu teknologi semikonduktor dicirikan oleh saiz ciri yang lebih kecil. Ini menghasilkan pelbagai faedah: lebih banyak transistor dalam volum tertentu, arus yang dipertingkatkan, penggunaan kuasa yang lebih rendah dan pensuisan yang lebih pantas.

Walau bagaimanapun, apabila saiz kritikal berkurangan, peranti semikonduktor menjadi semakin canggih. Dalam dunia di mana kedudukan atom individu penting, ambang toleransi kesalahan adalah sangat ketat. Akibatnya, proses semikonduktor moden memerlukan gas proses dengan ketulenan setinggi mungkin.

WOFLY ialah perusahaan berteknologi tinggi yang mengkhusus dalam kejuruteraan sistem aplikasi gas: sistem gas khas elektronik, sistem litar gas makmal, sistem bekalan gas terpusat industri, sistem gas pukal (cecair), gas ketulenan tinggi dan sistem paip sekunder gas proses khas, penghantaran kimia sistem, sistem air tulen untuk menyediakan set lengkap perkhidmatan kejuruteraan dan teknikal dan produk sampingan daripada perundingan teknikal, perancangan keseluruhan, reka bentuk sistem, pemilihan peralatan, komponen pasang siap, pemasangan dan pembinaan tapak projek, ujian sistem keseluruhan, penyelenggaraan dan produk sokongan lain secara bersepadu.