Kebutuhan Sistem untuk Proses Penyediaan Gas Khas Elektronik!

Proses pengeluaran gas khas elektronik merangkumi beberapa proses seperti sintesis, pemurnian, pengisian, analisis dan ujian, pencampuran dan pemalaran. Untuk memenuhi keperluan kebekeran dan kandungan kotoran dalam pembuatan semikonduktor di hulu, proses pemurnian adalah sangat penting. Bergantung kepada komposisi gas sintesis atau gas mentah dari hulu, destilasi suhu rendah atau pemurnian pelbagai peringkat dilakukan.

Kebutuhan kebersihan yang tinggi

Proses persiapan gas khas elektronik boleh dibahagikan kepada dua blok utama, iaitu persiapan sintesis ke atas dan pemurnian, yang termasuk dalam proses pengeluaran kimia. Saiz paip pengeluaran adalah besar, dan tiada permintaan aras kebersihan khas. Selepas pemurnian di hulu, produk itu diisi dengan gas dan dicampur untuk disiapkan. Paip pengeluaran adalah kecil dan mempunyai keperluan aras kebersihan. Ia perlu mematuhi spesifikasi piawai proses pembuatan semiconductor.

Tinggi keperluan penyegelan

Kerana aktiviti kimia mereka, gas khas elektronik juga mempunyai keperluan yang tinggi terhadap bahan dan penutupan sistem proses pengeluaran. Seperti keperluan pembuatan semiconductor, ia mencegah kebocoran antara muka yang disebabkan oleh pendedahan kotoran atau kerosakan gas khas. Sistem ini juga boleh digunakan untuk mengelakkan pendedahan kotoran atau kebocoran antara muka yang disebabkan oleh kerosakan gas khas.

Keperluan kestabilan kualiti yang tinggi

Kualiti gas khas elektronik merangkumi pelbagai petunjuk seperti kepuretan dan jumlah zarah kotoran. Perubahan apa jua pada petunjuk ini akan mempengaruhi hasil proses pembuatan semiconductor di hulu. Oleh itu, untuk memastikan konsistensi petunjuk produk gas khas elektronik, sistem persediaan proses untuk mengawal kestabilan petunjuk juga sangat penting.

Penggunaan Sistem Proses Persiapan Gas Khas

Kerana kesibukan kimia dan keperluan kualiti EGP, sistem pengeluaran untuk persiapan EGP, terutamanya sistem pemurnian hilir, mesti memenuhi keperluan bahan kepekatan tinggi, penutupan rapat tinggi, kebersihan tinggi dan konsistensi kualiti tinggi, dan pembinaan komponen rekabentuk mesti mematuhi piawaian industri pembuatan semiconductor.

Apa yang kita biasanya merujuk sebagai "kemurnian tinggi" adalah secara teori definisi kemurnian satu bahan, seperti gas dengan kemurnian tinggi, bahan kimia dengan kemurnian tinggi, dan sebagainya. Sistem proses atau komponen sistem proses yang digunakan untuk bahan dengan kemurnian tinggi juga dirujuk sebagai kemurnian tinggi, seperti sistem dengan kemurnian tinggi dan katup dengan kemurnian tinggi. Sistem persiapan gas khas elektronik memerlukan penyesuaian, katup, dan komponen cecair lain dengan aplikasi kemurnian tinggi, iaitu penyesuaian dan katup yang diproses dengan bahan-bahan kemurnian tinggi dan proses pembuatan bersih, dan direka untuk memudahkan pembersihan dan penyucian. Dengan prestasi penutupan yang tinggi. Komponen cecair ini direka untuk memenuhi aliran proses bagi aplikasi tersebut, menggunakan keperluan kejuruteraan dan pembinaan industri semikonduktor.

Sambungan Paip Kemurnian Tinggi

Sambungan segel muka talian logam VCR dan sambungan las pantat automatik digunakan secara meluas dalam keperluan proses kepuretan sistem bendalir yang menuntut kerana kemampuan untuk memenuhi peralihan lancar laluan aliran pada sambungan, tiada kawasan stagnasi, dan prestasi pengeleman yang tinggi. Sambungan VCR membentuk segel permukaan sempit dengan memampatkan talian logam yang agak lembut. Prestasi sambungan dan pengeleman yang boleh diulang dan konsisten dipastikan setiap kali talian yang terpampat dikeluarkan dan digantikan.

Paip dilas menggunakan sistem las orbit automatik. Paip dilindungi oleh gas kepuretan tinggi dari dalam dan luar. Elektrod tungsten berputar sepanjang orbit untuk las berkualiti tinggi. Las orbit automatik sepenuhnya melebur paip tanpa memperkenalkan bahan lain, mencapai las berkualiti tinggi dengan mengawal paip berdinding nipis secara berulang adalah sukar dicapai dengan las manual.

Sambungan Segel Muka Talian Logam VCR

Sambungan Las Pantat Orbit Automatik Paip

Valve Kepuretan Tinggi

Kegiatan kimia bagi gas khas elektronik yang mudah terbakar, meletup, kerosak, dan beracun mempunyai permintaan tinggi terhadap pengepapan katup. Untuk meningkatkan kebolehpercayaan pengepapan, diperlukan katup tanpa isapan untuk mengelakkan kebocoran luaran, iaitu operasi pertukaran batang katup dan badan katup menggunakan belon logam atau membran logam, untuk menghapuskan kebocoran disebabkan oleh geseran dan deformasi isapan pengepap. Katup dengan penutup belon dan katup dengan penutup membran biasanya digunakan dalam sistem proses bagi aplikasi kepekatan tinggi kerana kebolehpercayaan penutup yang lebih besar serta kemudahan membersihkan dan menukar bahagian dalaman katup.

Kerapatan berbentuk lonceng adalah pembinaan kerapatan tanpa bahan pengepakan yang membenarkan pembukaan perlahan dan pengawalan aliran. Digunakan untuk pengisian gas khas elektronik dengan keperluan aliran keselamatan atau pada botol sumber prekursor dengan keperluan keselamatan tinggi. Penutup puncak logam sepenuhnya membolehkan suhu operasi sangat rendah dan digunakan untuk cecairan kriogenik gas khas elektronik dalam tangki produk akhir selepas penyulingan kriogenik untuk saluran pipa.

Kerapatan Membran Tanpa Spring adalah kerapatan 1/4" snap-open untuk digunakan sebagai pemalihan automatik dalam paip penghantaran. Ia biasanya digunakan dalam aplikasi tekanan ultra-tinggi, kepekatan tinggi disebabkan oleh laluan aliran dalaman yang mudah, isi padu dalaman kecil, dan kemudahan membersih dan menggantikan.

Kerapatan yang tertutup melalui hujung batang boleh dibuka dengan perlahan dan boleh digunakan pada tekanan operasi yang lebih tinggi berbanding kerapatan yang tidak mempunyai pegas. Ia digunakan secara meluas pada botol pengisian gas khas elektronik atau sumber pencetus tekanan tinggi.

Valve segel belo sekunder tidak hanya boleh digunakan dalam sistem proses suhu ultra-rendah pada -200 darjah, tetapi juga menghalang kebocoran media berbahaya ke atmosfera. Biasanya digunakan untuk gas khas elektronik yang sangat bahaya, seperti sistem pengisian silana.

Shenzhen Wofei Technology Co., Ltd, dengan lebih 10 tahun pengalaman dalam penyediaan gas industri dan gas khas, bahan, sistem pasukan gas dan kejuruteraan gas untuk pasaran semiconductor, LED, DRAM, TFT-LCD, kami boleh menyediakan bahan yang diperlukan untuk membawa produk anda ke hadapan industri. Kami tidak hanya boleh memasok pelbagai jenis katup dan pemasangan untuk gas elektronik semiconductor khas, tetapi kami juga boleh mereka bentuk saluran gas dan pemasangan peralatan untuk pelanggan kami. Jika anda ada sebarang keperluan dalam bidang ini, sila hubungi kami di 27919860.