Applikazzjoni ta 'gass speċjali tat-trattament tal-gass tad-denb tal-gass!

It-tagħmir għat-trattament tal-gass tad-denb jista 'jimmaniġġja gassijiet użati fi proċessi ta' inċiżjoni u proċessi ta' depożizzjoni tal-fwar kimiku fl-industriji tas-semikondutturi, tal-kristalli likwidi u tal-enerġija solari, inklużi SiH4, SiH2Cl2, PH3, B2H6, TEOS, H2, CO, NF3, SF6, C2F6, WF6 , NH3, N2O, eċċ.

Metodu ta 'trattament tal-gass tal-egżost

Skont il-karatteristiċi tat-trattament tal-gass tal-egżost, it-trattament jista 'jinqasam f'erba' tipi ta 'trattament:

1. Tip ta 'ħasil tal-ilma (trattament ta' gassijiet korrużivi)

2. Tip ossidanti (li jittrattaw gassijiet kombustibbli u tossiċi)

3. Adsorbiment (skond it-tip ta 'materjal ta' adsorbiment biex jittratta l-gass ta 'l-exhaust korrispondenti).

4.Tip ta 'kombustjoni tal-plażma (it-tipi kollha ta' gassijiet tal-egżost jistgħu jiġu ttrattati).

Kull tip ta 'trattament għandu l-vantaġġi u l-iżvantaġġi tiegħu kif ukoll l-ambitu tal-applikazzjoni tiegħu. Meta l-metodu ta 'trattament huwa l-ħasil tal-ilma, it-tagħmir huwa rħis u sempliċi, u jista' jimmaniġġja biss gassijiet solubbli fl-ilma; il-firxa ta 'applikazzjoni tat-tip tal-ħasil tal-ilma elettriku hija ogħla minn dik tat-tip tal-ħasil tal-ilma, iżda l-ispiża tal-operazzjoni hija għolja; it-tip niexef għandu effiċjenza ta 'trattament tajba, u mhuwiex applikabbli għall-fluss tal-gass li huwa faċli li jiġi misdud jew nixxa.

Il-kimiċi u l-prodotti sekondarji tagħhom użati komunement fl-industrija tas-semikondutturi jistgħu jiġu kategorizzati skont il-proprjetajiet kimiċi tagħhom u l-firxiet differenti tagħhom:

1. Gassijiet li jaqbdu bħal SiH4H2, eċċ.

2. Gassijiet tossiċi bħal AsH3, PH3, eċċ.

3. Gassijiet korrużivi bħal HF, HCl, eċċ.

4. Gassijiet serra bħal CF4, NF3, eċċ.

Peress li l-erba 'gassijiet ta' hawn fuq huma ta 'ħsara għall-ambjent jew il-ġisem tal-bniedem, għandhom jipprevjenu l-emissjoni diretta tiegħu fl-atmosfera, għalhekk l-impjant tas-semikondutturi ġenerali huma installati b'sistema ċentralizzata kbira ta' trattament tal-gass tal-egżost, iżda din is-sistema hija biss l-egżost tal-għorik tal-ilma, għalhekk tiegħu applikazzjoni hija limitata għall-gassijiet li jinħall fl-ilma fuq distanzi twal, u ma tistax tittratta d-diviżjoni li dejjem tinbidel u sottili tal-gass tal-egżost tal-proċess tas-semikondutturi. Għalhekk, huwa meħtieġ li tagħżel u tqabbel it-tagħmir korrispondenti għat-trattament tal-gass tal-egżost skont il-karatteristiċi tal-gass derivati ​​minn kull proċess sabiex issolvi l-problema tal-gass tal-egżost b'mod żgħir. Peress li ż-żona tax-xogħol hija l-aktar 'il bogħod mis-sistema ċentrali tat-trattament tal-gass tal-egżost, ħafna drabi minħabba l-karatteristiċi tal-gass iwasslu għal kristallizzazzjoni jew akkumulazzjoni ta' trab fil-pipeline, li jirriżulta f'imblukkar tal-pipeline li jwassal għal tnixxija tal-gass, u f'każijiet serji, saħansitra jikkawżaw splużjoni , ma jistax jiżgura li s-sigurtà tax-xogħol tal-persunal tas-sit. Għalhekk, fiż-żona tax-xogħol jeħtieġ li jiġi kkonfigurat tagħmir żgħir ta 'trattament tal-gass tal-egżost adattat għall-karatteristiċi tal-gass tal-proċess, sabiex jitnaqqas il-gass tal-egżost staġnat fiż-żona tax-xogħol, biex tiġi żgurata s-sigurtà tal-persunal.