Aplikazzjoni tal-trattament speċjali tal-gass tal-ġas tal-kompressiuni!

L-equipment għall-trattament tal-gas tal-ċudied jista' tibgħad il-gasijiet utizzati fil-proċessi ta' etċing u fil-proċessi ta' deponnizione kimika tal-vapuri fl-industrijiet tal-semikondotturi, tal-kristalli liżwidu u tal-enerġija solari, inklużivament SiH4, SiH2Cl2, PH3, B2H6, TEOS, H2, CO, NF3, SF6, C2F6, WF6, NH3, N2O, u ħafna oħra.

Metodu għall-trattament tal-gas tal-ċudied

Skont karatteristiki tal-trattament tal-gas tal-ċudied, il-trattament jistabbiżja f’erbgħa tipi ta' trattament:

1. Tip ta' għsil bil-milja (trattament ta' gasijiet korrosive)

2. Tip ta' oksidazzjoni (trattaġġment ta' gasijiet ibburjabbli u toksike)

3. Adsorzzjoni (skont it-tip ta' material adsorbativ biex jagħmlu trattaġġment għall-gas tal-ċudied mikkunspju).

4. Tip ta' kumbustjoni plasmatika (kull tipi ta' gas tal-ċudied jistgħu jkollha trattaġġment).

Kull tip ta' trattament għandu l-avvantaggji u s-suffissijiet tiegħu kif ukoll is-skop tal-applicazzjoni. Meta l-metodu ta' trattament huwa xiġar bil-ma', l-eċkwipament huwa żgħar u siekli, u jistgħu jogħlu biss il-gassijiet solubli fil-ma'; is-skop tal-applicazzjoni tal-ħtieġa elettrika xiġar bil-ma' huwa akkum li xiġar bil-ma', imma l-kost ta' operazzjoni huwa għoli; it-tip dry għandu effiċjenza biżżejjeda tal-trattament, u ma jistgħu jiġboru għal il-flussijiet li jagħmlu bħall-bħer jew jisiru.

Il-ķemikali u drittijiet tagħhom li jkunu mgħallufa f’l-industrija tal-semikondutturi jistgħu jinkategorizzaw skont propjetajiet ċemikali tiegħom u skont differenzi razzjonalijiet:

1. Gassijiet infjamabbli kif SiH4H2, ecc.

2. Gassijiet toksika kif AsH3, PH3, ecc.

3. Gassijiet korrozivi kif HF, HCl, ecc.

4. Gassijiet klimatiku kif CF4, NF3, ecc.

Medit li l-għaxixin faw ta’ dawn il-erbja huma d-darba lil l-ambjent jew lil is-sikkiz tal-bidu, għandekom jipprevenu l-emissjoni tiegħu diretti fil-ġgasma, allura l-pjan tipik tal-semikonduktur jkun munit b-isistema kbir centrali ta’ trattament tal-ġasijiet, imma dan is-sistema jkollha biss il-ġasijiet maħluqa bil-milgħija, allura l-applikazzjoni tiegħu tibqa limitata għall-ġasijiet solubli fi x-Xtiequin lill-distaanza, u ma tistix tirreġola l-eksħaħ tal-proċess tal-semikonduktur li jagħmlu varjazzjonijiet u diviżjoni sfinkija. Perċi, huwa neċessarju li tagħżel u tagħmill mill-bidu is-sistem tal-trattament tal-ġasijiet li jkunu kkonformati mal-karakteristika tal-ġasijiet li tibdew min kull proċess biex tirreġola l-problema tal-eksħaħ b’mod żgħar. Skont li l-ara ta’ travaglio tkun għalbix lontana min is-sistema centrali tal-trattament tal-eksħaħ, soffra magħrufa għall-karakteristika tal-ġasijiet li jagħmlu kristallizzazzjoni jew akkumulazzjoni tal-pwezz fl-ipipeline, ikollox jirriżultaw fis-sitwazzjoni tal-ipipeline li jinqbelu l-emissjoni tal-ġasijiet, u f’każijiet serji, jista’ jikkausa esplożjoni, u ma tista’ tigwaranti l-sekurezz tal-ħaddiem fit-tiepo. Perċi, fit-żejt tal-ara tal-ħaddiem għandekom jiġi konfigurat is-sistema żgħar tal-trattament tal-eksħaħ li tkun skabbja għall-karakteristika tal-ġas tal-proċess, biex tirridu l-eksħaħ marbuta fit-żejt tal-ara tal-ħaddiem, biex jimgħaqqu sekurezz persuna.