Disinn tas-sistema għall-gassijiet użati fil-manifattura tas-semikondutturi

Hekk kif is-suq tas-semikondutturi jikber, l-istandards għall-purità u l-eżattezza jsiru aktar stretti. Wieħed mill-fatturi determinanti fil-kwalità tal-manifattura tas-semikondutturi huwa l-gassijiet użati fil-proċess. Dawn il-gassijiet għandhom ħafna rwoli fil-proċess tal-manifattura, inklużi:

Kontroll tal-proċess ta 'preċiżjoni

Prevenzjoni tal-kontaminazzjoni

Titjib tal-proprjetà metallurġika

Biex twettaq dawn ir-rwoli b'mod effettiv, is-sistema tal-provvista u d-distribuzzjoni tal-gass trid tkun effiċjenti. Id-disinn tas-sistemi tal-immaniġġjar tal-gass użati fil-manifattura tas-semikondutturi għandu jkun appoġġjat minn komponenti robusti u assemblaġġi personalizzati biex jiżguraw produzzjoni affidabbli u ta 'kwalità għolja ta' semikondutturi.

Gassijiet użati fil-manifattura tas-semikondutturi

Il-proċess tal-manifattura tas-semikondutturi jeħtieġ l-użu ta 'gassijiet differenti fi stadji differenti tal-proċess.

Filwaqt li gassijiet komuni bħan-nitroġenu, l-idroġenu, l-argon u l-elju jistgħu jintużaw fil-forma pura tagħhom, ċerti proċessi jistgħu jeħtieġu taħlitiet speċjalizzati. Silani jew silossani, hexafluorides, alidi u idrokarburi huma ftit mill-gassijiet ta 'speċjalità użati fil-manifattura tas-semikondutturi. Ħafna minn dawn il-gassijiet jistgħu jkunu perikolużi jew reattivi ħafna, u joħolqu sfidi fl-għażla u d-disinn tal-komponenti għas-sistemi tal-gass.

Dawn huma xi eżempji:

L-idroġenu u l-elju jistgħu faċilment jnixxu minn sistemi ta 'pajpijiet u twaħħil minħabba d-daqs u l-piż atomiku żgħir tagħhom.

Is-silani huma fjammabbli ħafna u jistgħu spontanjament jaħarqu (awtognite) fl-arja.

Id-difluworidu tan-nitroġenu użat fl-istadji tad-deposizzjoni, l-inċiżjoni u t-tindif tal-kamra jsir gass serra qawwi meta nixxew fl-ambjent.

Il-fluworidu tal-idroġenu (gass tal-inċiżjoni) huwa korrużiv ħafna għall-pajpijiet tal-metall.

Trimethylgallium u ammonja jistgħu jkunu diffiċli biex jimmaniġġaw - varjazzjonijiet żgħar fit-temperatura u r-rekwiżiti tal-pressjoni tagħhom jistgħu jaffettwaw il-proċess ta 'depożizzjoni.

Il-kontroll tal-kundizzjonijiet tal-proċess biex jiġu minimizzati l-effetti negattivi ta’ dawn il-gassijiet għandha tkun prijorità ewlenija waqt id-disinn tas-sistema. Huwa ugwalment importanti li tuża l-komponenti tal-ogħla kwalità bħal valvoli tad-dijaframma AFK matul il-proċess tal-bini.

L-indirizzar tal-isfidi tad-disinn tas-sistema

Gassijiet ta 'grad semikondutturi huma fil-biċċa l-kbira tal-każijiet ta' purità għolja u jipprovdu kundizzjonijiet inerti jew itejbu reazzjonijiet fi stadji differenti tal-proċess tal-manifattura, bħal gassijiet ta 'inċiżjoni u depożizzjoni. Tnixxija jew kontaminazzjoni ta' gassijiet bħal dawn jista' jkollhom effetti negattivi. Għalhekk, huwa kritiku li l-komponenti tas-sistema użati jkunu ssiġillati ermetikament u reżistenti għall-korrużjoni kif ukoll ikollhom finitura tal-wiċċ lixxa (illustrar elettrolitiku) biex jiġi żgurat li ma jkun hemm l-ebda possibbiltà ta 'kontaminazzjoni u li jkun jista' jinżamm livell estremament għoli ta 'indafa.

Barra minn hekk, xi wħud minn dawn il-gassijiet jistgħu jissaħħnu jew jitkessħu biex jinkisbu l-kundizzjonijiet tal-proċess mixtieqa. Komponenti iżolati tajjeb jiżguraw kontroll tat-temperatura, li huwa kritiku għall-prestazzjoni effiċjenti tal-prodott finali.

Mid-daħla tas-sors sal-punt tal-użu, il-firxa wiesgħa ta 'komponenti ta' AFK tappoġġja l-purità ultra-għolja, it-temperatura, il-pressjoni u l-kontroll tal-fluss meħtieġa f'kmamar nodfa tas-semikondutturi u kmamar tal-vakwu.

Sistemi ddisinjati b'Komponenti ta 'Kwalità f'Semikondutturi Fabs

Ir-rwol tal-komponenti ta 'kwalità u l-ottimizzazzjoni tad-disinn huwa kritiku għall-kontroll preċiż u l-manifattura sikura tas-semikondutturi. Il-komponenti użati jeħtieġ li jkunu robusti u mingħajr tnixxija biex jaqblu mal-kundizzjonijiet tal-proċess li jvarjaw meħtieġa fi stadji differenti tal-manifattura. Il-valvi, fittings, regolaturi, pajpijiet u parentesi tas-siġillar ta 'kwalità għolja ta' AFK huma kkaratterizzati mill-karatteristiċi li ġejjin:

Purità ultra-għolja

Siġilli mingħajr tnixxija

Insulazzjoni kkontrollata b'temperatura

Kontroll tal-pressjoni

reżistenza għall-korrużjoni

Trattament tal-illustrar elettrolitiku