Zastosowanie specjalnego gazu do oczyszczania gazu resztkowego！ Polska

Urządzenia do oczyszczania gazów wylotowych mogą obsługiwać gazy stosowane w procesach trawienia i procesach chemicznego osadzania z fazy gazowej w przemyśle półprzewodników, ciekłych kryształów i energii słonecznej, w tym SiH4, SiH2Cl2, PH3, B2H6, TEOS, H2, CO, NF3, SF6, C2F6, WF6 , NH3, N2O i tak dalej.

Metoda oczyszczania spalin

Zgodnie z charakterystyką oczyszczania gazów spalinowych, obróbkę można podzielić na cztery rodzaje oczyszczania:

1. Rodzaj mycia wodą (oczyszczanie gazów korozyjnych)

2. Typ utleniający (dotyczący gazów palnych i toksycznych)

3. Adsorpcja (w zależności od rodzaju materiału adsorpcyjnego, który ma poradzić sobie z odpowiednimi gazami spalinowymi).

4. Rodzaj spalania plazmowego (można oczyścić wszystkie rodzaje gazów spalinowych).

Każdy rodzaj leczenia ma swoje zalety i wady, a także zakres zastosowania. Gdy metodą uzdatniania jest mycie wodą, sprzęt jest tani i prosty i może obsługiwać wyłącznie gazy rozpuszczalne w wodzie; zakres zastosowań elektrycznego mycia wodą jest większy niż w przypadku mycia wodą, ale koszt eksploatacji jest wysoki; typ suchy ma dobrą skuteczność oczyszczania i nie ma zastosowania do przepływu gazu, który łatwo ulega zatkaniu lub przepływowi.

Substancje chemiczne i ich produkty uboczne powszechnie stosowane w przemyśle półprzewodników można podzielić na kategorie według ich właściwości chemicznych i ich różnych zakresów:

1. Gazy łatwopalne, takie jak SiH4H2 itp.

2. Gazy toksyczne, takie jak AsH3, PH3 itp.

3. Gazy korozyjne, takie jak HF, HCl itp.

4. Gazy cieplarniane, takie jak CF4, NF3 itp.

Ponieważ powyższe cztery gazy są szkodliwe dla środowiska lub organizmu ludzkiego, muszą zapobiegać ich bezpośredniej emisji do atmosfery, dlatego też ogólne zakłady półprzewodnikowe są instalowane z dużym, scentralizowanym systemem oczyszczania gazów spalinowych, ale ten system to tylko woda płucząca spaliny, więc jego zastosowanie ogranicza się do gazów rozpuszczalnych w wodzie na duże odległości i nie radzi sobie z ciągle zmieniającym się i subtelnym podziałem gazów spalinowych z procesu półprzewodnikowego. Dlatego konieczne jest wybranie i dopasowanie odpowiedniego sprzętu do oczyszczania gazów spalinowych zgodnie z charakterystyką gazu uzyskaną z każdego procesu, aby w niewielkim stopniu rozwiązać problem gazów spalinowych. Ponieważ obszar roboczy jest w dużej mierze oddalony od centralnego układu oczyszczania spalin, często ze względu na właściwości gazu dochodzi do krystalizacji lub gromadzenia się pyłu w rurociągu, co powoduje zatkanie rurociągu, co prowadzi do wycieku gazu, a w poważnych przypadkach nawet do wybuchu , nie może zapewnić bezpieczeństwa pracy personelu witryny. Dlatego w miejscu pracy należy skonfigurować mały sprzęt do oczyszczania gazów spalinowych, odpowiedni do charakterystyki gazu procesowego, aby zredukować zastój gazów spalinowych w obszarze pracy i zapewnić bezpieczeństwo personelu.