Podłączenie wprowadzenia rurociągu gazowego w zakładzie półprzewodnikowym

Połączenie umożliwia maszynie osiągnięcie pożądanego działania poprzez łącze do przekazywania usług. Połączenie to polega na podłączeniu usług (takich jak woda, energia elektryczna, gaz, chemikalia itp.) dostarczanych przez zakład do maszyny i jej akcesoriów za pomocą zaplanowanego punktu łącza usługowego (portu lub gniazda) przez rurociągi czy kabiel.

Te usługi są wykorzystywane przez maszynę do spełnienia wymagań procesowych, dla których została zaprojektowana. Po użyciu maszyny, recyklowalna woda lub odpady (jak np. ścieki, gaz utleniający itp.) produkowane przez maszynę są łączne z zaplanowanym punktem kontaktowym systemu za pomocą rurociągów, a następnie przekazywane do systemu odzysku zakładu lub systemu oczyszczania gazów odpadowych. Projekt połączeń obejmuje głównie: CAD, przenoszenie, wiertło rdzeniowe, sejsmika, próżnia, gaz, chemikalia D.I, PCW, CW, kurier, elektryczność, odpływ.

PODŁĄCZENIE GAZU Podstawowa znajomość wiedzy fachowej

W zakładach półprzewodnikowych, tak zwany łącze rurociągu gazu nazywany jest "sp1hook up" w odniesieniu do gazów ogólnych (takich jak CDA, GN2, pN2, PO2, Phe, par, H2 itp.), a punkt odgałęzienia od punktu wyjścia zbiornika gazu źródłowego do podMAIN przez główny rurociąg nazywany jest "sp1hook up", który biegnie od punktu odgałęzienia wyjściowego do punktu wejściowego maszyny (narzędzia) lub urządzenia, co nazywane jest konfiguracją wtórną (sp2hook up).

Dla gazów specjalnych (gazów specjalnych takich jak korozyjnych, toksycznych, łatwopalnych, grzewczych itp.) ich źródło dostarczania gazu to gascabinet. Od punktu wyjścia g/c do pierwszego punktu wejścia VMB (głównego skrzynki zaworowej) lub VMP (głównego panelu zaworowego) nazywane jest sp1hook up, a od wtórnego punktu wyjścia VMB lub VMP do punktu wejścia maszyny nazywane jest sp2 hook.