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Introdução da conexão do pipeline de gás da fábrica semicondutora

Jun.30.2022

A conexão permite que a máquina atinja a função desejada ao se conectar para transmitir utilidades. A conexão consiste em ligar as utilidades (como água, eletricidade, gás, produtos químicos, etc.) fornecidas pela fábrica à máquina e seus acessórios por meio do ponto de conexão reservado (porta ou conector) através de tubulações e cabos.

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Essas utilidades são usadas pela máquina para atender aos requisitos do processo para o qual foi destinada. Após o uso da máquina, a água reciclável ou resíduos (como água residual, gases residuais, etc.) gerados pela máquina são conectados ao contato reservado do sistema por meio de tubulação e então transmitidos ao sistema de recuperação da planta ou ao sistema de tratamento de gases residuais. O projeto de conexão inclui principalmente: CAD, instalação, perfuração de núcleo, sismologia, vácuo, gás, produtos químicos D.I, PCW, CW, expresso, elétrico, drenagem.

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GAS HOOK-UP Compreensão básica do conhecimento profissional

Em fábricas de semicondutores, a chamada conexão de tubulação de gás é denominada "sp1hook up" em termos de buckgas (gases gerais como CDA, GN2, pN2, PO2, Phe, par, H2, etc.), e o ponto de desvio do ponto de saída do tanque de armazenamento de gás da fonte de suprimento de gás até a sublinha principal através da linha principal é chamado de "sp1hook up", que vai do ponto de desvio de saída ao ponto de entrada da máquina (ferramenta) ou equipamento, chamado configuração secundária (sp2hook up).

Para specialtygas (gás especial como corrosivo, tóxico, inflamável, gás de aquecimento, etc.), sua fonte de suprimento de gás é o gascabinet. Do ponto de saída do g/c até o ponto de entrada primário do VMB (caixa principal de válvulas) ou VMP (painel principal de válvulas) é chamado de sp1hook up, e do ponto de saída secundário do VMB ou VMP até o ponto de entrada da máquina é chamado de sp2 hook.