Cerințe de sistem pentru procesele de pregătire a gazelor electronice speciale!

Procesul de producție al gazelor specializate electronice include mai multe etape, cum ar fi sinteză, purificare, umplere, analiză și testare, amestecare și proporționare. Pentru a satisface cerințele de puretate și conținut de impurități ale fabricației de semiconductori din aval, procesul de purificare este foarte important. În funcție de compoziția gazei de sinteză sau a gazei brute din amont, se efectuează o distilare la temperaturi joase sau o purificare în mai multe etape.

Cerințe ridicate de curățenie

Procesul de pregătire al gazelor electronice speciale se poate împărți în două blocuri majore: sinteză și purificare în amont, care aparține procesului de producție chimică. Dimensiunea conductelor de producție este mare și nu există o cerere specială privind nivelul de curățenie. După purificarea în aval, produsul este umplut cu gaz și mixat pentru pregătire. Conductele de producție sunt mici și au cerințe legate de nivelul de curățenie. Este necesar să se respecte specificația standard a procesului de fabricație a semiconductorilor.

Cerințe ridicate de sigilitet

Datorită activității lor chimice, gazele electronice specializate pun de asemenea cereri ridicate asupra materialelor și sigilității sistemului de producție. La fel ca și cerințele fabricației de semiconductori, aceasta previne scurgerile la interfețe cauzate de introducerea impurităților sau coroziunea gazelor speciale. Sistemul poate fi, de asemenea, folosit pentru a preveni introducerea impurităților sau scurgerile la interfață cauzate de coroziunea gazelor speciale.

Cerințe ridicate de stabilitate a calității

Calitatea gazelor electronice specializate include un număr de indicatori precum puritatea și conținutul de particule de impurități. Orice schimbare a acestor indicatori va afecta rezultatele procesului de fabricație al semiconductoarelor din amonte. Prin urmare, pentru a garanta consistența indicatorilor produselor de gaze electronice speciale, sistemul de preparare a procesului care controlează stabilitatea indicatorilor este, de asemenea, foarte important.

Aplicarea sistemelor de pregătire a proceselor de gaze speciale

Datorită activității chimice și cerințelor de calitate ale EGP, sistemul de producție pentru prepararea EGP-ului, în special sistemul de purificare downstream, trebuie să îndeplinească cerințele materialelor de înaltă purete, înaltă sigilitate, înaltă curățenie și consistență de calitate ridicată, iar construcția componentelor ingineriste trebuie să respecte standardele industriei de fabricație a semiconductořilor.

Ceea ce denumim comunmente "inalta puritate" este, teoretic, definiția purității unei substanțe, cum ar fi gaze de inalta puritate, chimicale de inalta puritate, etc. Sistemele de proces sau componente ale sistemelor de proces care sunt aplicate substanțelor de inalta puritate se numesc de asemenea de inalta puritate, cum ar fi sisteme de inalta puritate și robinete de inalta puritate. Sistemele de pregătire a gazelor specializate electronice necesită componentele de aplicație de inalta puritate, cum ar fi uniuni și robinete, alte componente hidraulice, adică uniuni și robinete fabricate din materiale de inalta puritate și procese de producție curate, având o structură care permite curățarea și spălarea ușoară. Cu performanță ridicată în ceea ce privește sigilitatea. Aceste componente hidraulice sunt proiectate pentru a satisface calea de flux a aplicației, folosind cerințele de inginerie și construcție ale industriei semiconductoare.

Conexiuni de Tubing de Inalta Puritate

Conexiunile cu sigiliu metalic VCR de tip înfășurare a feței și conexiunile de sudare pe contact cu ghidare automată sunt folosite pe scară largă în cerințele de proces care necesită o puritate riguroasă a sistemului de lichide, datorită capacității lor de a asigura o tranziție netedă a traiectoriei fluxului la conexiune, fără zone de stagnație și cu o performanță ridicată de sigilare. Conexiunile VCR formează o sigilare pe suprafață îngustă prin extrudarea unui sigiliu metallic relativ moale. Performanța conexiunii și a sigilării este asigurată repetabil și consistent de fiecare dată când sigiliul deformat este eliminat și înlocuit.

Tuburile sunt sudate folosind un sistem de sudare orbitală automată. Tubul este protejat de gazuri de mare puretate atât din interior cât și din exterior. Electroda de tungsten rottește de-a lungul orbitei pentru a realiza o sudare de calitate ridicată. Sudarea orbitală automată totală topsește tubul fără a introduce alte materiale, realizând o sudare de înaltă calitate; controlul repetat al tuburilor cu perete subțire este dificil de realizat cu sudarea manuală.

Conexiune cu Sigiliu Metallic VCR de Tip Închidere Fețe

Conexiune prin Sudare Orbitală Automată a Tuburilor

Sigiluri de Mare Puretate

Activitatea chimică a gazelor specializate electronice inflamabile, explosive, corozive și toxice pune cerințe ridicate în ceea ce privește sigilitatea robinetului. Pentru a îmbunătăți fiabilitatea sigilității, se impune utilizarea robinetelor fără umplutură pentru a preveni fugă exterioară, adică operațiunea de comutare între axa robinetului și corpul acestuia folosind o camasa metalică sau o diafragmă metallică, cu scopul de a elimina fugile cauzate de uzurare și deformare a umpluturii. Robinetele cu sigilitate prin camasă și cele cu sigilitate prin diafragmă sunt folosite frecvent în sistemele de proces pentru aplicații de mare puretate, din cauza fiabilității mai mari a sigilităților și a curățării și înlocuirii mai ușoare a componentelor interne ale robinetului.

Vorțele cu tulpă sunt o construcție de valvă tip agul fără umplutură care permite deschiderea lentă și reglarea debitului. Se folosesc pentru umplerea cu gaze electronice speciale cu cerințe de siguranță ale debitului sau pe sticlele surse de precursori cu cerințe ridicate de siguranță. Sigilarea extremului metallic al axei permite temperaturi de funcționare extrem de mici și se folosește pentru lichidificarea criogenică a gazelor electronice speciale în rezervoarele produsului final după distilarea criogenică pentru conducte.

Valvă cu inchidere prin membrană fără resort este o valvă de 1/4" cu deschidere rapidă, utilizată drept valvă de comutare controlată automat în conductele de livrare. Ele sunt folosite frecvent în aplicații de presiune ultra mare și puritate ridicată datorită calei lor interne simplă de flux, volumului intern mic și ușurinii de curățenie și înlocuire.

Vorțele cu închidere prin diafragmă, care se închid prin extremitatea stelei, pot să se deschidă încet și să fie utilizate la presiuni de funcționare mai mari decât vorțele cu diafragmă fără ressort. Ele sunt folosite pe scară largă pe flacoanele de umplere cu gaze electronice speciale sau surse de precursori la presiuni ridicate.

Vorțelul cu diafragmă de închidere secundară poate fi utilizat nu doar în sisteme de procesare la temperaturi ultrascăzute la -200 de grade, dar previne și fugarea medianelor periculoase în atmosferă. Este folosit de obicei pentru gaze electronice speciale foarte periculoase, cum ar fi sistemele de umplere cu silan.

Shenzhen Wofei Technology Co., Ltd, cu peste 10 ani de experiență în furnizarea de gaze industriale și speciale, materiale, sisteme de aprovizionare cu gaze și inginerie gazelor pentru piețele de semiconductoare, LED, DRAM, TFT-LCD, vă putem oferi materialele necesare pentru a duce produsele voastre în fața industriei. Nu numai că putem furniza o gamă largă de robinete și piese pentru gaze electronice speciale semiconductoare, dar putem să proiectăm conducte de gaz și să instalăm echipamente pentru clienții noștri. Dacă aveți vreo nevoie în această zonă, vă rugăm să ne contactați la 27919860.