Введение в подачу чистого азота по трубопроводу
Все высокочистые, высокочистые в трубопроводе чистого азота должны поставляться к прибору (POU) через трубопровод. Для достижения качественных требований прибора, помимо показателей выхода газа, необходимо уделять больше внимания системе трубопроводов, выбору материалов и качеству строительства. Помимо точности газового или очистного оборудования, это во многом зависит от многих факторов системы трубопровода. Следовательно, выбор труб должен соответствовать соответствующим отраслевым принципам и указывать материал трубопровода.
Материал трубопровода чистого азота выбирается в зависимости от потребностей использования, и часто используется 316L BA, который соприкасается с чипом, но не участвует в процессе реактивной активности. Шероховатость поверхности внутри трубы является стандартом для измерения качества труб. Чем ниже шероховатость, тем меньше вероятность переноса частиц.
Чистые трубопроводы для азота могут поглощать около 200 граммов газа на тонну во время плавки нержавеющей стали. Нержавеющая сталь обрабатывается так, что не только поверхность становится адгезивной, но и определенное количество газа также проникает в ее металлическую решетку. Когда в трубе есть воздушный поток, эта часть газа, находящаяся в металле, снова выходит в поток воздуха и загрязняет чистый газ. Когда взаимодействие потока в трубе не является непрерывным.
Когда труба поглощает газ под давлением, газ адсорбируется, движение газа останавливается, и газ, адсорбированный трубой, образует ступенчатый анализ, а проанализированный газ также используется как примеси в чистом газе внутри трубы. При этом происходит адсорбция и анализ, что приводит к образованию определенного порошка на поверхности трубы, который также является очищенным газом в трубе. Эта особенность чистой газовой трубы критически важна для обеспечения чистоты доставляемого газа, требуя не только очень высокой гладкости внутренней поверхности, но и высоких износостойких характеристик.

Когда газ обладает сильной коррозийностью, необходимо использовать коррозионностойкую нержавеющую стальную трубу. В противном случае, труба чистой газовой линии может образовать коррозионные пятна из-за коррозии, что приведет к большому отслаиванию металла или даже пробоинам, загрязняя таким образом чистый газ.