Applicering av speciell gasgasbehandlingsgas！ Sverige

Utrustning för slutgasbehandling kan hantera gaser som används i etsningsprocesser och kemiska ångavsättningsprocesser inom halvledar-, flytandekristall- och solenergiindustrin, inklusive SiH4, SiH2Cl2, PH3, B2H6, TEOS, H2, CO, NF3, SF6, C2F6, WF6 , NH3, N2O och så vidare.

Avgasbehandlingsmetod

Beroende på egenskaperna hos avgasbehandling kan behandlingen delas in i fyra typer av behandling:

1. Typ av vattentvätt (behandling av frätande gaser)

2. Oxiderande typ (hanterar brännbara och giftiga gaser)

3. Adsorption (beroende på typen av adsorptionsmaterial för att hantera motsvarande avgas).

4.Plasmaförbränningstyp (alla typer av avgaser kan behandlas).

Varje typ av behandling har sina egna fördelar och nackdelar samt dess tillämpningsområde. När behandlingsmetoden är vattentvätt är utrustningen billig och enkel och klarar endast av vattenlösliga gaser; applikationsområdet för den elektriska vattentvätttypen är högre än för vattentvättningstypen, men driftskostnaden är hög; den torra typen har god behandlingseffektivitet och är inte tillämpbar på gasflödet som är lätt att täppa till eller strömma.

Kemikalier och deras biprodukter som vanligtvis används i halvledarindustrin kan kategoriseras efter deras kemiska egenskaper och deras olika intervall:

1. Brandfarliga gaser som SiH4H2 osv.

2. Giftiga gaser som AsH3, PH3 osv.

3. Frätande gaser som HF, HCl osv.

4. Växthusgaser som CF4, NF3 osv.

Eftersom ovanstående fyra gaser är skadliga för miljön eller människokroppen, måste de förhindra dess direkta utsläpp till atmosfären, så den allmänna halvledaranläggningen är installerad med ett stort centraliserat avgasbehandlingssystem, men detta system är bara vattenrenande avgaser, så dess tillämpningen är begränsad till långväga vattenlösliga gaser, och kan inte hantera den ständigt föränderliga och subtila uppdelningen av halvledarprocessen avgaser. Därför är det nödvändigt att välja och matcha motsvarande avgasbehandlingsutrustning enligt de gasegenskaper som härrör från varje process för att lösa avgasproblemet på ett litet sätt. Eftersom arbetsområdet för det mesta är borta från det centrala avgasbehandlingssystemet, leder ofta på grund av gasegenskaper till kristallisering eller dammansamling i rörledningen, vilket resulterar i igensättning av rörledningen vilket leder till gasläckage och i allvarliga fall till och med orsaka en explosion , kan inte säkerställa att platspersonalens arbetssäkerhet. Därför måste i arbetsområdet konfigurera en liten avgasbehandlingsutrustning som är lämplig för processgasens egenskaper, för att minska de stillastående avgaserna i arbetsområdet, för att säkerställa personalens säkerhet.