Anslutning av introduktion av gasledning för halvledarfabrik

Anslutning möjliggör att maskinen uppnår den önskade funktionen genom att anslutas för att överföra utrustning. Anslutning innebär att ansluta de förnödenheter (som vatten, el, gas, kemikalier etc.) som tillhandahålls av fabriken till maskinen och dess tillbehör via de reserverade anslutningspunkterna (port eller stick) via ledningar och kablar.

Dessa förnödenheter används av maskinen för att uppfylla de processkrav som den är betald för. När maskinen har använts kopplas det återvinbara vattnet eller avfallet (som avloppsvatten, avgas etc.) som genereras av maskinen till de reserverade kontakterna i systemet via ledningarna och sedan överförs till fabrikins återvinningssystem eller avgasbehandlingssystem. Anslutningsprojektet omfattar huvudsakligen: CAD, flytt in, kärnbrunn, seismisk, vakuum, gas, kemiska D.I, PCW, CW, express, el, avlopp.

GAS ANSLUTNING Grundläggande förståelse av professionellt kunskap

I halvledarfabriker kallas anslutningen av gasrör för "sp1hook up" när det gäller buckgas (allmänna gaser som CDA, GN2, pN2, PO2, Phe, par, H2 osv.), och uttaget från utgångspunkten av gaslagerningstanken i gasförsyningskällan till huvudledningarna och därifrån till sub-huvudledningarna kallas också "sp1hook up", vilket sträcker sig från uttagspunkt till maskinens (verktyg) eller utrustningens inlettpunkt. Detta kallas sekundärkonfiguration (sp2hook up).

För specialgas (specialgas som korrosiva, giftiga, brandbara, värme-gaser etc.) är gasförsyningskällan gascabinet. Från g/c-utgångspunkten till den primära inlettpunkten av VMB (valvmatrislåda) eller VMP (valvmatrispanel) kallas sp1hook up, och från den sekundära utgångspunkten av VMB eller VMP till maskinens inlettpunkt kallas detta sp2 hook.