Systemdesign för gaser som används i halvledartillverkning Sverige

När halvledarmarknaden växer blir standarderna för renhet och noggrannhet strängare. En av de avgörande faktorerna för kvaliteten på halvledartillverkning är de gaser som används i processen. Dessa gaser spelar många roller i tillverkningsprocessen, inklusive:

Precision processkontroll

Förebyggande av kontaminering

Metallurgisk egenskapsförbättring

För att utföra dessa roller effektivt måste gasförsörjnings- och distributionssystemet vara effektivt. Utformningen av gashanteringssystem som används vid halvledartillverkning måste stödjas av robusta komponenter och skräddarsydda sammansättningar för att säkerställa tillförlitlig och högkvalitativ produktion av halvledare.

Gaser som används i halvledartillverkning

Processen att tillverka halvledare kräver användning av olika gaser i olika skeden av processen.

Medan vanliga gaser som kväve, väte, argon och helium kan användas i sin rena form, kan vissa processer kräva specialiserade blandningar. Silaner eller siloxaner, hexafluorider, halogenider och kolväten är några av de specialgaser som används vid halvledartillverkning. Många av dessa gaser kan vara farliga eller mycket reaktiva, vilket skapar utmaningar vid val och design av komponenter för gassystem.

Här är några exempel:

Väte och helium kan lätt läcka från rör- och kopplingssystem på grund av deras lilla atomstorlek och vikt.

Silaner är mycket brandfarliga och kan självantända (selvantända) i luft.

Kvävedifluorid som används i deponering, etsning och kammarrengöring blir en potent växthusgas när den läcker ut i miljön.

Vätefluorid (etsgas) är mycket frätande på metallrör.

Trimetylgallium och ammoniak kan vara svåra att hantera - små fluktuationer i deras temperatur- och tryckkrav kan påverka deponeringsprocessen.

Att kontrollera processförhållandena för att minimera de negativa effekterna av dessa gaser måste ha högsta prioritet vid systemdesign. Det är lika viktigt att använda komponenter av högsta kvalitet som AFK membranventiler under byggprocessen.

Ta itu med systemdesignutmaningar

Halvledargaser är i de flesta fall av hög renhet och ger inerta förhållanden eller förstärker reaktioner i olika stadier av tillverkningsprocessen, såsom etsnings- och avsättningsgaser. Läckage eller kontaminering av sådana gaser kan ha negativa effekter. Därför är det kritiskt att de systemkomponenter som används är hermetiskt förslutna och korrosionsbeständiga samt har en slät ytfinish (elektrolytisk polering) för att säkerställa att det inte finns någon möjlighet till kontaminering och att en extremt hög renhetsnivå kan upprätthållas.

Dessutom kan vissa av dessa gaser värmas eller kylas för att uppnå önskade processbetingelser. Välisolerade komponenter säkerställer temperaturkontroll, vilket är avgörande för effektiv prestanda hos slutprodukten.

Från källans inlopp till användningsstället stödjer AFK:s breda utbud av komponenter den ultrahöga renhet, temperatur, tryck och flödeskontroll som krävs i halvledarrenrum och vakuumkammare.

Designade system med kvalitetskomponenter i halvledarfabriker

Rollen för kvalitetskomponenter och designoptimering är avgörande för exakt kontroll och säker tillverkning av halvledare. Komponenterna som används måste vara robusta och läckagefria för att matcha de varierande processförhållandena som krävs vid olika tillverkningsstadier.AFKs högkvalitativa ventiler, kopplingar, regulatorer, rörledningar och tätningsfästen kännetecknas av följande egenskaper:

Ultrahög renhet

Läckagefria tätningar

Temperaturkontrollerad isolering

Tryckreglering

korrosionsbeständighet

Elektrolytisk poleringsbehandling