Systemkrav för elektroniska specialgasberedningsprocesser！ Sverige

Produktionsprocessen av elektroniska specialgaser innefattar flera processer såsom syntes, rening, fyllning, analys och testning, blandning och proportionering. För att uppfylla kraven på nedströms halvledartillverkning för renhet och föroreningsinnehåll är reningsprocessen mycket viktig. Beroende på sammansättningen av uppströmssyntesgasen eller rågasen utförs lågtemperaturdestillation eller flerstegsrening.

Höga krav på renlighet

Beredningsprocessen för elektroniska specialgaser kan delas upp i två huvudblock av uppströmssyntesberedning och rening, som hör till den kemiska produktionsprocessen. Storleken på produktionsrörledningen är stor och det finns inga särskilda krav på renhetsnivå. Efter nedströmsrening fylls produkten med gas och blandas för beredning. Produktionsrörledningen är liten och har krav på renhetsnivå. Den måste uppfylla standardspecifikationen för halvledartillverkningsprocessen.

Höga tätningskrav

På grund av sin kemiska aktivitet ställer elektroniska specialgaser också höga krav på material och tätning av produktionsprocesssystemet. Precis som kraven för halvledartillverkning förhindrar det gränssnittsläckage orsakat av införandet av föroreningar eller korrosion av speciella gaser. Systemet kan också användas för att förhindra införandet av föroreningar eller läckage av gränssnitt orsakat av korrosion av speciella gaser.

Höga kvalitetskrav på stabilitet

Kvaliteten på elektroniska specialgaser inkluderar ett antal indikatorer såsom renhet och innehåll av föroreningar. Varje förändring av indikatorerna kommer att påverka resultaten av halvledartillverkningsprocessen efterföljande. Därför, för att säkerställa konsistensen hos de elektroniska specialgasproduktindikatorerna, är förberedelseprocesssystemet för att kontrollera indikatorernas stabilitet också mycket viktigt.

Tillämpning av specialsystem för gasberedning

På grund av den kemiska aktiviteten och kvalitetskraven för EGP måste produktionssystemet för EGP-beredning, särskilt nedströmsreningssystemet, uppfylla kraven på material med hög renhet, hög tätning, hög renhet och hög kvalitetskonsistens, och konstruktionen av konstruerade komponenter måste uppfyller standarderna för halvledartillverkningsindustrin.

Det vi vanligen kallar "hög renhet" är teoretiskt sett definitionen av ett ämnes renhet, såsom gaser med hög renhet, kemikalier med hög renhet etc. Processsystem eller processsystemkomponenter som tillämpas på ämnen med hög renhet hänvisas också till. till så hög renhet, såsom system med hög renhet och högrena ventiler. Elektroniska specialgasberedningssystem kräver applikationskopplingar, ventiler och andra vätskekomponenter med hög renhet, dvs kopplingar och ventiler som är bearbetade med högrena material och rena tillverkningsprocesser, och är strukturerade för enkel rening och rengöring. Med hög tätningsprestanda. Dessa vätskekomponenter är designade för att möta applikationens processflödesväg, med användning av tekniska och konstruktionskrav inom halvledarindustrin.

Röranslutningar med hög renhet

VCR-anslutningar av metallpackningar med yttätning och automatiska styrstumsvetsanslutningar används i stor utsträckning i krävande processkrav för vätskesystemets renhet på grund av förmågan att möta både mjuk övergång av flödesbanan vid anslutningen, ingen stagnationszon och hög tätningsprestanda. VCR-anslutningar bilda en smal yttätning genom att extrudera en relativt mjuk metallpackning. Repeterbar och konsekvent anslutnings- och tätningsprestanda garanteras varje gång den deformerade packningen tas bort och byts ut.

Rör svetsas med hjälp av ett automatiskt orbitalsvetssystem. Röret är skyddat av hög ren gas inifrån och ut. Volframelektroden roterar längs omloppsbanan för svetsning av hög kvalitet. Helautomatisk orbitalsvetsning smälter röret utan att introducera andra material, att uppnå en svets av hög kvalitet genom att upprepade gånger kontrollera tunnväggiga rör är svårt att uppnå med manuell svetsning.

VCR metallpackning ansiktstätning Anslutning

Automatisk orbital stumsvetsanslutning av rör

Hög renhetsventiler

Den kemiska aktiviteten hos brandfarliga, explosiva, frätande och giftiga elektroniska specialgaser ställer höga krav på tätningen av ventilen. För att förbättra tätningens tillförlitlighet, kravet på packningsfria ventiler för att förhindra externt läckage, det vill säga växla drift av ventilskaftet och ventilkroppen mellan tätningen med hjälp av metallbälg eller metallmembran, för att eliminera läckage på grund av nötning och deformation av packningstätningen. Bälgtätade och membrantätade ventiler används vanligtvis i processsystem för applikationer med hög renhet på grund av tätningarnas större tillförlitlighet och det lättare att rengöra och byta ut ventilens inre delar.

Bälgtätade ventiler är en packningsfri nålventilkonstruktion som möjliggör långsam öppning och flödesreglering. Används för elektronisk specialgasfyllning med säkerhetsflödeskrav eller på prekursorkällflaskor med höga säkerhetskrav. Skafttätningarna helt av metall tillåter extremt låga driftstemperaturer och används för kryogenisk kondensering av elektroniska specialgaser i färdiga produkttankar efter kryogen destillation för rörledningar.

Fjäderlös membrantätningsventil är en 1/4" snäppöppningsventil för användning som en automatiskt styrd växlingsventil i leveransrör. De används ofta i applikationer med ultrahögt tryck och hög renhet på grund av deras enkla interna flödesväg, liten intern volym och enkel rensning och utbyte.

Membrantätade ventiler som stänger via skaftspetsen kan öppna långsamt och användas vid högre arbetstryck än icke-fjädrade membrantätade ventiler. De används i stor utsträckning på högtryckselektroniska specialgasfyllningar eller prekursorflaskor.

Den sekundära tätningsbälgventilen kan inte bara användas i processsystem med ultralåga temperaturer vid -200 grader, utan förhindrar också läckage av farliga medier till atmosfären. Används vanligtvis för mycket farliga elektroniska specialgaser, såsom silanfyllningssystem.

Shenzhen Wofei Technology Co., Ltd, med över 10 års erfarenhet av leverans av industri- och specialgaser, material, gasförsörjningssystem och gasteknik för halvledar-, LED-, DRAM-, TFT-LCD-marknaderna, kan vi förse dig med nödvändiga material för att driva dina produkter till branschens framkant. Vi kan inte bara leverera ett brett utbud av ventiler och beslag för halvledarelektroniska specialgaser, utan vi kan även designa gasledningar och installation av utrustning för våra kunder. Om du har några behov inom detta område, vänligen kontakta oss på 27919860.