Systemkrav för förberedelseprocesser av elektroniska specialgaser!

Produktionsprocessen för elektroniska specialgaser omfattar flera processer som syntes, reningsprocess, fyllning, analys och testning, blandning och dosering. För att uppfylla kraven från nedströms halvledarskapningen på renhet och föreningarinnehåll är reningsprocessen mycket viktig. Beroende på sammansättningen av den upstream-syntesgassen eller rågassen utförs lågt temperaturdistillation eller flerstegsrening.

Hög renskrivningskrav

Förberedningsprocessen av elektroniska specialgaser kan delas in i två huvudblock: upstream-syntesförberedelse och reningsprocess, vilket tillhör kemiskt produktionsprocess. Storleken på produktionsledningen är stor och det finns inga särskilda krav på renskapsnivå. Efter nedströmsrenning fylls produkten med gas och blandas för förberedelse. Produktionsledningen är liten och har krav på renskapsnivå. Den måste uppfylla standardspecifikationerna för halvledarproduceringsprocessen.

Hög slitagekrav

På grund av deras kemiska aktivitet ställer elektroniska specialgaser också höga krav på materialen och sigilleringen i produktionsprocesssystemet. Precis som kraven inom halvledarproduktion förhindrar det införandet av föreningar eller korrosion orsakad av specialgaser. Systemet kan även användas för att förhindra införande av föreningar eller gränssnittets läckage orsakat av korrosion av specialgaser.

Höga krav på kvalitetsstabilitet

Kvaliteten på elektroniska specialgaser omfattar flera indikatorer såsom renhet och innehåll av främmande partiklar. Varje förändring av dessa indikatorer påverkar resultaten av den nedströms halvledarproduceringsprocessen. Därför är det viktigt att kontrollera stabiliteten av indikatorerna i produktionsprocesssystemet för att säkerställa konsekvensen hos elektroniska specialgasprodukterna.

Tillämpning av specialgaspreparationsprocesssystem

På grund av den kemiska aktiviteten och kvalitetskraven för EGP måste produktionsystemet för EGP-förberedelse, särskilt nedströmsrensningsystemet, uppfylla kraven på höggradigt rent material, hög täckning, hög renskapsnivå och hög kvalitetskonstans. Konstruktionen av tekniska komponenter måste också uppfylla standarderna inom halvledars tillverkningsindustrin.

Vad vi vanligen refererar till som "hög renhet" är teoretiskt definitionen av rena substanser, såsom högrenhetsgaser, högrenhetskemikalier, etc. Processsystem eller processkomponenter som används för högrenhetsämnen kallas också högrenhets, såsom högrenhetsystem och högrenhetsventiler. Elektroniska specialgasföretningsystem kräver högrenhetsanpassade anslutningar, ventiler och andra fluidkomponenter, dvs. anslutningar och ventiler som bearbetas med högrenhetsmaterial och rena tillverkningsprocesser, och är utformade för enkel rening och städning. Med hög tätskyddseffekt. Dessa fluidkomponenter är utformade för att uppfylla processflödesbanan för tillämpningen, med hjälp av konstruktions- och byggkraven från halvledarindustrin.

Högrenhetsröranslutningar

VCR-metallkorknätanslutningar och automatiserade ledningsvärmenasanslutningar används allmänt i krävande renhetsprocesser för vätskesystem tack vare möjligheten att uppnå både en jämn flödesväg vid anslutningen, inga stillstandsområden och hög tätskyddseffekt. VCR-anslutningar bildar en smal yttätning genom att utpressa en relativt mjuk metallkork. Repeterbar och konsekvent anslutnings- och tätskyddsprestation garanteras varje gång den deformera korken tas bort och ersätts.

Rör svetsas med ett automatiskt orbitalsvetsningssystem. Röret skyddas av högren gas inifrån och utifrån. Tungstenelektroden roterar längs banan för högkvalitativ svetsning. Fullständigt automatiserad orbitalsvetsning smelter röret utan att andra material införs, vilket uppnår en högkvalitativ svetsning som är svår att uppnå med handsvetsning när det gäller tunnbrädade rör.

VCR Metal Gasket Face Seal Connection

Automatisk Orbital Butt Welding Connection av Rör

Högrenhetsventiler

Kemiska egenskaper hos brandbara, sprängbara, korrosiva och giftiga elektronikspecialgaser ställer höga krav på tätsluten för ventilen. För att förbättra tätslutens pålitlighet används ofta packningsfria ventileringar för att förebygga utslagningar, det vill säga att växlingsoperationen mellan ventilaxeln och ventilbröstkorgen slutas med metallbellor eller metallmembran för att eliminera läckage som orsakas av smärning och deformation av packningstätslut. Bellorstätsluta- och membranstätsluta-ventiler används vanligtvis i processsystem för högrehetssituationer på grund av deras högre pålitlighet i tätslut och enklare rensning och spölning för ersättning av ventils inre delar.

Bellows-isolerade ventil är en konstruktion av packningslös neddlassningsventil som tillåter långsamt öppnande och strömningsreglering. Används för elektroniska specialgasfyllning med säkerhetskrav på flöde eller på prekursor källflaskor med höga säkerhetskrav. Den helt metallskaftspetsen tillåter extremt låga drifttemperaturer och används för kryogenisk vätskning av elektroniska specialgaser i färdiga produkttankar efter kryogenisk distillation för rörledningar.

Fjäderlös membranventil är en 1/4" snabböppen ventil som används som en automatiskt styrd schaklingsventil i leveransrörledningar. De används vanligtvis i ultrahögtrycks-, högrehetssituationer på grund av sin enkla interna strömväg, liten intern volym och lätt rensning och utbyte.

Membranförslutna ventil som stängs via spetsen på axeln kan öppnas långsammare och användas vid högre arbetstryck än membranförslutna ventil utan fjäder. De används bredvid på högtrycks elektroniska specialgasfyllnings- eller prekursor källflaskor.

Den sekundära förslutningsbellowsventilen kan inte bara användas i ultralågtemperaturen processsystem vid -200 grader, men förhindrar också läckage av farliga medier till atmosfären. Vanligtvis används för mycket farliga elektroniska specialgaser, såsom silangfyllningssystem.

Shenzhen Wofei Technology Co., Ltd, med över 10 års erfarenhet inom leverans av industriella och specialgaser, material, gasförsyningsystem och gasingenjörskonst för halvledar-, LED-, DRAM- och TFT-LCD-marknader, kan vi erbjuda er de nödvändiga materialen för att få era produkter till främsta delen av branschen. Vi kan inte bara leverera en bred vifte av ventilering och anslutningar för elektroniska specialgaser inom halvledarindustrin, utan vi kan också designa gasledningsinstallationer och utrustningsmonteringar för våra kunder. Om du har några behov på detta område, kontakta oss på 27919860.