Özel gaz kuyruk gazı tedavi gazının uygulanması!

Kuyruk gazı tedavi ekipmanı, semiconductor, sıvı kristal ve güneş enerjisi endüstrilerinde kullanılan kazıma süreçleri ve kimyasal buhar birleştirme süreçlerindeki gazları işleyebilir, bunlar arasında SiH4, SiH2Cl2, PH3, B2H6, TEOS, H2, CO, NF3, SF6, C2F6, WF6, NH3, N2O ve benzeri bulunur.

Atık gaz tedavi yöntemi

Atık gaz tedavisinin özellikleri gereği, tedavi dört farklı türde gruplandırılabilir:

1. Suyla yıkama türü (korozyonlu gazların tedavisini içerir)

2. Oksidasyon türü (yanıcı ve zehirli gazlarla başa çıkılır)

3. Adsorpsiyon (adsorpsiyon malzemesine göre uygun atık gazlarla ilgilenir).

4. Plazma yakıt türü (tüm türlerdeki atık gazların tedavisini yapar).

Her tür tedavi kendi avantajları, dezavantajları ve uygulama alanlarına sahiptir. Tedavi yöntemi suyla yıkama olduğunda, ekipman ucuz ve basittir ve yalnızca suya çözünen gazları işleyebilir; elektrikli su yıkanma tipinin uygulama alanı su yıkanma tipinden daha yüksektir ancak işletme maliyeti yüksektir; kurutma tipi iyi bir tedavi verimliliğine sahiptir ve tıkanma veya akışa maruz kalan gaz akışlarına uygulanamaz.

Yarıiletken endüstrisinde yaygın olarak kullanılan kimyasallar ve yan ürünleri, kimyasal özelliklerine ve farklı aralıklarına göre sınıflandırılabilir:

1. SiH4H2 gibi yanıcı gazlar.

2. AsH3, PH3 gibi zehirli gazlar.

3. HF, HCl gibi korozyonlu gazlar.

4. CF4, NF3 gibi sera gazları.

Yukarıdaki dört gaz, çevreye veya insan vucudu için zararlı olduğundan, doğrudan atmosfere salınmasını önlemek gerekir. Bu nedenle, genellikle yarıiletken fabrikalarında büyük merkezi bir atık gaz temizleme sistemi kurulur ancak bu sistem sadece su ile temizleme yöntemini kullanır ve uygulaması uzun mesafeli suya çözünen gazlara sınırlıdır. Yarıiletken süreçlerindeki sürekli değişen ve daha ince bölümler halinde olan atık gazları işlemek için uygun değildir. Bu nedenle, her bir işlemden kaynaklanan gaz özelliklerine göre uygun atık gaz temizleme ekipmanını seçmek ve uyumlu hale getirmek gerekmektedir ki böylece küçük ölçekteki atık gaz sorunlarını çözebilelim. Çalışma alanı genellikle merkezi atık gaz temizleme sisteminden uzaktadır ve genellikle gaz özellikleri nedeniyle borularda kristalleşme veya toz birikimi meydana gelir, bu da boruların tıkanmasına neden olur ve sonucunda gaz sızıntısı ortaya çıkar; ciddi durumlarda hatta patlama riski yaratır ve personelin iş güvenliğini güvence altına alamaz. Bu nedenle, çalışma alanında süreç gazlarının özelliklerine uygun küçük bir atık gaz temizleme cihazı yerleştirilmelidir ki bu da çalışma alanında birikmiş atık gazı azaltır ve personelin güvenliğini sağlar.