Özel gaz kuyruk gazı arıtma gazının uygulanması！ Türkiye

Artık gaz arıtma ekipmanı, SiH4, SiH2Cl2, PH3, B2H6, TEOS, H2, CO, NF3, SF6, C2F6, WF6 dahil olmak üzere yarı iletken, sıvı kristal ve güneş enerjisi endüstrilerindeki aşındırma işlemlerinde ve kimyasal buhar biriktirme işlemlerinde kullanılan gazları işleyebilir , NH3, N2O vb.

Egzoz gazı arıtma yöntemi

Egzoz gazı arıtımının özelliklerine göre arıtma dört tip arıtmaya ayrılabilir:

1. Suyla yıkama tipi (aşındırıcı gazların arıtılması)

2. Oksitleyici tip (yanıcı ve zehirli gazlarla ilgili)

3. Adsorpsiyon (ilgili egzoz gazıyla başa çıkmak için adsorpsiyon malzemesinin türüne göre).

4.Plazma yanmalı tip (her türlü egzoz gazı arıtılabilir).

Her tedavi türünün kendine göre avantaj ve dezavantajları olduğu gibi uygulama kapsamı da vardır. Arıtma yöntemi suyla yıkama olduğunda, ekipman ucuz ve basittir ve yalnızca suda çözünebilen gazları işleyebilir; elektrikli sulu yıkama tipinin uygulama aralığı sulu yıkama tipine göre daha yüksektir ancak işletme maliyeti yüksektir; kuru tip iyi bir arıtma verimliliğine sahiptir ve tıkanması veya akması kolay olan gaz akışına uygulanamaz.

Yarı iletken endüstrisinde yaygın olarak kullanılan kimyasallar ve bunların yan ürünleri, kimyasal özelliklerine ve farklı aralıklarına göre sınıflandırılabilir:

1. SiH4H2 vb. gibi yanıcı gazlar.

2. AsH3, PH3 vb. gibi zehirli gazlar.

3. HF, HCl vb. gibi aşındırıcı gazlar.

4. CF4, NF3 vb. sera gazları.

Yukarıdaki dört gaz çevreye veya insan vücuduna zararlı olduğundan, atmosfere doğrudan emisyonunu önlemelidir, bu nedenle genel yarı iletken tesisi büyük bir merkezi egzoz gazı arıtma sistemi ile kurulur, ancak bu sistem yalnızca su temizleme egzozudur, bu nedenle uygulama, uzun mesafeli suda çözünebilen gazlarla sınırlıdır ve yarı iletken proses egzoz gazının sürekli değişen ve incelikli bölünmesiyle baş edemez. Bu nedenle, egzoz gazı problemini küçük bir şekilde çözmek için, her prosesten elde edilen gaz özelliklerine göre ilgili egzoz gazı arıtma ekipmanının seçilmesi ve eşleştirilmesi gerekmektedir. Çalışma alanı çoğunlukla merkezi egzoz gazı arıtma sisteminden uzakta olduğundan, genellikle gaz özellikleri nedeniyle boru hattında kristalleşmeye veya toz birikmesine yol açarak boru hattının tıkanmasına ve gaz sızıntısına ve hatta ciddi durumlarda patlamaya neden olabilir. , site personelinin iş güvenliğini sağlayamaz. Bu nedenle, çalışma alanındaki durgun egzoz gazını azaltmak ve personelin güvenliğini sağlamak amacıyla, çalışma alanında proses gazının özelliklerine uygun küçük bir egzoz gazı arıtma ekipmanının yapılandırılması gerekir.