Toplu Gaz Teslimat Sistemi

Toplu gaz teslimat sistemi, gazların depolanması, taşınması ve kullanılması için tasarlanmış bir uzman sistemdir. Ana olarak bir gaz tedarik sistemi ve bir boru hatları sisteminden oluşur. Gaz tedarik sistemi, gaz kalitesi ve istikrarını sağlamak amacıyla gaz kaynakları, temizleme sistemleri ve kalite izleme mekanizmaları gibi bileşenlerden oluşur. Aynı zamanda, teslimat boru hattı, gaz taşıma sırasında akış hızı ve basınç değişikliklerini kontrol etmek üzere özel gerekliliklere göre tasarlanır ve böylece güvenli ve verimli bir teslimat sağlanır.

Bu sistem, özellikle yüksek gaz talebi olan endüstrilerde olduğu gibi çeşitli alanlarda yaygın olarak kullanılmaktadır. Ultra büyük ölçekli entegre devreler için büyük çapta üretim tesislerinde, bulk gaz teslimat sistemi SiH4, N2O ve C2F6 gibi çeşitli özel gazları stabil bir şekilde sağlar ve sert süreç gereksinimlerini karşılar. Ayrıca, güneş enerjisi hücreleri üretim hatlarında, LED epitaksial büyüme süreçlerinde, LCD ekran üretimi, optik lif ve silikon malzeme epitaksial üretim hatlarında da önemli bir rol oynar.

Bu uygulamalarda, bulk gaz teslimat sistemi hem üretim verimliliğini artırır hem de maliyetleri düşürürken, istikrarlılık ve güvenliği garanti altına alır. Ayrıca, gaz saflığına ilişkin sert gereksinimlere uygun olarak ürün kalitesini ve üretim güvenliğini sağlar.

Mikroelektronik endüstrisinin sürekli gelişmesiyle birlikte, ultra-temiz gazlar için olan talep artıyor ve bu da toplu gaz teslimat sisteminin temizliği ve kararlılığı için daha yüksek gereksinimlere neden oluyor. Bu nedenle, bu sistemin araştırılması ve geliştirilmesi, değişen pazar gereksinimlerini karşılamak için sürekli ilerliyor ve geliştirmektedir.

Genel olarak, verimli, kararlı ve güvenli özelliklerine sahip olan toplu gaz teslimat sistemi, sanayi üretimi, enerji geliştirmede, bilimsel araştırmada ve diğer alanlarda giderek daha önemli bir rol oynamaktadır.

Şu anda, toplu gaz teslimat sistemlerinin uygulama örnekleri ile ilgili bazı özel örnekler aşağıda verilmiştir:

1. Çimento Fabrikasında Pneumatik Gönderme Dönen Aş: Bir çimento fabrikası, geri dönüşüm küle taşınmasını, bir pneumatik pompa ve taşıma hattı aracılığıyla belirlenmiş bir çimento geri dönüşüm külü alım kasasına taşımak için sıkıştırılmış gazı güç kaynağı olarak kullanan yoğun fazlı pneumatik taşıma sistemini benimsemiştir. Bu sistem, küle tamamen kapalı hatlar içinde taşıyarak, toz salınımı veya sızıntı noktaları olmadan güvenli ve temiz bir üretim ortamı sağlar. Aynı zamanda, sistem PLC otomatik programlama ve mikrobilgisayar kontrol sistemi aracılığıyla tamamen otomatik işlem ve kontrol gerçekleştirebilmesiyle üretim verimliliğini ve güvenliği büyük ölçüde artırır.

2. Yarıiletken Üretimi: Yarı iletken üretim süreçlerinde, gaz saflığı ve tedarik kararlılığı için aşırı derecede yüksek gereksinimler vardır. Bu nedenle, birçok yarı iletken üreticisi azot, oksijen ve hidrojen gibi ince toplu gazları sağlamak için toplu gaz teslimat sistemleri kullanır. Bu sistemler, gaz saflığını ve kararlılığı sağlamak için ultra-yüksek basınçlı gaz taşıma teknolojisi kullanır, böylece çip üretiminin kalitesi ve bütünlüğü garanti altına alınır.

3. Tıp Aletleri Eklenti Üretimi: Eklenti üretim (AM), tıp aletleri üretiminde artan şekilde kullanılmaktadır. PBF süreçlerinde, doğru miktarda ultra-yüksek basınçlı azot veya argonun kullanımı yapısal bütünlüğü geliştirebilir. Bu nedenle, toplu gaz teslimat sistemleri aynı zamanda tıp aletleri eklenti üretimine yüksek kaliteli gaz tedariki sağlamak için de kullanılır, bu da üretilen tıp aletlerinin kalitesini ve performansını garanti altına alır.

Bu uygulama durumları, çeşitli alanlardaki toplu gaz teslimat sistemi uygulamalarının küçük bir parçasıdır. Aslında, uygulama alanı çok daha genişdir. Teknolojinin ilerlemesi ve endüstrinin gelişimiyle birlikte, toplu gaz teslimat sistemi daha fazla endüstride verimli ve kararlı gaz tedarik çözümleri sunmaya devam edecektir.