Yarıiletken üretime kullanılan gazlar için sistem tasarımı

Yarı iletken piyasasının büyümesiyle birlikte, saflık ve doğruluk için standartlar daha sıkı hale gelmektedir. Yarı iletken üretilimindeki kalitenin belirlenici faktörlerinden biri, süreçte kullanılan gazlardır. Bu gazlar, üretim sürecinde birçok rol oynar, şunları içerir:

Hassas Süreç Kontrolü

Kirlenmenin önlenmesi

Metalürjik özellik geliştirmesi

Bu rolleri etkili bir şekilde yerine getirmeleri için, gaz tedarik ve dağıtım sistemi verimli olmalıdır. Yarı iletken üretimi için kullanılan gaz işleme sistemlerinin tasarımı, güvenilir ve yüksek kaliteli yarı iletken üretimini sağlamak amacıyla dayanıklı bileşenler ve özel montajlarla desteklenmelidir.

Yarı iletken üretimi için kullanılan gazu

Yarı iletkenlerin üretilmesi süreci, sürecin farklı aşamalarında farklı gazların kullanılmasını gerektirir.

Azot, hidrojen, argon ve helyum gibi yaygın gazların saf şekilleri kullanılabilirken, belirli süreçler özel karışım gerekebilir. Silanlar veya siloksanlar, heksafluoritler, halitler ve karbonhidratlar, yarıiletken üretimi için kullanılan bazı özel gazlardır. Bu gazların çoğu tehlikeli veya yüksek derecede reaktif olabilir, bu da gaz sistemleri için kullanılacak bileşenlerin seçilimi ve tasarlanması konusunda zorluklar yaratabilir.

Bazı örnekler şunlardır:

Hidrojen ve helyum, küçük atomik boyut ve ağırlıkları nedeniyle boru ve uyum sistemi üzerinden kolayca sızabilir.

Silanlar, havada otomatik olarak yanmaya (oto-yakıma) başlayabilecek kadar yüksek derecede yanıcıdır.

Çevreye sızdığı zaman güçlü bir sera gazı haline gelen azot difluorit, katmanlama, aşındırma ve odacık temizleme aşamalarında kullanılır.

Etçilik gazı olarak kullanılan hidrojen florür (HF), metal borulara karşı son derece korozyondur.

Galyum trimetil ve amonyak, sıcaklık ve basınç gereksinimlerinde küçük dalgalanmalara rağmen işlem sırasında sorun yaratabilir.

Bu gazların olumsuz etkilerini minimize etmek için süreç koşullarını kontrol etmek, sistem tasarımı sırasında en öncelikli hedef olmalıdır. Yapılandırma sürecinde AFK membran vanalar gibi en yüksek kalitedeki bileşenleri kullanmak da eşit derecede önem taşır.

Sistem Tasarımı Zorluklarına Çözüm Arama

Yarıiletken sınıfı gazlar, genellikle yüksek safiyedeler ve farklı üretim aşamalarında, örneğin erozyon ve birleştirme gazları gibi, pasif koşullar sağlar veya reaksiyonları artırır. Bu tür gazların sızması veya kirlenmesi olumsuz etkilere yol açabilir. Bu nedenle, kullanılan sistem bileşenlerinin hermetik olarak kapalı olması, korozyona karşı dayanıklı olması ve kirlenmenin mümkün olmadığından emin olmak için滑 smooth yüzey bitimi (elektrolitik pürüzlendirme) bulunması kritik importance'dir; bu sayede çok yüksek bir temizlik seviyesinin korunabilmesi sağlanır.

Ayrıca, bu gazların bazıları istenen süreç koşullarını elde etmek için ısıtılabilir veya soğutulabilir. İyi yalıtılmış bileşenler, son ürünün verimli performansı için kritik olan sıcaklık kontrolünü sağlar.

Kaynak girişi kullanıma kadar olan nokta, AFK'nin geniş bileşen yelpazesinin semi-iletiyör temiz odaları ve vakum odalarında gereken ultra-yüksek saflik, sıcaklık, basınç ve akış kontrolünü desteklediği yerdir.

Semi-iletiyör Fab'lerde Kaliteli Bileşenlerle Tasarlanmış Sistemler

Kaliteli bileşenlerin ve tasarım optimizasyonunun rolü, semi-iletiyörlerin hassas kontrole tabi üretiminde ve güvenli üretilmesinde kritiktir. Kullanılan bileşenler, imalatın farklı aşamalarında gereken değişken süreç koşullarına uyabilmek için dayanıklı ve sızıntısız olmalıdır. AFK'nin yüksek kaliteli vanaları, uyarlama aletleri, düzenleyicileri, boruları ve sigorta parçaları şu özelliklerle karakterize edilir:

Ultra yüksek saflık

Sızıntıya maruz kalmayan mühafazalar

Sıcaklık denetimli yalıtım

Basınç kontrolü

Korozyon Direnci

Elektrolitik pürüzsüzleştirme tedavisi