Gaz dağıtım sistemlerinin semi-bilgisayar sanayisindeki imalatta oynadığı kritik rol!

Yarı iletken üretiminde, gazlar tüm işi yapar ve lazerler ise tüm ilgiyi çeker. Lazerler gerçekten silikon üzerine transistör desenlerini oyarken, önce silikonu yerleştiren ve devreleri tamamlamak için laseri parçalayan süreç bir dizi gaza aittir. Bu gazların, mikroişlemcilerin çok aşamalı bir süreçle geliştirilmesinde kullanıldığından, yüksek safiyettedeler. Bu sınırlama ile birlikte, bunların çoğu başka endişeler ve sınırlamalar taşır. Bazı gazlar kriyogendir, bazıları korozyondur ve diğerleri ise şiddetle zehirlidir.

Genel olarak, bu sınırlamalar, semi-ileter sanayi için gaz dağıtım sistemleri üretmeyi önemli ölçüde bir zorluğa dönüştürür. Malzeme belirtimleri zordur. Malzeme belirtimlerine ek olarak, bir gaz dağıtım dizisi, birbirine bağlı sistemlerin karmaşık bir elektromekanik dizisidir. Montaj olduğu ortamlar karmaşık ve örtüşmüştür. Son fabricasyon, kurulum sürecinin bir parçası olarak yerinde gerçekleştirilir. Yörünge kaydı, yüksek belirtimli gaz dağıtım gereksinimlerini karşılamaya yardımcı olurken, dar ve zorlu ortamlardaki fabricasyonu daha yönetilebilir hale getirir.

Gazlar semi-ileter sanayisinde nasıl kullanılır

Bir gaz dağıtım sisteminin üretimini planlamaya kalkışmadan önce, en azından yarıiletken üretimine ait temel bilgileri anlamak gerekir. Temel olarak, yarıiletkenler, bir yüzeye kontrollü bir şekilde neredeyse saf katı maddeleri yerleştirmek için gazları kullanır. Bu şekilde yerleştirilen katı maddeler, ekstra gazlar, lazerler, kimyasal aşındırıcılar ve ısı ile değiştirilir. Geniş süreçteki adımlar şunlardır:

Yerleştirme: Bu, ilk silikon kalıbını oluşturma sürecidir. Silikon öncülleri gazları vakum yerleştirme odasına pompalanır ve kimyasal veya fiziksel etkileşimler yoluyla ince silikon kalıpları oluşur.

Fotosu: Foto bölümü lazerlere atıfta bulunur. En yüksek belirtimli çipleri yapmak için kullanılan daha yüksek uzak ultravijole litografi (EUV) spektrumu içinde, karbon dioksit lazeri mikroişlemci devresini kalıba kazımak için kullanılır.

Oyalama: Oyalama süreci sırasında, halojen-karbon gazı odaya pompalanır ve bu gaz, silikon alt tabakadaki seçili maddeleri etkinleştirmek ve eritmek için kullanılır. Bu süreç, lazer basılmış devreleri alt tabakaya etkili bir şekilde oyalar.

Doping: Bu, oyalanmış yüzeyin iletkenliğini değiştiren ek bir adımdır ve bu adımlar semi-hafifletici madde ne zaman iletken olacağını belirlemek için tam koşulları belirler.

Isıtmalama: Bu süreçte, katmanlar arasındaki tepkimeler artırdığımız basınç ve sıcaklıkla tetiklenir. Temel olarak, bu süreç önceki sürecin sonuçlarını tamamlar ve waferdeki son işlemcüyü oluşturur.

Odun ve Hat Temizliği: Önceki adımlarda kullanılan gazlar, özellikle oyulma ve dopping işlemlerindeki, genellikle çok zararlı ve reaktifdir. Bu nedenle, işlem odası ve bu odaya besleyen gaz hatları, zararlı tepkimeleri azaltmak veya ortadan kaldırmak için nötrleştirme gazlarıyla doldurulmalıdır ve ardından dış çevreden herhangi bir kirlilik gazının girmesini önlemek için pasif gazlarla doldurulmalıdır.

Yarı iletken endüstrisindeki gaz dağıtım sistemleri, zaman içinde korunması gereken farklı gazların çokluğu ve gaz akışını, sıcaklığı ve basıncını sıkı bir şekilde kontrol etme nedeniyle genellikle karmaşıktır. Bu, sürecin prosesindeki her bir gaz için gerekli olan ultra-yüksek safiyet nedeniyle daha da karmaşık hale gelir. Prosedürün bir sonraki adımına başlamadan önce, önceki adımda kullanılan gazlar satırlardan ve odalardan temizlenmesi veya aksi haldeutralize edilmesi gerekir. Bu da, özel birçok hat, kaynaklı boru sistemleri ve şanzöpler arasındaki arayüzler, şanzöpler ve tüpler arasındaki arayüzler, gaz düzenleyicileri ve sensörleri, ayrıca önceki tüm bileşenlerle değerler ve mühendislik sistemleri arasında arayüzler anlamına gelir. Bunların hepsi, doğalgaz tedarik hattının yer değiştirilmesini önlemek amacıyla tasarlanmış kaplama sistemleri ve vanolar içermektedir.

Ek olarak, temiz odamın dışarı ve özel gaz sistemleri, kazara yangın gibi bir olayda olası tehlikeleri azaltmak için temiz ortamlar ve özel kapalı alanlarda toplu gaz tedarik sistemleriyle donatılacaktır. Böyle karmaşık bir ortamda bu gaz sistemlerini birleştirmek kolay bir iş değildir. Ancak, dikkat, ayrıntıya bakış ve doğru ekipmanlar ile bu görev başarıyla yerine getirilebilir.

Yarıiletken endüstrisinde gaz dağıtım sistemleri üretimi

Yarı iletken gaz dağıtım sistemlerinde kullanılan malzemeler oldukça değişken olabilir. Bu, yüksek olarak koroziv gazlara karşı direnç gösteren PTFE kaplı metal borular ve hösler gibi şeyler içerebilir. Yarı iletken endüstrisinde genel amaçlı borularda kullanılan en yaygın malzeme, düşük karbonlu birstainless çelik çeşidi olan 316L stainless çeliğidir. 316L ile 316 konusuna gelince, 316L granüler korozoya daha fazla direnç göstermektedir. Bu, karbonu koruyabilecek çok reaktif ve potansiyel olarak volatil gazlarla uğraşırken önemli bir husustur. 316L stainless çeliğini kaydetmek daha az karbon kristalize etmesine neden olur. Ayrıca, bu, kaynak ve ısı etkili bölgelerindeki pitting korozisiye neden olan gran sınır erozyonunun olasılığını da azaltır.

Ürün hattı çöküntüsü ve kirliliğine yol açabilecek boru hatları kurşunlanmasına olan olasılığı azaltmak için, 316L stainless çelik, saf argon koruyucu gazı ve tungsten gaz korumalı kaynar demirle birlikte kullanılır ve bu, semi-iletil sanayisindeki standarttır. İşlem boru hattında yüksek saflik ortamını korumak için gereken kontrolü sağlayan tek kaynaklı süreç budur. Otomatik yörünge kaynaklaması, semi-iletil gaz dağıtım sistemlerinin yapımında kaynağı tamamlamak için gereken tekrarlanabilir süreç kontrolünü yalnızca sağlar. Kapatılmış yörünge kaynağı başlarının, işlem alanları arasındaki karmaşık kesişimlerde kalabalık ve zorlu mekânlara sığabilmesi, sürecinin önemli bir avantajıdır.

Shenzhen Wofei Technology Co., Ltd, semi havalandırma, LED, DRAM ve TFT-LCD pazarları için endüstriyel ve özel gazlar, malzemeler, gaz tedarik sistemleri ve gaz mühendisliği konusunda 10 yıldan fazla deneyime sahiptir. Ürünlerinizin endüstrinin ön sıralarına çıkabilmesi için gerekli olan malzemeleri sağlayabiliriz. Sadece yarıiletken elektronik özel gazları için çeşitli türdeki valfler ve uyum parçaları sunabiliriz, aynı zamanda müşterilerimize gaz boru hattı tasarımı ve ekipman montajı da yapabiliriz.