Giới thiệu kết nối đường ống khí nhà máy bán dẫn

Việc nối máy cho phép máy đạt được chức năng mong muốn bằng cách kết nối để truyền tải tiện ích. Nối máy là kết nối các tiện ích (như nước, điện, khí, hóa chất, v.v.) do nhà máy cung cấp đến máy và các phụ kiện của nó thông qua điểm kết nối tiện ích đã được dự trữ (cổng hoặc đầu cắm) thông qua đường ống cáp.

Các tiện ích này được máy sử dụng để đáp ứng yêu cầu quy trình mà nó được giao. Sau khi máy được sử dụng, nước tái chế hoặc chất thải (như nước thải, khí thải, v.v.) do máy tạo ra được kết nối với điểm tiếp xúc đã được dự trữ của hệ thống thông qua đường ống, sau đó được truyền đến hệ thống thu hồi của nhà máy hoặc hệ thống xử lý khí thải. Dự án nối máy chủ yếu bao gồm: CAD, di dời, khoan lõi, chống rung, chân không, khí, hóa chất D.I, PCW, CW, nhanh, điện, thoát nước

GAS HOOK-UP Hiểu biết cơ bản về kiến thức chuyên môn

Trong các nhà máy bán dẫn, việc nối đường ống khí được gọi là "sp1hook up" về mặt khí buckgas (các loại khí thông thường như CDA, GN2, pN2, PO2, Phe, par, H2, v.v.), và điểm rẽ từ điểm xuất của bồn chứa khí nguồn cung cấp khí đến đường ống phụ thông qua đường ống chính được gọi là "sp1hook up", từ điểm rẽ xuất đến điểm vào của máy (công cụ) hoặc thiết bị, được gọi là cấu hình thứ cấp (sp2hook up).

Đối với khí chuyên dụng (khí đặc biệt như ăn mòn, độc hại, dễ cháy, khí làm nóng, v.v.), nguồn cung cấp khí của nó là gascabinet. Từ điểm xuất của g/c đến điểm vào sơ cấp của VMB (hộp van chính) hoặc VMP (bảng van chính) được gọi là sp1hook up, và từ điểm xuất thứ cấp của VMB hoặc VMP gắn vào điểm vào của máy được gọi là sp2 hook.