Yêu cầu hệ thống đối với quy trình chuẩn bị khí đặc biệt điện tử! Việt Nam

Quy trình sản xuất khí đặc biệt điện tử bao gồm một số quy trình như tổng hợp, tinh chế, làm đầy, phân tích và thử nghiệm, trộn và cân đối. Để đáp ứng các yêu cầu sản xuất chất bán dẫn hạ nguồn về hàm lượng tinh khiết và tạp chất, quá trình tinh chế là rất quan trọng. Tùy thuộc vào thành phần của khí tổng hợp ngược dòng hoặc khí thô, quá trình chưng cất ở nhiệt độ thấp hoặc tinh chế nhiều giai đoạn được thực hiện.

Yêu cầu độ sạch cao

Quá trình chuẩn bị khí đặc biệt điện tử có thể được chia thành hai khối chính là chuẩn bị và tinh chế tổng hợp ngược dòng, thuộc quy trình sản xuất hóa chất. Kích thước của đường ống sản xuất lớn và không có yêu cầu về mức độ sạch đặc biệt. Sau khi tinh chế ở hạ lưu, sản phẩm được nạp khí và trộn để chuẩn bị. Đường ống sản xuất nhỏ và có yêu cầu về mức độ sạch sẽ. Nó cần phải đáp ứng các đặc điểm kỹ thuật tiêu chuẩn của quy trình sản xuất chất bán dẫn.

Yêu cầu niêm phong cao

Do hoạt động hóa học của chúng, các loại khí điện tử đặc biệt cũng đặt ra yêu cầu cao về vật liệu và độ kín của hệ thống quy trình sản xuất. Giống như các yêu cầu của sản xuất chất bán dẫn, nó ngăn ngừa rò rỉ giao diện do đưa tạp chất vào hoặc ăn mòn các loại khí đặc biệt. Hệ thống này cũng có thể được sử dụng để ngăn chặn sự xâm nhập của tạp chất hoặc rò rỉ bề mặt do ăn mòn các khí đặc biệt.

Yêu cầu ổn định chất lượng cao

Chất lượng của khí đặc biệt điện tử bao gồm một số chỉ số như độ tinh khiết và hàm lượng hạt tạp chất. Bất kỳ sự thay đổi nào về các chỉ số sẽ ảnh hưởng đến kết quả của quá trình sản xuất chất bán dẫn ở hạ nguồn. Vì vậy, để đảm bảo tính nhất quán của các chỉ số sản phẩm khí đặc biệt điện tử, hệ thống quy trình chuẩn bị để kiểm soát độ ổn định của các chỉ số cũng rất quan trọng.

Ứng dụng hệ thống xử lý chuẩn bị khí đặc biệt

Do hoạt động hóa học và yêu cầu về chất lượng của EGP, hệ thống sản xuất để chuẩn bị EGP, đặc biệt là hệ thống tinh chế ở hạ lưu, phải đáp ứng các yêu cầu về vật liệu có độ tinh khiết cao, độ kín cao, độ sạch cao và tính nhất quán chất lượng cao, đồng thời việc xây dựng các bộ phận được thiết kế phải đáp ứng các tiêu chuẩn của ngành sản xuất chất bán dẫn.

Những gì chúng ta thường gọi là "độ tinh khiết cao" về mặt lý thuyết là định nghĩa về độ tinh khiết của một chất, chẳng hạn như khí có độ tinh khiết cao, hóa chất có độ tinh khiết cao, v.v. Các hệ thống xử lý hoặc các thành phần của hệ thống xử lý được áp dụng cho các chất có độ tinh khiết cao cũng được đề cập đến đến độ tinh khiết cao, chẳng hạn như hệ thống có độ tinh khiết cao và van có độ tinh khiết cao. Hệ thống chuẩn bị khí đặc biệt bằng điện tử yêu cầu các phụ kiện ứng dụng có độ tinh khiết cao, van và các thành phần chất lỏng khác, tức là các phụ kiện và van được xử lý bằng vật liệu có độ tinh khiết cao và quy trình sản xuất sạch, đồng thời được cấu trúc để dễ dàng tẩy rửa và làm sạch. Với hiệu suất bịt kín cao. Các thành phần chất lỏng này được thiết kế để đáp ứng đường dẫn quy trình của ứng dụng, sử dụng các yêu cầu kỹ thuật và xây dựng của ngành bán dẫn.

Kết nối đường ống có độ tinh khiết cao

Các kết nối bịt kín mặt gioăng kim loại VCR và các kết nối hàn đối đầu dẫn hướng tự động được sử dụng rộng rãi trong các yêu cầu về quy trình làm sạch hệ thống chất lỏng đòi hỏi khắt khe nhờ khả năng đáp ứng cả sự chuyển tiếp trơn tru của đường dẫn dòng chảy tại kết nối, không có vùng trì trệ và hiệu suất bịt kín cao.Kết nối VCR tạo thành một lớp bịt kín bề mặt hẹp bằng cách đùn một miếng đệm kim loại tương đối mềm. Hiệu suất kết nối và bịt kín có thể lặp lại và nhất quán được đảm bảo mỗi khi tháo và thay thế miếng đệm bị biến dạng.

Ống được hàn bằng hệ thống hàn quỹ đạo tự động. Ống được bảo vệ bằng khí có độ tinh khiết cao từ trong ra ngoài. Điện cực vonfram quay dọc theo quỹ đạo để hàn chất lượng cao. Hàn quỹ đạo hoàn toàn tự động làm nóng chảy đường ống mà không đưa vào các vật liệu khác, việc đạt được mối hàn chất lượng cao bằng cách điều khiển liên tục đường ống có thành mỏng là điều khó đạt được khi hàn thủ công.

Kết nối con dấu mặt đệm kim loại VCR

Kết nối hàn mông quỹ đạo tự động của ống

Van có độ tinh khiết cao

Hoạt động hóa học của các loại khí đặc biệt điện tử dễ cháy, nổ, ăn mòn và độc hại đặt ra yêu cầu cao về việc bịt kín van. Để cải thiện độ tin cậy bịt kín, yêu cầu van không đóng gói để ngăn chặn rò rỉ bên ngoài, nghĩa là chuyển đổi hoạt động của thân van và thân van giữa phốt bằng ống thổi kim loại hoặc màng ngăn kim loại, để loại bỏ rò rỉ do mài mòn và biến dạng con dấu đóng gói. Van bịt kín bằng ống thổi và van bịt kín bằng màng ngăn thường được sử dụng trong các hệ thống xử lý cho các ứng dụng có độ tinh khiết cao do độ tin cậy cao hơn của vòng đệm và việc làm sạch và thay thế thanh lọc bên trong van dễ dàng hơn.

Van ống thổi kín là một cấu trúc van kim không đóng gói cho phép mở và điều chỉnh dòng chảy chậm. Được sử dụng để nạp khí đặc biệt điện tử với yêu cầu về dòng chảy an toàn hoặc trên các chai nguồn tiền thân có yêu cầu an toàn cao. Các vòng đệm đầu thân hoàn toàn bằng kim loại cho phép nhiệt độ vận hành cực thấp và được sử dụng để hóa lỏng đông lạnh các loại khí điện tử đặc biệt trong bể chứa thành phẩm sau khi chưng cất đông lạnh cho đường ống.

Van màng ngăn không lò xo là loại van đóng mở nhanh 1/4" để sử dụng làm van chuyển mạch được điều khiển tự động trong đường ống phân phối. Chúng thường được sử dụng trong các ứng dụng có áp suất cực cao, độ tinh khiết cao do đường dẫn dòng chảy bên trong đơn giản, nhỏ khối lượng bên trong, và dễ dàng thanh lọc và thay thế.

Van màng kín đóng qua đầu thân có thể mở chậm và được sử dụng ở áp suất vận hành cao hơn van màng kín không lò xo. Chúng được sử dụng rộng rãi trên các chai nạp khí đặc biệt điện tử áp suất cao hoặc các chai nguồn tiền chất.

Van ống thổi bịt thứ cấp không chỉ có thể được sử dụng trong các hệ thống xử lý nhiệt độ cực thấp ở -200 độ mà còn ngăn chặn sự rò rỉ của môi trường nguy hiểm vào khí quyển. Thường được sử dụng cho các loại khí đặc biệt điện tử rất nguy hiểm, chẳng hạn như hệ thống nạp silane.

Công ty TNHH Công nghệ Wofei Thâm Quyến, với hơn 10 năm kinh nghiệm trong việc cung cấp khí công nghiệp và đặc biệt, vật liệu, hệ thống cung cấp khí đốt và kỹ thuật khí cho thị trường bán dẫn, LED, DRAM, TFT-LCD, chúng tôi có thể cung cấp cho bạn những nguyên liệu cần thiết để đẩy sản phẩm của bạn lên vị trí dẫn đầu trong ngành. Chúng tôi không chỉ có thể cung cấp nhiều loại van và phụ kiện cho khí đặc biệt điện tử bán dẫn mà còn có thể thiết kế đường ống dẫn khí và lắp đặt thiết bị cho khách hàng của mình. Nếu bạn có nhu cầu về lĩnh vực này vui lòng liên hệ với chúng tôi theo số 27919860.