Yêu cầu hệ thống cho quy trình chuẩn bị khí điện tử đặc biệt!

Quy trình sản xuất khí điện tử chuyên dụng bao gồm nhiều quy trình như tổng hợp, tinh chế, đóng chai, phân tích và kiểm tra, trộn và pha trộn. Để đáp ứng yêu cầu về độ tinh khiết và hàm lượng tạp chất trong sản xuất bán dẫn hạ nguồn, quá trình tinh chế rất quan trọng. Tùy thuộc vào thành phần của khí tổng hợp hoặc khí thô từ thượng nguồn, sẽ thực hiện chưng cất nhiệt độ thấp hoặc tinh chế nhiều giai đoạn.

Yêu cầu độ sạch cao

Quy trình chuẩn bị khí đặc biệt điện tử có thể được chia thành hai phần lớn là tổng hợp và tinh chế ở thượng nguồn, thuộc về quy trình sản xuất hóa học. Kích thước của đường ống sản xuất lớn và không có yêu cầu mức độ sạch đặc biệt. Sau khi tinh chế ở hạ nguồn, sản phẩm được nạp khí và trộn để chuẩn bị. Đường ống sản xuất nhỏ và có yêu cầu về mức độ sạch. Nó cần phải đáp ứng tiêu chuẩn qui phạm của quá trình sản xuất bán dẫn.

Yêu cầu niêm phong cao

Do đặc tính hóa học, các khí điện tử chuyên dụng cũng đặt ra yêu cầu cao đối với vật liệu và niêm phong của hệ thống quy trình sản xuất. Giống như yêu cầu trong việc sản xuất bán dẫn, nó ngăn ngừa rò rỉ tại giao diện do sự xâm nhập của tạp chất hoặc sự ăn mòn của khí đặc biệt. Hệ thống này cũng có thể được sử dụng để ngăn chặn sự xâm nhập của tạp chất hoặc rò rỉ giao diện do sự ăn mòn của khí đặc biệt.

Yêu cầu độ ổn định chất lượng cao

Chất lượng của khí điện tử chuyên dụng bao gồm nhiều chỉ số như độ tinh khiết và hàm lượng hạt tạp chất. Bất kỳ sự thay đổi nào trong các chỉ số này đều sẽ ảnh hưởng đến kết quả của quá trình sản xuất bán dẫn ở hạ nguồn. Do đó, để đảm bảo tính nhất quán của các chỉ số sản phẩm khí điện tử chuyên dụng, hệ thống quy trình chuẩn bị để kiểm soát sự ổn định của các chỉ số cũng rất quan trọng.

Ứng dụng của hệ thống quy trình chuẩn bị khí chuyên dụng

Do yêu cầu về hoạt động hóa học và chất lượng của EGP, hệ thống sản xuất để chuẩn bị EGP, đặc biệt là hệ thống tinh chế phía downstream, phải đáp ứng các yêu cầu về vật liệu độ tinh khiết cao, độ kín cao, độ sạch cao và tính nhất quán chất lượng cao, và việc xây dựng các thành phần kỹ thuật phải đáp ứng tiêu chuẩn của ngành sản xuất bán dẫn.

Điều chúng ta thường gọi là "độ tinh khiết cao" về lý thuyết là định nghĩa về độ tinh khiết của một chất, chẳng hạn như khí tinh khiết cao, hóa chất tinh khiết cao, v.v. Các hệ thống quy trình hoặc các thành phần của hệ thống quy trình được áp dụng cho các chất có độ tinh khiết cao cũng được gọi là tinh khiết cao, chẳng hạn như hệ thống tinh khiết cao và van tinh khiết cao. Hệ thống chuẩn bị khí chuyên dụng điện tử yêu cầu các phụ kiện và van ứng dụng tinh khiết cao, cũng như các thành phần lỏng khác, tức là các phụ kiện và van được xử lý từ vật liệu tinh khiết cao và quy trình sản xuất sạch, và được thiết kế để dễ dàng làm sạch và rửa. Với hiệu suất niêm phong cao. Những thành phần này được thiết kế để đáp ứng đường dẫn quy trình của ứng dụng, sử dụng các yêu cầu kỹ thuật và xây dựng của ngành công nghiệp bán dẫn.

Kết nối Ống dẫn Độ tinh khiết Cao

Các kết nối dạng phớt kim loại VCR với phớt mặt kín và các kết nối hàn mỏng tự động được sử dụng rộng rãi trong các yêu cầu quy trình độ tinh khiết hệ thống chất lỏng khắt khe nhờ khả năng đáp ứng cả sự chuyển tiếp mượt mà của đường dẫn tại điểm kết nối, không có vùng ứ đọng và hiệu suất niêm phong cao. Các kết nối VCR tạo ra một lớp kín bề mặt hẹp bằng cách nén một phớt kim loại mềm hơn. Hiệu suất kết nối và niêm phong nhất quán và lặp lại được đảm bảo mỗi lần phớt bị biến dạng được tháo ra và thay thế.

Các ống được hàn sử dụng hệ thống hàn quỹ đạo tự động. Đường ống được bảo vệ bởi khí tinh khiết cao bên trong và bên ngoài. Electrode vonfram di chuyển dọc theo quỹ đạo để đạt được hàn chất lượng cao. Hàn quỹ đạo tự động hoàn toàn làm tan đường ống mà không đưa thêm bất kỳ vật liệu nào khác, đạt được mối hàn chất lượng cao bằng cách kiểm soát liên tục là điều khó thực hiện với hàn thủ công đối với ống có thành mỏng.

Kết nối Phớt Kim Loại Mặt Kín VCR

Kết nối Hàn Mỏng Quỹ Đạo Tự Động cho Đường Ống

Van Độ Tinh Khiết Cao

Hoạt động hóa học của các khí chuyên dụng điện tử dễ cháy, nổ, ăn mòn và độc hại đặt ra yêu cầu cao đối với việc niêm phong van. Để nâng cao độ tin cậy của việc niêm phong, yêu cầu về van không có vật liệu bịt kín để ngăn rò rỉ từ bên ngoài, tức là hoạt động chuyển đổi giữa trục van và thân van bằng cách sử dụng ống lượn kim loại hoặc màng chắn kim loại, nhằm loại bỏ rò rỉ do mài mòn và biến dạng của vật liệu bịt kín. Các van có ống lượn niêm phong và van có màng chắn niêm phong thường được sử dụng trong các hệ thống quy trình cho ứng dụng độ tinh khiết cao vì độ tin cậy lớn hơn của các seal và khả năng làm sạch cũng như thay thế rửa van dễ dàng hơn.

Van có phớt là một loại van kim không có vật liệu đóng gói, cho phép mở chậm và điều chỉnh dòng chảy. Được sử dụng để nạp khí điện tử chuyên dụng với yêu cầu an toàn dòng chảy hoặc trên chai nguồn tiền chất với yêu cầu an toàn cao. Đầu trục toàn kim loại cho phép vận hành ở nhiệt độ cực thấp và được sử dụng để hóa lỏng cryogenic khí điện tử chuyên dụng trong các bồn chứa sản phẩm sau khi chưng cất cryogenic cho đường ống.

Van phớt màng không lò xo là một van mở nhanh 1/4" dùng làm van chuyển mạch tự động trong đường ống dẫn. Chúng thường được sử dụng trong các ứng dụng áp suất siêu cao, độ tinh khiết cao do đường dẫn nội bộ đơn giản, thể tích nội bộ nhỏ và dễ dàng làm sạch và thay thế.

Các van được niêm phong bằng màng ngăn đóng lại thông qua đầu trục có thể mở chậm và được sử dụng ở áp suất hoạt động cao hơn so với các van được niêm phong bằng màng ngăn không có lò xo. Chúng được sử dụng rộng rãi trong việc nạp khí điện tử chuyên dụng hoặc chai nguồn tiền chất có áp suất cao.

Van niêm phong dạng ống co giãn thứ cấp không chỉ có thể được sử dụng trong các hệ thống quy trình nhiệt độ cực thấp ở -200 độ mà còn ngăn ngừa rò rỉ của các chất truyền tải nguy hiểm ra môi trường xung quanh. Thường được sử dụng cho khí điện tử đặc biệt rất nguy hiểm, chẳng hạn như hệ thống nạp silan.

Công ty Công nghệ Wofei Thâm Quyến, với hơn 10 năm kinh nghiệm trong việc cung cấp khí công nghiệp và đặc biệt, vật liệu, hệ thống cung cấp khí và kỹ thuật khí cho thị trường bán dẫn, LED, DRAM, TFT-LCD, chúng tôi có thể cung cấp cho bạn các vật liệu cần thiết để đưa sản phẩm của bạn lên hàng đầu của ngành. Chúng tôi không chỉ có thể cung cấp nhiều loại van và phụ kiện cho khí điện tử đặc biệt mà còn có thể thiết kế đường ống khí và lắp đặt thiết bị cho khách hàng. Nếu bạn có bất kỳ nhu cầu nào trong lĩnh vực này, vui lòng liên hệ với chúng tôi tại số 27919860.