Bộ điều chỉnh áp suất khí siêu tinh khiết
Sự khác biệt giữa lưu lượng dòng chảy cao và thấp của van điều tiết khí tinh khiết cao:
Các bộ điều chỉnh dòng chảy cao thường được thiết kế để xử lý các lưu lượng khí cao hơn, thông thường tính bằng lít mỗi phút (L/min) hoặc mét khối mỗi giờ (m³/h). Ngược lại, các bộ điều chỉnh dòng chảy thấp thích hợp cho phạm vi dòng khí thấp hơn, thường tính bằng mililit mỗi phút (mL/min) hoặc lít mỗi giờ (L/h).
Thiết kế van điều chỉnh áp suất cho khí siêu tinh khiết:
Thiết kế Van: Các bộ điều chỉnh dòng chảy cao thường sử dụng các van và đường dẫn lớn hơn để xử lý các dòng khí lớn. Những van này có thể yêu cầu các piston lớn hơn, màng chắn, hoặc các phần tử kiểm soát chất lỏng khác để đạt được sự điều chỉnh chính xác về dòng chảy. Mặt khác, các bộ điều chỉnh dòng chảy thấp sử dụng các van và đường dẫn nhỏ hơn để đáp ứng yêu cầu dòng chảy thấp.
Phạm vi áp suất của bộ điều chỉnh áp suất khí siêu tinh khiết:
Các bộ điều chỉnh dòng chảy cao thường có phạm vi áp lực rộng hơn và có thể xử lý áp lực đầu vào cao hơn, đồng thời giảm xuống mức áp lực đầu ra thấp hơn. Các bộ điều chỉnh dòng chảy thấp có thể có phạm vi áp lực tương đối hẹp cho áp lực đầu vào thấp và đạt được một phạm vi áp lực đầu ra nhỏ hơn.
Kích thước bên ngoài của Bộ điều chỉnh áp suất khí siêu tinh khiết:
Do các bộ điều chỉnh dòng chảy cao cần xử lý lưu lượng khí lớn hơn, chúng thường có kích thước bên ngoài lớn hơn và trọng lượng nặng hơn để đáp ứng với động lực học chất lỏng lớn hơn. Ngược lại, các bộ điều chỉnh dòng chảy nhỏ có thể nhỏ gọn và nhẹ hơn cho các ứng dụng bị hạn chế về không gian hoặc di động.
Lĩnh vực ứng dụng của bộ điều chỉnh áp suất khí siêu tinh khiết:
Các bộ điều chỉnh dòng chảy cao thường được sử dụng trong các ứng dụng yêu cầu tốc độ dòng chảy khí cao, chẳng hạn như kiểm soát quy trình công nghiệp và thiết bị phòng thí nghiệm lớn. Các bộ điều chỉnh dòng chảy thấp được sử dụng trong các ứng dụng yêu cầu tốc độ dòng chảy thấp hơn và kiểm soát chính xác hơn, chẳng hạn như máy phân tích phòng thí nghiệm, nghiên cứu khoa học, v.v.
Nguyên lý hoạt động của bộ điều áp khí siêu tinh khiết:
Bộ giảm áp khí tinh khiết thường sử dụng van điều chỉnh và cảm biến áp suất. Khi khí áp suất cao đi vào bộ giảm áp, van tự động điều chỉnh để giảm áp suất xuống mức áp suất đầu ra mong muốn dựa trên giá trị áp suất đã đặt.
Tổng thể, bộ giảm áp khí tinh khiết được sử dụng rộng rãi trong sản xuất bán dẫn, quang điện tử, ngành công nghiệp năng lượng mặt trời, nanokỹ thuật, nghiên cứu phòng thí nghiệm và các lĩnh vực khác cần khí tinh khiết. Chúng được sử dụng để kiểm soát áp suất và dòng chảy khí để đáp ứng các yêu cầu cụ thể của quá trình và thực nghiệm.