Toepassing van spesiale gas afvalgas behandeling gas!

Afvalgasbehandelingstoerusting kan gasse hanteer wat gebruik word in etsingsprosesse en chemiese stofaflasingsprosesse in die halfgeleier-, vloeibare kristal- en sonenergie-industrie, insluitend SiH4, SiH2Cl2, PH3, B2H6, TEOS, H2, CO, NF3, SF6, C

Metode vir die behandeling van uitlaatgasse

Volgens die eienskappe van uitlaatgasbehandeling kan die behandeling in vier soorte behandeling verdeel word:

1. Die Tipe waterwas (behandeling van korrosiewe gasse)

2. Die Bybel Oksiderende tipe (behandeling van brandbare en giftige gasse)

3. Die Bybel Adsorpsie (volgens die tipe adsorpsie materiaal om die ooreenstemmende uitlaatgas te hanteer).

4.Plasmaverbrandingstyl (alle soorte uitlaatgasse kan behandel word).

Elke tipe behandeling het sy eie voordele en nadele, asook sy toepassingsgebied. Wanneer die behandeling metode waterwassing is, is die toerusting goedkoop en eenvoudig, en kan slegs watersopbare gase hanteer; die toepassingsgebied van die elektriese waterwassings tipe is hoër as die waterwassings tipe, maar die bedryfskoste is hoog; die droë tipe het goeie behandelingseffektiwiteit, en is nie van toepassing op gasvloeis wat maklik verstopt of vloei nie.

Chemikalië en hul byprodukte wat algemeen in die halwegeleierbedryf gebruik word, kan volgens hul chemiese eienskappe en hul verskillende reikwye geklassifiseer word:

1. Brandbare gase soos SiH4H2, ens.

2. Gifige gase soos AsH3, PH3, ens.

3. Korrosiue gase soos HF, HCl, ens.

4. Klimaatsveranderingsgase soos CF4, NF3, ens.

Aangesien die bovermelde vier gase skadelik is vir die omgewing of die menslike liggaam, moet hul direkte uitstoot in die atmosfeer voorkom word. Daarom word by die algemene halfrigtingfabriek 'n groot sentrale afvoergasbehandelingsstelsel geïnstalleer, maar hierdie stelsel behandel slegs waterwasbare afvoer. Dus is sy toepassing beperk tot ver-wateroplosbare gase en kan dit nie die voortdurend veranderende en fyn verdeelde halfrigtingsproses-afvoergas handhaaf nie. Daarom is dit nodig om die toepaslike afvoergasbehandelingsuitrusting te kies en te pas volgens die gaskenmerke wat deur elke proses voortkom, ten einde die afvoergasprobleem op 'n kleinere skaal op te los. Aangesien die werkarea meestal ver van die sentrale afvoergasbehandelingsstelsel lê, lei dit dikwels tot kristallisering of stofopskatting in die buise as gevolg van gaskenmerke, wat lei tot blokade van die buis wat gaslekke veroorsaak, en in ernstige gevalle selfs 'n ontploffing kan veroorsaak wat die werks veiligheid van personeel nie kan verseker nie. Daarom moet in die werkarea 'n klein afvoergasbehandelingsapparaat geïnstalleer word wat geskik is vir die kenmerke van die prosesgas, ten einde die stilleggende afvoergas in die werkarea te verminder en die veiligheid van personeel te verseker.