Toepassing van spesiale gas-stertgasbehandelingsgas！

Stertgasbehandelingstoerusting kan gasse wat in etsprosesse en chemiese dampneerleggingsprosesse in die halfgeleier-, vloeibarekristal- en sonkrag-industrie gebruik word, hanteer, insluitend SiH4, SiH2Cl2, PH3, B2H6, TEOS, H2, CO, NF3, SF6, C2F6, WF6 , NH3, N2O, ensovoorts.

Uitlaatgas behandeling metode

Volgens die kenmerke van uitlaatgasbehandeling kan die behandeling in vier tipes behandeling verdeel word:

1. Waterwas tipe (behandeling van korrosiewe gasse)

2. Oksiderende tipe (wat te make het met brandbare en giftige gasse)

3. Adsorpsie (volgens die tipe adsorpsiemateriaal om die ooreenstemmende uitlaatgas te hanteer).

4.Plasma-ontbrandingstipe (alle soorte uitlaatgasse kan behandel word).

Elke tipe behandeling het sy eie voor- en nadele sowel as sy toepassingsgebied. Wanneer die behandelingsmetode waterwas is, is die toerusting goedkoop en eenvoudig, en kan dit net wateroplosbare gasse hanteer; die toepassingsreeks van die elektriese waterwastipe is hoër as dié van die waterwastipe, maar die bedryfskoste is hoog; die droë tipe het goeie behandelingsdoeltreffendheid, en is nie van toepassing op die gasvloei wat maklik verstop of gevloei kan word nie.

Chemikalieë en hul neweprodukte wat algemeen in die halfgeleierbedryf gebruik word, kan volgens hul chemiese eienskappe en hul verskillende reekse gekategoriseer word:

1. Vlambare gasse soos SiH4H2, ens.

2. Giftige gasse soos AsH3, PH3, ens.

3. Korrosiewe gasse soos HF, HCl, ens.

4. Kweekhuisgasse soos CF4, NF3, ens.

Aangesien die bogenoemde vier gasse skadelik is vir die omgewing of menslike liggaam, moet die direkte vrystelling daarvan in die atmosfeer voorkom, sodat die algemene halfgeleier-aanleg geïnstalleer is met 'n groot gesentraliseerde uitlaatgasbehandelingstelsel, maar hierdie stelsel is slegs waterskrop-uitlaat, so sy toepassing is beperk tot die lang-afstand wateroplosbare gasse, en kan nie gaan met die steeds veranderende en subtiele verdeling van die halfgeleier proses uitlaatgas. Daarom is dit nodig om die ooreenstemmende uitlaatgasbehandelingstoerusting te kies en te pas volgens die gaskenmerke wat uit elke proses afgelei word om die uitlaatgasprobleem op 'n klein manier op te los. Aangesien die werkarea meestal weg van die sentrale uitlaatgasbehandelingstelsel is, lei dit dikwels as gevolg van gaskenmerke tot kristallisasie of stofophoping in die pyplyn, wat lei tot verstopping van die pypleiding wat tot gaslekkasie lei, en in ernstige gevalle selfs 'n ontploffing veroorsaak. , kan nie verseker dat die terrein personeel se werk veiligheid. Daarom, in die werk area moet 'n klein uitlaatgas behandeling toerusting wat geskik is vir die eienskappe van die proses gas instel, ten einde die stilstaande uitlaatgas in die werk area te verminder, om die veiligheid van personeel te verseker.