Stelselontwerp vir gasse wat in halfgeleiervervaardiging gebruik word

Soos die halfgeleiermark groei, word standaarde vir suiwerheid en akkuraatheid strenger. Een van die bepalende faktore in die kwaliteit van halfgeleiervervaardiging is die gasse wat in die proses gebruik word. Hierdie gasse speel baie rolle in die vervaardigingsproses, insluitend:

Presisie proses beheer

Voorkoming van kontaminasie

Metallurgiese eiendom verbetering

Om hierdie rolle effektief te verrig, moet die gastoevoer- en verspreidingstelsel doeltreffend wees. Die ontwerp van gashanteringstelsels wat in halfgeleiervervaardiging gebruik word, moet ondersteun word deur robuuste komponente en pasgemaakte samestellings om betroubare en hoë kwaliteit produksie van halfgeleiers te verseker.

Gasse wat in halfgeleiervervaardiging gebruik word

Die proses van vervaardiging van halfgeleiers vereis die gebruik van verskillende gasse in verskillende stadiums van die proses.

Terwyl algemene gasse soos stikstof, waterstof, argon en helium in hul suiwer vorm gebruik kan word, kan sekere prosesse gespesialiseerde mengsels vereis. Silane of siloksane, heksafluoriede, haliede en koolwaterstowwe is 'n paar van die spesiale gasse wat in halfgeleiervervaardiging gebruik word. Baie van hierdie gasse kan gevaarlik of hoogs reaktief wees, wat uitdagings skep in die keuse en ontwerp van komponente vir gasstelsels.

Hier is 'n paar voorbeelde:

Waterstof en helium kan maklik uit pype en passtelsels lek as gevolg van hul klein atoomgrootte en gewig.

Silane is hoogs vlambaar en kan spontaan in lug ontbrand (outo-ontbrand).

Stikstofdifluoried wat in die afsetting-, ets- en kamerskoonmaakstadiums gebruik word, word 'n kragtige kweekhuisgas wanneer dit in die omgewing gelek word.

Waterstoffluoried (etsgas) is hoogs korrosief vir metaalpype.

Trimetielgallium en ammoniak kan moeilik wees om te hanteer - klein skommelinge in hul temperatuur- en drukvereistes kan die afsettingsproses beïnvloed.

Die beheer van prosestoestande om die negatiewe effekte van hierdie gasse te minimaliseer, moet 'n topprioriteit wees tydens stelselontwerp. Dit is ewe belangrik om die hoogste gehalte komponente soos AFK diafragma kleppe te gebruik tydens die bouproses.

Aanspreek van stelselontwerpuitdagings

Halfgeleiergraadgasse is in die meeste gevalle van hoë suiwerheid en verskaf inerte toestande of versterk reaksies op verskillende stadiums van die vervaardigingsproses, soos ets- en afsettingsgasse. Lekkasie of besoedeling van sulke gasse kan negatiewe gevolge hê. Daarom is dit van kritieke belang dat die stelselkomponente wat gebruik word hermeties verseël en korrosiebestand is, asook 'n gladde oppervlakafwerking (elektrolitiese polering) het om te verseker dat daar geen moontlikheid van kontaminasie is nie en dat 'n uiters hoë vlak van netheid gehandhaaf kan word.

Daarbenewens kan sommige van hierdie gasse verhit of afgekoel word om gewenste prosestoestande te bereik. Goed geïsoleerde komponente verseker temperatuurbeheer, wat krities is vir doeltreffende prestasie van die finale produk.

Van die broninlaat tot die gebruikspunt ondersteun AFK se wye reeks komponente die ultrahoë suiwerheid, temperatuur, druk en vloeibeheer wat in halfgeleierskoonkamers en vakuumkamers vereis word.

Ontwerp stelsels met kwaliteit komponente in halfgeleier Fabs

Die rol van kwaliteit komponente en ontwerpoptimalisering is van kritieke belang vir die presiese beheer en veilige vervaardiging van halfgeleiers. Die komponente wat gebruik word, moet robuust en lekvry wees om te pas by die verskillende prosestoestande wat in verskillende stadiums van vervaardiging vereis word.AFK se hoëgehalte kleppe, toebehore, reguleerders, pype en seëlbeugels word gekenmerk deur die volgende kenmerke:

Ultra-hoë suiwerheid

Lekvrye seëls

Temperatuurbeheerde isolasie

Drukbeheer

korrosiebestandheid

Elektrolitiese poleerbehandeling