Sisteemontwerp vir gase wat in halwiconductorvervaardiging gebruik word

Soos die halwegeleiermark bedrywiger word, word standaarde vir reinheid en akkuraatheid strenger. Een van die bepalende faktore in die kwaliteit van halwegeleiersvervaardiging is die gase wat in die proses gebruik word. Hierdie gase speel baie rolle in die vervaardigingsproses, insluitend:

Presisie Prosesbeheer

Verontreinigingsvoorkoming

Verbetering van metaalurgiese eienskappe

Om hierdie rolle doeltreffend te verrig, moet die gasvoorsiening- en verspreidingsstelsel doeltreffend wees. Die ontwerp van gasbehandelingstelsels wat in halwegeleiersvervaardiging gebruik word, moet ondersteun word deur robuuste komponente en gespesialiseerde samestellings om betroubare en hoë-kwaliteitsproduksie van halwegeleiers te verseker.

Gase wat in halwegeleiersvervaardiging gebruik word

Die proses van halwegeleiersvervaardiging vereis die gebruik van verskillende gase by verskillende stadia van die proses.

Terwyl algemene gase soos stikstof, waterstof, argon en helium in hul pure vorm gebruik kan word, mag sekere prosesse gespesialiseerde mengsels vereis. Silane of siloxane, hexafluoride, halide en koolwaterstof is 'n paar van die gespesialiseerde gase wat in halvgeleider vervaardiging gebruik word. Veel van hierdie gase kan gevaarlik of hoogst reaktief wees, wat uitdagings skep vir die keuse en ontwerp van komponente vir gasstelsels.

Hier is 'n paar voorbeelde:

Waterstof en helium kan maklik uit pyp- en fittingstelsels lek as gevolg van hul klein atoomgrootte en -gewig.

Silane is hoogs brandbaar en kan spontaan in lughongskakeling (selfontbrand) plaasvind.

Stikstofdifluoride wat in die deposisie-, etser- en kamerreinigingsfasies gebruik word, word 'n kragtige groenhuishuisgas wanneer dit in die omgewing lek.

Waterstoffluoride (etsergas) is hoogs korrosiewe teen metaalpype.

Trimetylgallium en ammoniak kan moeilik te hanter wees – klein fluktuasies in hul temperatuur- en drukvereistes kan die deposisieproses beïnvloed.

Die beheer van prosesvoorwaardes om die negatiewe effekte van hierdie gase te minimaliseer, moet tydens stelselontwerp 'n top prioriteit wees. Dit is net so belangrik om die hoogste kwaliteitskomponente, soos AFK membraankleppings, te gebruik tydens die bouproses.

Aanspreek van Stelselontwerpkonfrontasies

Haltegase vir haltekonduktorse is in die meeste gevalle van hoë swaartheid en verskaf inert voorwaardes of versterk reaksies op verskillende stadium van die vervaardigingsproses, soos etse- en depozisiegase. Uitstroom of besoedeling van sulke gase kan negatiewe effekte hê. Daarom is dit krities dat die stelselkomponente wat gebruik word, hermeties gesluit en korrosiebestendig moet wees, asook 'n gladde oppervlak afwerking (elektrolitiese poliering) moet hê om seker te maak dat daar geen moontlikheid van besoedeling is nie en dat 'n uitermate hoë vlak van skoonheid behou kan word.

Daarby kan sommige van hierdie gase opgewarm of gekoel word om die gewenste prosesvoorwaardes te bereik. Goed geïsoleerde komponente verseker temperatuurbeheer, wat krities is vir doeltreffende prestasie van die eindprodukt.

Van die bron-ingang tot die punt van gebruik ondersteun AFK se wyd verspreide reeks komponente die ultra-hoë reinheid, temperatuur, druk en stroombeheer wat in halwegeleiderreinruimtes en vakuumkamers vereis word.

Ontwerpstelsels met Kwaliteitskomponente in Halwegeleider Fabrikasies

Die rol van kwaliteitskomponente en ontwerpopname is krities vir presiese beheer en veilige vervaardiging van halwegeleiders. Die komponente wat gebruik word, moet robuust en lek-vry wees om die verskillende prosesvoorwaardes te voldoen wat by verskillende stadium van vervaardiging vereis word. AFK se hoë-kwaliteit kleppings, verbindings, regelaars, buise en sigillingshakke word gekenmerk deur die volgende kenmerke:

Ultra-Hoog Deursigheid

Lek-vry sigilling

Temperatuurgekontroleerde isolasie

Drukbeheer

Korrosiebestendigheid

Elektrolitiese polering behandeling