Sisteemvereistes vir die voorbereidingsprosesse van elektroniese spesialiteitsgasse!

Die produksieproses van elektroniese spesialiteitsgasse sluit verskeie prosesse in, soos sintese, verreiniging, invulling, analise en toetsing, menging en dosering. Om die benodigdhede vir reinheid en onreinheidinhoud van nederstroom halwiconductorvervaardiging te voldoen, is die verreinigingsproses baie belangrik. Afhanklik van die samestelling van die bovenstroom sintese- of ruwigas word lae-temperatuurdestillasie of veerlags verreiniging uitgevoer.

Hoë Reinigheidsvereistes

Die voorbereidingsproses van elektroniese spesiale gase kan in twee groot blokke verdeel word: bo-oorstroom sintesevoorbereiding en verreiniging, wat behoort tot die chemiese produksieproses. Die grootte van die produksiepyplyn is groot, en daar is geen spesifieke reinheidnivo vereiste nie. Nadat onder-oorstroomverreiniging plaasgevind het, word die produk met gas opgevul en gemeng vir voorbereiding. Die produksiepyplyn is klein en het reinheidnivo vereistes. Dit moet die standaardspesifikasie van halwiconductorproduksieproses voldoen.

Hoë sluitingvereistes

As gevolg van hul chemiese aktiwiteit plaas elektroniese spesialiteitsgasse ook hoë eise aan die materiaal en siging van die produksieprosesstelsel. Soos die eise van halwiconductorvervaardiging, word interfasiesnyding voorkom wat deur die invoering van verontreinigings of die korrosie van spesiale gasse veroorsaak word. Die stelsel kan ook gebruik word om die invoering van verontreinigings of die snyding van interkante as gevolg van die korrosie van spesiale gasse te voorkom.

Hoë kwaliteitsstabielheidsvereistes

Die kwaliteit van elektroniese spesialiteitsgasse sluit 'n aantal indikatore in, soos reinhede en verontreinigingsdeeltjekontente. Enige verandering in die indikatore sal die resultate van die neerstroomende halwiconductorvervaardigingsproses beïnvloed. Daarom is dit om die konsistensie van die elektroniese spesiale gasprodukteindikatore te verseker, ook baie belangrik om die voorbereidingsprosesstelsel te kontroleer om die stabilitiet van die indikatore te verseker.

Toepassing van Spesialiteitsgasvoorbereidingsprosesstelsels

As gevolg van die chemiese aktiwiteit en kwaliteitsvereistes van EGP, moet die produksiesisteem vir EGP-bereiding, veral die nederstroom-verfyningsisteem, die vereistes van hoë swaartheid materiaal, hoë afsluiting, hoë reinheid en hoë kwaliteitskonstante voldoen, en die bou van ingenieurskomponente moet die standaarde van die halwiconductorvervaardigingsbedryf voldoen.

Wat ons algemeen as "hoë reinheid" verwys, is teoreties die definisie van die reinheid van 'n stof, soos hoë-reinigheids gasse, hoë-reinigheids chemikalië, ens. Prosesstelsels of prosesstelselkomponente wat op hoë-reinigheids stowwe toegepas word, word ook as hoë-reinigheid beskou, soos hoë-reinigheids stelsels en hoë-reinigheids kleppies. Elektroniese spesialiteitsgas voorbereidingsstelsels vereis hoë-reinigheids toepassingsverbindings, kleppies en ander vloeistofkomponente, d.w.s. verbindings en kleppies wat met hoë-reinigheids materiaal en skoon vervaardigingsprosesse bewerk is, en vir maklik uitspoeling en skoonmaak gestruktureer is. Met hoë sluitingstelling. Hierdie vloeistofkomponente is ontwerp om die prosesvloei pad van die toepassing te voldoen, deur die ingenieurs- en bouvereistes van die halwiconductorbedryf te gebruik.

Hoë Reinigheids Pypverbindinge

VCR metaal kussingsgeval geslote verbindinge en outomatiese gidsrygsverbindingsword wyd gebruik in eisende vloeistelselprosesvereistes weens die vermoë om sowel 'n gladde oorgang van die vloerpad by die verbinding asook geen statiese gebied te verseker, en hoë sluitingstelling. VCR-verbindinge vorm 'n smalle oppervlaksluiting deur 'n relatief sagte metalen kussing te extrudeer. Herhalende en konsekwente verbinding- en sluitingspresteerde word elke keer verseker wanneer die vervormde kussing verwyder en vervang word.

Buisse word gesoldeer met 'n outomatiese orbitale soldeerstelsel. Die buis word beskerm deur hoë-reinheid gas van binne en van buite. Die wolfram elektrood draai langs die baan vir hoë-kwaliteit soldeerwerk. Volledig outomatiese orbitale soldeer smelt die buis sonder om ander materiaal in te voer, wat hoë-kwaliteit soldeerwerk bereik. Beheer van dunwandige buise is moeilik om met handmatige soldeerwerk te bereik.

VCR Metal Kussingsgeval Geslote Verbinding

Outomatiese Orbitale Rygsoldeer Verbinding van Buisse

Hoë Reinheid Klape

Die chemiese aktiwiteit van brandstof, ontploffingsvatbare, korrosiewe en giftige elektroniese spesialiteitsgasse stel hoë eise aan die sluiting van die klep. Om die betroubaarheid van die sluiting te verbeter, word daar gevra vir klepe sonder vulmiddel om buiteste lekkasies te voorkom, dit wil sê, skakelingbewerking tussen die klepsteel en die klepkuil met behulp van metaalwolwe of 'n metalen membran om lekkasies as gevolg van afwerping en vormverandering van die vulmiddel te elimineer. Wolwesluitende en membransluitende klepe word algemeen in prosessisteme vir hoë-reinheidtoepassings gebruik weens die groter betroubaarheid van die sluitings en die makliker reiniging en spoelvervanging van die kleppartikels.

Gebogen-afgeslote kleppe is 'n naaldklepkonstruksie sonder vulling wat stadige opening en vloei-regulerings toelaat. Gebruik vir elektroniese spesialiteitsgasvullings met veiligheidsvloei-eise of op voorgangerbronflesse met hoë veiligheidsvereistes. Die volle-metale stamptip sluitings laat toe vir uiterst lae bedryfstemperatuurs en word gebruik vir die kriogense vloeibaarmaking van elektroniese spesialiteitsgasse in eindprodukttankies ná kriogense distillasie vir pyping.

Vernielose Dialefraklepvatting is 'n 1⁄4" snappend-op klep vir gebruik as 'n outomaties gestuurde skakelklep in leweringspypinge. Hulle word algemeen in ultra-hoogdruk, hoog-reinheidtoepassings gebruik weens hul eenvoudige interne vloei-pad, klein interne volume en maklikheid van reiniging en vervanging.

Diasfragmasluitingskleppe wat deur die punt van die steel gesluit word, kan stadig oopgaan en op hoër bedryfsdruke gebruik word as diaskragvrye diasfragmasluitingskleppe. Hulle word wydverspreid gebruik by hoë-druk elektroniespesialiteitgasvullings- of precursorbronflesse.

Die sekondêre sluitingbellowsklep kan nie net in ultra-laagtemperatuurprosessisteme by -200 grade gebruik word nie, maar voorkom ook die uitlek van gevaarlike media na die atmosfeer. Dit word gewoonlik gebruik vir baie gevaarlike elektroniespesiale gase, soos silaanvullingsstelsels.

Shenzhen Wofei Technology Co., Ltd, met meer as 10 jaar ervaring in die verskaffing van industriële en spesiale gase, materiaal, gasverskaffingstelsels en gasingenieurswese vir die halwerware, LED, DRAM, TFT-LCD markte, kan ons jou die nodige material verskaf om jou produkte na die voorkant van die bedryf te bring. Ons kan nie net 'n wye verskeidenheid van kleppies en aanpassings vir semi-konduktor elektroniese spesiale gase verskaf nie, maar ons kan ook gaspyping en toerustinginstallasie vir ons kliënte ontwerp. As jy enige behoeftes in hierdie gebied het, kontak asb ons op 27919860.