Stelselvereistes vir elektroniese spesiale gasvoorbereidingsprosesse！

Die produksieproses van elektroniese spesialiteitsgasse sluit verskeie prosesse in soos sintese, suiwering, vulling, ontleding en toetsing, vermenging en proporsie. Om aan die stroomafwaartse halfgeleiervervaardigingsvereistes vir suiwerheid en onsuiwerheidsinhoud te voldoen, is die suiweringsproses baie belangrik. Afhangende van die samestelling van die stroomop sintesegas of rou gas, word lae temperatuur distillasie of multi-stadium suiwering uitgevoer.

Hoë vereistes vir netheid

Die voorbereidingsproses van elektroniese spesiale gasse kan verdeel word in twee hoofblokke van stroomop sintesevoorbereiding en suiwering, wat tot die chemiese produksieproses behoort. Die grootte van die produksiepyplyn is groot, en daar is geen spesiale netheidsvlakvereiste nie. Na stroomaf-suiwering word die produk met gas gevul en vir voorbereiding gemeng. Die produksiepyplyn is klein en het vereistes vir netheidvlak. Dit moet voldoen aan die standaardspesifikasie van halfgeleiervervaardigingsproses.

Hoë seëlvereistes

As gevolg van hul chemiese aktiwiteit stel elektroniese spesialiteitsgasse ook hoë eise aan die materiaal en verseëling van die produksieprosesstelsel. Net soos die vereistes van halfgeleiervervaardiging, voorkom dit koppelvlaklekkasie wat veroorsaak word deur die inbring van onsuiwerhede of korrosie van spesiale gasse. Die stelsel kan ook gebruik word om die bekendstelling van onsuiwerhede of die lekkasie van koppelvlak wat veroorsaak word deur die korrosie van spesiale gasse te voorkom.

Hoë kwaliteit stabiliteit vereistes

Die kwaliteit van elektroniese spesialiteitsgasse sluit 'n aantal aanwysers in soos suiwerheid en onsuiwerheiddeeltjie-inhoud. Enige verandering in die aanwysers sal die resultate van die stroomaf halfgeleiervervaardigingsproses beïnvloed. Daarom, om die konsekwentheid van die elektroniese spesiale gasproduk-aanwysers te verseker, is die voorbereidingsprosesstelsel om die stabiliteit van die aanwysers te beheer ook baie belangrik.

Toepassing van spesiale gasvoorbereidingsprosesstelsels

As gevolg van die chemiese aktiwiteit en kwaliteitvereistes van EGP, moet die produksiestelsel vir EGP-voorbereiding, veral die stroomaf-suiweringstelsel, voldoen aan die vereistes van hoë suiwer materiale, hoë verseëling, hoë netheid en hoë kwaliteit konsekwentheid, en die konstruksie van gemanipuleerde komponente moet voldoen aan die standaarde van die halfgeleiervervaardigingsbedryf.

Wat ons algemeen na verwys as "hoë suiwerheid" is teoreties die definisie van die suiwerheid van 'n stof, soos hoë suiwer gasse, hoë suiwer chemikalieë, ens. tot as hoë-suiwerheid, soos hoë-suiwer stelsels en hoë-suiwer kleppe. Elektroniese spesialiteitsgasvoorbereidingstelsels vereis hoë suiwer toedieningstoebehore, kleppe en ander vloeistofkomponente, dit wil sê, toebehore en kleppe wat met hoësuiwer materiale en skoon vervaardigingsprosesse verwerk word, en gestruktureer is vir maklike suiwering en skoonmaak. Met hoë seëlprestasie. Hierdie vloeistofkomponente is ontwerp om aan die prosesvloeipad van die toepassing te voldoen, deur die ingenieurs- en konstruksievereistes van die halfgeleierbedryf te gebruik.

Hoë suiwer pypverbindings

Videorecorder metaal pakking gesig seël verbindings en outomatiese gids stuiksweis verbindings word wyd gebruik in veeleisende vloeistof stelsel suiwerheid proses vereistes as gevolg van die vermoë om te voldoen aan beide gladde oorgang van die vloei pad by die verbinding, geen stagnasie sone, en hoë seël werkverrigting.VCR verbindings vorm 'n smal oppervlakseël deur 'n relatief sagte metaalpakking uit te druk. Herhaalbare en konsekwente verbinding en verseëling werkverrigting word verseker elke keer as die vervormde pakking verwyder en vervang word.

Buise word gesweis met behulp van 'n outomatiese orbitale sweisstelsel. Die buis word binne en buite beskerm deur hoë suiwer gas. Die wolfraamelektrode draai langs die baan vir hoë kwaliteit sweiswerk. Ten volle outomatiese orbitale sweiswerk smelt die pyp sonder om ander materiale in te voer, om 'n hoë kwaliteit sweislas te bereik deur herhaaldelik dunwandige pyp te beheer, is moeilik om met handsweiswerk te bereik.

VCR Metal Gasket Face Seal Connection

Outomatiese orbitale stompsweisverbinding van pype

Hoë suiwerheid kleppe

Die chemiese aktiwiteit van vlambare, plofbare, korrosiewe en giftige elektroniese spesialiteitsgasse stel hoë eise aan die verseëling van die klep. Ten einde die seëlbetroubaarheid te verbeter, is die vereiste van pakkinglose kleppe om eksterne lekkasie te voorkom, dit wil sê om die werking van die klepstam en die klepliggaam tussen die seël te skakel met behulp van metaalbalg of metaaldiafragma, om lekkasie as gevolg van skuur en verpakking seël vervorming. Balg-verseëlde en diafragma-verseëlde kleppe word algemeen gebruik in prosesstelsels vir hoë-suiwer toepassings as gevolg van die groter betroubaarheid van die seëls en die makliker skoonmaak en suiwer vervanging van die klep inwendige.

Balg-verseëlde kleppe is 'n verpakkinglose naaldklepkonstruksie wat stadige opening en vloeiregulering moontlik maak. Word gebruik vir elektroniese spesiale gasvul met veiligheidsvloeivereistes of op voorloperbronbottels met hoë veiligheidsvereistes. Die geheelmetaal stampuntseëls maak voorsiening vir uiters lae bedryfstemperature en word gebruik vir kriogene vervloeiing van elektroniese spesialiteitsgasse in voltooide produk tenks na kriogene distillasie vir pype.

Veerlose diafragma-seëlklep is 'n 1/4"-snap-oop klep vir gebruik as 'n outomaties beheerde skakelklep in afleweringspype. Hulle word algemeen gebruik in ultra-hoëdruk, hoë-suiwer toepassings as gevolg van hul eenvoudige interne vloeipad, klein interne volume, en gemak van suiwering en vervanging.

Diafragma-verseëlde kleppe wat via die stingelpunt toemaak, kan stadig oopmaak en teen hoër bedryfsdrukke gebruik word as nie-geveerde diafragma-verseëlde kleppe. Hulle word wyd gebruik op hoëdruk elektroniese spesiale gasvul- of voorloperbronbottels.

Die sekondêre seëlbalgklep kan nie net in ultra-lae temperatuur prosesstelsels by -200 grade gebruik word nie, maar voorkom ook lekkasie van gevaarlike media in die atmosfeer. Word gewoonlik gebruik vir baie gevaarlike elektroniese spesiale gasse, soos silaanvulstelsel.

Shenzhen Wofei Technology Co., Ltd, met meer as 10 jaar ondervinding in die verskaffing van industriële en spesialiteitsgasse, materiale, gastoevoerstelsels en gasingenieurswese vir die halfgeleier-, LED-, DRAM-, TFT-LCD-markte, kan ons u voorsien van die nodige materiaal om jou produkte na die voorpunt van die bedryf te stoot. Ons kan nie net 'n wye reeks kleppe en toebehore vir halfgeleier elektroniese spesialiteitsgasse verskaf nie, maar ons kan ook gaspype en toerustinginstallasie vir ons kliënte ontwerp. Indien jy enige behoeftes in hierdie area het, kontak ons ​​asseblief by 27919860.