Die kritieke rol van gasverdelingstelsels in vervaardiging in die halwgeleierbedryf!

In halwiconductorvervaardiging doen gase al die werk en lasere kry al die aandag. Hoewel lasere die transistorpatrone in silikon graveer, is die proses wat eers die silikon neersit en die laser ontbindings om volledige skakels te maak 'n reeks van gase. Dit is nie verbaspend dat hierdie gase, wat gebruik word om mikroprosessor te ontwikkel deur 'n veeldoekse proses, hoë puriteit het nie. Behalwe hierdie beperkinge, het baie van hulle ander oorwegings en beperkinge. Sommige van die gase is kriogies, ander is korrosief, en sommige is hoogst toxis.

Al met al maak hierdie beperkings die vervaardiging van gasdistribusiesisteme vir die halwiconductorbedryf 'n aansienlike uitdaging. Materiaalspesifikasies is eisend. Behalwe materiaalspesifikasies, is 'n gasdistribusieversameling 'n komplekse elektromeganiese versameling van onderling verbonde stelsels. Die omgewings waarin hulle saamgestel word, is kompleks en oorvleuel. Eindige fabrikasie vind ter plaatse plaas as deel van die installasieproses. Orbitale swart help om die hoë spesifikasie gasdistribusievereistes te voldoen terwyl dit die fabrikasie in stryk en uitdagende omgewings meer beheersbaar maak.

Hoe gase in die halwiconductorbedryf gebruik word

Voordat jy probeer om die vervaardiging van 'n gasdistribusiesisteem te beplan, is dit noodsaaklik om ten minste die grondbeginsels van halwegeleiervervaardiging te verstaan. In essensie gebruik halwegeleiers gase om naby-elementêre vaste stowwe op 'n oppervlak in 'n hoogs gekontroleerde manier af te deponeer. Hierdie afgelede vaste stowwe word dan deur die invoering van addisionele gase, laser, chemiese etante en hitte gewysig. Die stappe in die wydproces is:

Deposisie: Dit is die proses van die skepping van die aanvanklike silikiumwafer. Silikiumvoorlopergase word in 'n vakuumdeposisiekamer gepompt en vorm dunne silikiumwafers deur chemiese of fisiese interaksies.

Fotolitografie: Die foto-seksie verwys na lasere. In die hoër extreme ultraviolette litografie (EUV) spektrum wat gebruik word om die hoogste spesifikasieë chips te maak, word 'n kooldioxide-laser gebruik om die mikroprosessor-sirkuitry in die wafer te graveer.

Etsering: Tydens die etseringsproses word halogeen-koolstofgas in die kamer gepompt om aktief te wees en geselekteerde materialen in die silikoonsubstraat op te los. Hierdie proses graveer effektief die laser-geprinte skakeling op die substraat.

Dopering: Dit is 'n bykomende stap wat die geleiheid van die geëtste oppervlak verander om die presiese toestande waarin die halwegeleiër voer, te bepaal.

Aanwas: In hierdie proses word reaksies tussen waferlae deur verhoogde druk en temperatuur uitgeloos. Wesenslik finaliseer dit die resultate van die vorige proses en skep die eindige prosessor in die wafer.

Kamer- en Lynreiniging: Die gase wat in die vorige stappe gebruik word, veral by graveer- en dopprosesse, is dikwels baie toxis en reaktief. Daarom moet die proses-kamer en die gaslyne wat daarna voer, gevul word met neutraliserende gase om skadelike reaksies te verminder of te elimineer, en dan gevul word met inerte gase om die binnedring van enige verontreinigende gase uit die buiteomgewing te voorkom.

Gasverdelingstelsels in die halwagterbedryf is dikwels kompleks vanweë die vele verskillende gase wat betrokke is en die strak beheer van gasvloei, temperatuur en druk wat oor tyd onderhou moet word. Dit word verder kompliseer deur die ultra-hoog pureiteit wat vir elke gas in die proses vereis word. Die gase wat in die vorige stap gebruik is, moet uit die lyne en kammers gespoel word of andersins geneutraliseer word voordat die volgende stap van die proses kan begin. Dit beteken dat daar 'n groot aantal gespesialiseerde lyne is, asook grensoppervlakke tussen gelaste buisstelsels en slanse, grensoppervlakke tussen slanse en buise en gasregulators en sensors, sowel as grensoppervlakke tussen al die voorheen genoemde komponente en kleppen en afsluitstelsels wat ontwerp is om die kontaminasie van die natuurlike gasvoorsiening te voorkom wanneer dit uitgewissel word.

Daarbenewens sal reinruimte-eksterne en spesialiteitgase uitgerus word met grootmaatgasverskaffingstelsels in reinruimte-omgewings en gespesialiseerde beperkte areas om enige gevaar te vermindering in geval van ongelukkige lekkasies. Die welde van hierdie gasstelsels in so 'n komplekse omgewing is nie 'n maklike taak nie. Maar, met sorg, aandag aan detail en die regte uitrusting, kan hierdie taak suksesvol voltooi word.

Gasverspreidingsstelsels vervaardig in die halwgeleierbedryf

Materiale wat in halwegeleier gasverspreidingstelsels gebruik word, is baie verskillend. Dit kan dinge insluit soos PTFE-geklede metaalbuise en slanse om hoogs korrosiewe gase te weerstaan. Die mees algemeen gebruik materiaal vir algemene buisery in die halwegeleiersbedryf is 316L roestvry staal - 'n lae koolstofvariante van roestvry staal. Wanneer dit kom by 316L versus 316, is 316L meer weerstand bied teen intergranulêre korrosie. Dit is 'n belangrike oorweging wanneer jy met 'n reeks hoogs reaktiewe en potensieel volatiele gase werk wat koolstof kan korrodeer. As jy 316L roestvry staal smelt, word minder koolstofprisipate vrygelaat. Dit verminder ook die moontlikheid van korrosie aan gransgrensse, wat kan lei tot puntkorrosie in smelde en warmte-effeksonderwys.

Om die moontlikheid van buisery-korrosie wat lei tot produklyn-korrosie en kontaminasie te verlaag, is 316L roestvrye staal wat met reen argon skermgas en tungsten gasgeskermde soldeerwelskaal verswel, die standaard in die halwerwarebedryf. Die enigste soldeerproses wat die beheer bied wat nodig is om 'n hoë-reinheid omgewing in prosesbuisery te handhaaf, is outomatiserde orbitale soldeer. Dit verskaf slegs die herhalende prosesbeheer wat nodig is om die soldeer in die vervaardiging van halwerwaregasverspreidingsstelsels te voltooi. Die feit dat geslote orbitale soldeerkoppe die besneerde en moeilike ruimtes by komplekse kruispunte tussen prosesareas kan akkommoder, is 'n beduidende voordeel van die proses.

Shenzhen Wofei Technology Co., Ltd, met meer as 10 jaar ervaring in die verskaffing van industriële en spesiale gase, materiaal, gasverskaffingstelsels en gasingenieurswese vir die halvgeleier-, LED-, DRAM- en TFT-LCD-markte, kan ons jou die materiaal verskaf wat nodig is om jou produkte na die voorste van die bedryf te bring. Ons kan nie net 'n wye reeks van kleppies en verbindings vir halvgeleiers elektroniese spesiale gase verskaf nie, maar ook gaspyping en toerustinginstallasie vir ons kliënte ontwerp.