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Massengasversorgungssystem Deutschland

26.2024. Januar

Das Gasversorgungssystem ist ein Spezialsystem zur Lagerung, zum Transport und zur Nutzung großer Gasmengen. Es besteht hauptsächlich aus einem Gasversorgungssystem und einem Pipelinesystem. Das Gasversorgungssystem umfasst Komponenten wie Gasquellen, Reinigungssysteme und Qualitätsüberwachungsmechanismen, um die Qualität und Stabilität der Gase sicherzustellen. Gleichzeitig werden die Lieferpipelines gemäß spezifischen Anforderungen entwickelt, um die Durchflussrate und Druckänderungen während des Gastransports zu steuern und so eine sichere und effiziente Lieferung zu gewährleisten.

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Dieses System wird in vielen Bereichen eingesetzt, insbesondere in Branchen mit hohem Gasbedarf. In großen Produktionsanlagen für ultragroße integrierte Schaltkreise liefert das Gasversorgungssystem verschiedene Spezialgase wie SiH4, N2O und C2F6 zuverlässig und erfüllt die strengen Prozessanforderungen. Es spielt auch eine entscheidende Rolle in Produktionslinien für Solarzellen, epitaktischen LED-Wachstumsprozessen, der Herstellung von LCD-Displays sowie in epitaktischen Produktionslinien für Glasfasern und Siliziummaterial.

Bei diesen Anwendungen verbessert das Gasversorgungssystem nicht nur die Produktionseffizienz und senkt die Kosten, sondern sorgt auch für Stabilität und Sicherheit. Darüber hinaus erfüllt es strenge Anforderungen an die Gasreinheit und gewährleistet so Produktqualität und Produktionssicherheit.

Mit der kontinuierlichen Entwicklung der Mikroelektronikindustrie steigt die Nachfrage nach ultrareinen Gasen, was höhere Anforderungen an die Sauberkeit und Stabilität des Gasversorgungssystems stellt. Daher werden die Forschung und Entwicklung dieses Systems ständig vorangetrieben und verbessert, um den sich ändernden Marktanforderungen gerecht zu werden.

Insgesamt spielt das Gasversorgungssystem mit seinen effizienten, stabilen und sicheren Eigenschaften eine immer wichtigere Rolle in der industriellen Produktion, der Energieentwicklung, der wissenschaftlichen Forschung und anderen Bereichen.

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Hier sind einige konkrete Beispiele für die Anwendungsfälle von Gasversorgungssystemen:

1. Pneumatischer Transport von Rückasche aus Zementwerken: Ein Zementwerk hat ein pneumatisches Transportsystem mit dichter Phase eingeführt, das Druckgas als Energiequelle verwendet, um die Rückasche durch eine pneumatische Pumpe und Transportrohrleitungen zu einem dafür vorgesehenen Aufnahmebehälter für die Rückasche zu transportieren. Dieses System transportiert die Asche vollständig in geschlossenen Rohrleitungen, ohne Staubemissionen oder Leckstellen, und gewährleistet so eine sichere und saubere Produktionsumgebung. Gleichzeitig erreicht das System einen vollautomatischen Betrieb und eine vollautomatische Steuerung durch ein automatisches PLC-Programmier- und Mikrocomputer-Steuerungssystem, was die Produktionseffizienz und -sicherheit erheblich verbessert.

2. Halbleiterfertigung: Im Halbleiterproduktionsprozess werden extrem hohe Anforderungen an die Gasreinheit und Versorgungsstabilität gestellt. Daher setzen viele Halbleiterhersteller Massengasversorgungssysteme ein, um feine Massengase wie Stickstoff, Sauerstoff und Wasserstoff zu liefern. Diese Systeme nutzen eine Ultrahochdruck-Gastransporttechnologie, um die Gasreinheit und -stabilität sicherzustellen und so die Qualität und Integrität der Chipproduktion zu gewährleisten.

3. Additive Fertigung von Medizinprodukten: Additive Fertigung (AM) wird zunehmend bei der Herstellung von medizinischen Geräten eingesetzt. Beim PBF-Prozess kann die Verwendung der richtigen Menge an Stickstoff oder Argon unter ultrahohem Druck die strukturelle Integrität verbessern. Daher werden auch Massengasversorgungssysteme verwendet, um hochwertige Gasversorgungen für die additive Fertigung von medizinischen Geräten bereitzustellen und so die Qualität und Leistung der hergestellten medizinischen Geräte sicherzustellen.

Diese Anwendungsfälle sind nur ein kleiner Teil der Anwendungen von Gasversorgungssystemen in verschiedenen Bereichen. Tatsächlich ist sein Anwendungsbereich viel breiter. Mit dem Fortschritt der Technologie und der Entwicklung der Branche werden Gasversorgungssysteme in Zukunft noch mehr Branchen effiziente und stabile Gasversorgungslösungen bieten.

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