Einführung der Verbindung von Gasleitungen in Halbleiterfabriken

Die Verbindung ermöglicht es der Maschine, die gewünschte Funktion durch das Anschließen von Nutzungsleitungen zu erreichen. Die Verbindung dient dazu, die von der Fabrik bereitgestellten Nutzungsleitungen (wie Wasser, Elektrizität, Gas, Chemikalien usw.) über den vorgesehenen Anschlusspunkt (Port oder Steckverbindung) mittels Leitungen und Kabeln mit der Maschine und ihren Zubehörteilen zu verbinden.

Diese Nutzungsleitungen werden von der Maschine genutzt, um die bezahlten Prozessanforderungen zu erfüllen. Nach dem Einsatz der Maschine wird wiederverwendbares Wasser oder Abfall (wie Abwasser, Abgas usw.), das von der Maschine erzeugt wurde, über die Leitung mit dem vorgesehenen Anschluss des Systems verbunden und dann an das Fabrikanlagen-Rückgewinnungssystem oder das Abgasreinigungssystem weitergeleitet. Das Verbindungsprojekt umfasst hauptsächlich: CAD, Einzug, Kernbohrung, Seismik, Vakuum, Gas, Chemie D.I, PCW, CW, Express, Elektrizität, Abfluss.

GAS HOOK-UP Grundverständnis von Fachwissen

In Halbleiterfabriken wird der sogenannte Anschluss der Gasleitung als "sp1hook up" im Bezug auf Buckgas (allgemeine Gase wie CDA, GN2, pN2, PO2, Phe, par, H2 usw.) bezeichnet, und der Abzweigpunkt vom Ausgangspunkt des Gasspeicherbehälters der Gasquelle bis zur Neben-Hauptleitung durch die Hauptleitung wird als "sp1hook up" bezeichnet, was vom Abzweigausgangspunkt bis zum Eingangspunkt der Maschine (Werkzeug) oder des Geräts führt. Dies wird als sekundäre Konfiguration (sp2hook up) bezeichnet.

Für Spezialgase (Spezialgase wie korrosive, toxische, entzündliche, Heizgase usw.) ist deren Gasquelle ein Gascabinet. Vom G/C-Ausgangspunkt bis zum primären Eingangspunkt der VMB (Ventil-Hauptbox) oder VMP (Ventil-Haupttafel) wird dies als sp1hook up bezeichnet, und vom sekundären Ausgangspunkt der VMB oder VMP bis zum Maschinen-Eingangspunkt wird dies als sp2 hook bezeichnet.