Penerapan gas pengolahan gas ekor gas khusus! Indonesia

Peralatan pengolahan gas tail dapat menangani gas yang digunakan dalam proses etsa dan proses pengendapan uap kimia di industri semikonduktor, kristal cair, dan energi surya, termasuk SiH4, SiH2Cl2, PH3, B2H6, TEOS, H2, CO, NF3, SF6, C2F6, WF6 , NH3, N2O, dan seterusnya.

Metode pengolahan gas buang

Menurut karakteristik pengolahan gas buang, pengolahan dapat dibagi menjadi empat jenis pengolahan:

1. Jenis pencucian air (pengolahan gas korosif)

2. Tipe pengoksidasi (berurusan dengan gas yang mudah terbakar dan beracun)

3. Adsorpsi (sesuai dengan jenis bahan adsorpsi untuk menangani gas buang yang sesuai).

4. Jenis pembakaran plasma (semua jenis gas buang dapat diolah).

Setiap jenis pengobatan memiliki kelebihan dan kekurangan serta cakupan penerapannya masing-masing. Jika metode pengolahannya adalah pencucian air, peralatannya murah dan sederhana, serta hanya dapat menangani gas yang larut dalam air; jangkauan penerapan jenis pencucian air listrik lebih tinggi dibandingkan dengan jenis pencucian air, namun biaya pengoperasiannya tinggi; tipe kering memiliki efisiensi pengolahan yang baik, dan tidak berlaku untuk aliran gas yang mudah tersumbat atau dialirkan.

Bahan kimia dan produk sampingannya yang biasa digunakan dalam industri semikonduktor dapat dikategorikan menurut sifat kimianya dan rentangnya yang berbeda:

1. Gas yang mudah terbakar seperti SiH4H2, dll.

2. Gas beracun seperti AsH3, PH3, dll.

3. Gas korosif seperti HF, HCl, dll.

4. Gas rumah kaca seperti CF4, NF3, dll.

Karena keempat gas di atas berbahaya bagi lingkungan atau tubuh manusia, harus mencegah emisi langsung ke atmosfer, sehingga pabrik semikonduktor umum dipasang dengan sistem pengolahan gas buang terpusat yang besar, namun sistem ini hanya membersihkan air buangan, jadi penerapannya terbatas pada gas yang larut dalam air jarak jauh, dan tidak dapat menangani pembagian gas buang proses semikonduktor yang selalu berubah dan halus. Oleh karena itu, perlu dilakukan pemilihan dan pencocokan peralatan pengolahan gas buang yang sesuai dengan karakteristik gas yang diperoleh dari setiap proses untuk mengatasi masalah gas buang secara kecil-kecilan. Karena area kerja sebagian besar jauh dari sistem pengolahan gas buang pusat, seringkali karena karakteristik gas menyebabkan kristalisasi atau akumulasi debu di dalam pipa, mengakibatkan penyumbatan pipa yang menyebabkan kebocoran gas, dan dalam kasus yang serius, bahkan menyebabkan ledakan. , tidak dapat memastikan keselamatan kerja staf lokasi. Oleh karena itu, di area kerja perlu dikonfigurasikan peralatan pengolahan gas buang kecil yang sesuai dengan karakteristik gas proses, untuk mengurangi gas buang yang tergenang di area kerja, untuk menjamin keselamatan personel.