Bulk Gas Leveringssysteem
Het bulkgasleveringssysteem is een gespecialiseerd systeem dat is ontworpen voor het opslaan, vervoeren en gebruiken van grote hoeveelheden gassen. Het bestaat voornamelijk uit een gasvoorzieningssysteem en een leidingstelsel. Het gasvoorzieningssysteem omvat onderdelen zoals gasbronnen, zuiveringsystemen en kwaliteitscontrolemechanismen om de kwaliteit en stabiliteit van de gassen te waarborgen. Tegelijkertijd zijn de afleidingsleidingen volgens specifieke eisen ontworpen om de stroom snelheid en drukveranderingen tijdens het transport van gas te controleren, zodat er veilig en efficiënt wordt geleverd.
Dit systeem wordt breed gebruikt in verschillende sectoren, vooral in die industrieën met een hoge gasvraag. In grote productiefaciliteiten voor ultra-grote-schaal geïntegreerde schakelingen levert het bulk gas delivery systeem stabiel verschillende specialiteitsgassen zoals SiH4, N2O en C2F6, wat de strenge procesvereisten voldoet. Het speelt ook een cruciale rol in zonnecelproductielijnen, LED-epitatiegroei-processen, LCD-schermproductie, evenals in de productielijnen voor optische vezels en siliciummaterialen epitaxie.
In deze toepassingen verbetert het bulk gas delivery systeem niet alleen de productie-efficiëntie en verlaagt kosten, maar zorgt het ook voor stabiliteit en veiligheid. Bovendien voldoet het aan strenge eisen voor gaspureiteit, waarmee productkwaliteit en producties veiligheid worden gegarandeerd.
Met de continue ontwikkeling van de microelektronica-industrie neemt de vraag naar ultra-reine gassen toe, wat hogere eisen stelt aan de reinheid en stabiliteit van het bulkgasleveringsysteem. Daarom wordt het onderzoek en ontwikkeling van dit systeem voortdurend verbeterd om de veranderende markteisen te voldoen.
In het algemeen speelt het bulkgasleveringsysteem, met zijn efficiënte, stabiele en veilige kenmerken, een steeds belangrijker rol in de industriële productie, energieontwikkeling, wetenschappelijk onderzoek en andere gebieden.
Hieronder staan enkele specifieke voorbeelden van toepassingsgevallen van bulkgasleveringsystemen:
1. Pneumatische vervoer van teruggebrachte as in cementfabrieken: Een cementfabriek heeft een dichte-fase pneumatische transportstelsel geïmplementeerd, dat gecomprimeerde gas gebruikt als de stuwkracht om de terugkeer as door een pneumatische pomp en transportleidingen naar een aangewezen cement ontvangstbak voor terugkeer as te vervoeren. Dit systeem transporteert de as volledig binnen gesloten leidingen, zonder enige stofuitstoot of lekkagepunten, waardoor een veilige en schone productieomgeving wordt gegarandeerd. Tegelijkertijd bereikt het systeem volledig automatische bediening en controle via een PLC-automatisch programmeren en microcomputer controle systeem, wat de productiefiteit en veiligheid aanzienlijk verbetert.
2. Halvegeleiderfabricage: In het proces van halveterproductie zijn er uiterst hoge eisen aan de gaszuiverheid en -voorzieningsstabiliteit. Daarom gebruiken veel halvetechipproducenten bulk gas leveringssystemen om fijne bulk gassen zoals stikstof, zuurstof en waterstof te leveren. Deze systemen gebruiken ultra-hoogdruk gastransporttechnologie om de gaszuiverheid en stabiliteit te waarborgen, waardoor de kwaliteit en integriteit van chipproductie gegarandeerd wordt.
3. Additief vervaardigen van medische apparatuur: Additief vervaardigen (AM) wordt steeds vaker gebruikt bij de productie van medische apparatuur. In het PBF-proces kan het gebruik van de juiste hoeveelheid ultra-hoogdruk stikstof of argon de structurele integriteit verbeteren. Daarom worden ook bulk gas leveringssystemen gebruikt om hoge-kwaliteit gasvoorzieningen te bieden voor additief vervaardigen van medische apparatuur, zodat de kwaliteit en prestaties van de geproduceerde medische apparatuur gewaarborgd zijn.
Deze toepassingsgevallen zijn slechts een klein deel van de toepassingen van het bulk gas leveringssysteem in verschillende sectoren. In werkelijkheid is het toepassingsgebied veel breder. Met de voortgang van de technologie en de ontwikkeling van de industrie zal het bulk gas leveringssysteem blijven voorzien in efficiente en stabiele gasvoorzieningsoplossingen voor nog meer industrieën.