Aansluiting van gasleidingen in halvegeleidersfabrieken

Aansluiten maakt het de machine mogelijk om de gewenste functie te bereiken door verbinding te maken met de voorzieningen. Aansluiten betekent dat de voorzieningen (zoals water, elektriciteit, gas, chemicaliën, enz.) die door de fabriek worden geleverd, worden verbonden met de machine en haar bijbehorende onderdelen via de gereserveerde aansluitpunten (poort of stekker) door middel van leidingen en kabels.

Deze voorzieningen worden gebruikt door de machine om de procesvereisten te voldoen waarvoor hij is ontworpen. Nadat de machine wordt gebruikt, wordt herbruikbaar water of afval (zoals afvalwater, afgas, enz.) dat door de machine wordt geproduceerd, verbonden met het gereserveerde contactpunt van het systeem via de leidingen en vervolgens doorgestuurd naar het herstelsysteem van de fabriek of het afvalgassysteem. Het aansluitproject omvat voornamelijk: CAD, installeren, kernboor, seismisch, vacuüm, gas, chemisch D.I, PCW, CW, express, elektriciteit, afvoer.

GAS HOOK-UP Basisbegrip van vakspecifieke kennis

In halvegeleiderfabrieken wordt de zogenaamde aansluiting van het gaspijpleidingssysteem "sp1hook up" genoemd in termen van buckgas (algemene gassen zoals CDA, GN2, pN2, PO2, Phe, par, H2, enz.). De aftappunt vanaf het uitlaatpunt van de gastank van de gasvoorziening tot de sub-hoofdlijn via de hoofdlijn wordt "sp1hook up" genoemd, wat loopt vanaf het aftapuitlaatpunt tot het invoerpunt van de machine (tool) of apparatuur, en wordt secundaire configuratie (sp2hook up) genoemd.

Voor specialiteitgas (speciaal gas zoals corrosieve, giftige, brandbare, verhittingsgassen, enz.) is de gasvoorzieningsbron een gascabinet. Vanaf het g/c-uitlaatpunt tot het primaire invoerpunt van VMB (valve main box) of VMP (valve main panel) wordt sp1hook up genoemd, en vanaf het secundaire uitlaatpunt van VMB of VMP naar het invoerpunt van de machine wordt sp2 hook genoemd.