Systeemvereisten voor elektronische bereidingsprocessen voor speciale gassen！ Nederland

Het productieproces van elektronische speciale gassen omvat verschillende processen, zoals synthese, zuivering, vullen, analyse en testen, mengen en proportioneren. Om te voldoen aan de stroomafwaartse eisen van de halfgeleiderproductie wat betreft zuiverheid en onzuiverheidsgehalte, is het zuiveringsproces erg belangrijk. Afhankelijk van de samenstelling van het stroomopwaartse synthesegas of ruwe gas wordt destillatie bij lage temperatuur of meertrapszuivering uitgevoerd.

Hoge reinheidseisen

Het bereidingsproces van elektronische speciale gassen kan worden onderverdeeld in twee hoofdblokken: voorbereiding en zuivering van de stroomopwaartse synthese, die tot het chemische productieproces behoort. De omvang van de productiepijplijn is groot en er zijn geen speciale vereisten voor het reinheidsniveau. Na stroomafwaartse zuivering wordt het product gevuld met gas en gemengd voor bereiding. De productiepijplijn is klein en er worden eisen gesteld aan het reinheidsniveau. Het moet voldoen aan de standaardspecificaties van het halfgeleiderproductieproces.

Hoge afdichtingseisen

Vanwege hun chemische activiteit stellen elektronische speciaalgassen ook hoge eisen aan de materialen en afdichting van het productieprocessysteem. Net als bij de productie van halfgeleiders voorkomt het interfacelekkage veroorzaakt door de introductie van onzuiverheden of corrosie van speciale gassen. Het systeem kan ook worden gebruikt om de introductie van onzuiverheden of lekkage van het grensvlak veroorzaakt door de corrosie van speciale gassen te voorkomen.

Stabiliteitseisen van hoge kwaliteit

De kwaliteit van speciale elektronische gassen omvat een aantal indicatoren, zoals de zuiverheid en het gehalte aan onzuivere deeltjes. Elke verandering in de indicatoren zal de resultaten van het stroomafwaartse productieproces van halfgeleiders beïnvloeden. Om de consistentie van de elektronische indicatoren voor speciale gasproducten te garanderen, is het voorbereidingsprocessysteem om de stabiliteit van de indicatoren te controleren daarom ook erg belangrijk.

Toepassing van speciale gasvoorbereidingsprocessystemen

Vanwege de chemische activiteit en kwaliteitseisen van EGP moet het productiesysteem voor de EGP-bereiding, vooral het stroomafwaartse zuiveringssysteem, voldoen aan de eisen van materialen met een hoge zuiverheid, hoge afdichting, hoge zuiverheid en consistentie van hoge kwaliteit, en moet de constructie van technische componenten voldoen aan de normen van de halfgeleiderindustrie.

Wat wij gewoonlijk ‘hoge zuiverheid’ noemen, is in theorie de definitie van de zuiverheid van een stof, zoals zeer zuivere gassen, zeer zuivere chemicaliën, enz. Processystemen of processysteemcomponenten die worden toegepast op zeer zuivere stoffen worden ook wel aangeduid als ‘hoge zuiverheid’. tot hoge zuiverheid, zoals hoogzuivere systemen en hoogzuivere kleppen. Elektronische speciale gasvoorbereidingssystemen vereisen zeer zuivere toepassingsfittingen, kleppen en andere vloeistofcomponenten, dat wil zeggen fittingen en kleppen die zijn verwerkt met zeer zuivere materialen en schone productieprocessen, en zijn gestructureerd voor eenvoudig spoelen en reinigen. Met hoge afdichtingsprestaties. Deze vloeistofcomponenten zijn ontworpen om te voldoen aan het processtroompad van de toepassing, waarbij gebruik wordt gemaakt van de technische en constructievereisten van de halfgeleiderindustrie.

Zeer zuivere leidingverbindingen

VCR-vlakafdichtingsverbindingen met metalen pakkingen en stomplasverbindingen met automatische geleiding worden veel gebruikt in veeleisende procesvereisten voor de zuiverheid van vloeistofsystemen vanwege het vermogen om te voldoen aan zowel een soepele overgang van het stromingspad bij de verbinding, geen stagnatiezone als hoge afdichtingsprestaties. vormen een afdichting met een smal oppervlak door een relatief zachte metalen pakking te extruderen. Herhaalbare en consistente verbindings- en afdichtingsprestaties zijn verzekerd telkens wanneer de vervormde pakking wordt verwijderd en vervangen.

Buizen worden gelast met behulp van een automatisch orbitaal lassysteem. De buis wordt van binnen en van buiten beschermd door zeer zuiver gas. De wolfraamelektrode roteert langs de baan voor hoogwaardig lassen. Bij volledig geautomatiseerd orbitaal lassen smelt de buis zonder dat er andere materialen worden geïntroduceerd. Het bereiken van een las van hoge kwaliteit door het herhaaldelijk controleren van dunwandige buizen is moeilijk te bereiken met handmatig lassen.

VCR Metalen pakking Face Seal-verbinding

Automatische orbitale stuiklasverbinding van pijpen

Hoge zuiverheidskleppen

De chemische activiteit van ontvlambare, explosieve, corrosieve en giftige speciale elektronische gassen stelt hoge eisen aan de afdichting van de klep. Om de betrouwbaarheid van de afdichting te verbeteren, is de eis van pakkingloze kleppen om externe lekkage te voorkomen, dat wil zeggen het schakelen van de klepsteel en het kleplichaam tussen de afdichting met behulp van metalen balgen of metalen membranen, om lekkage als gevolg van slijtage te elimineren en vervorming van de pakkingafdichting. Kleppen met balgafdichting en membraanafdichting worden vaak gebruikt in processystemen voor toepassingen met een hoge zuiverheid vanwege de grotere betrouwbaarheid van de afdichtingen en de eenvoudigere reiniging en spoelvervanging van de interne kleponderdelen.

Balgafgedichte kleppen zijn een pakkingloze naaldklepconstructie die een langzame opening en stroomregeling mogelijk maakt. Gebruikt voor het elektronisch vullen van speciaal gas met veiligheidseisen of op precursorbronflessen met hoge veiligheidseisen. De volledig metalen steeltipafdichtingen maken extreem lage bedrijfstemperaturen mogelijk en worden gebruikt voor het cryogeen vloeibaar maken van speciale elektronische gassen in tanks voor eindproducten na cryogene destillatie voor leidingen.

De veerloze membraanafdichtingsklep is een 1/4"-openklapbare klep voor gebruik als automatisch geregelde schakelklep in de toevoerleidingen. Ze worden vaak gebruikt in toepassingen met ultrahoge druk en hoge zuiverheid vanwege hun eenvoudige interne stroompad, kleine intern volume en gemak van purgeren en vervangen.

Membraanafsluiters die via de steeltip sluiten, kunnen langzaam openen en bij hogere bedrijfsdrukken worden gebruikt dan niet-geveerde membraanafsluiters. Ze worden veel gebruikt bij het vullen van elektronische speciale gassen onder hoge druk of bij flessen met precursorbronnen.

De secundaire afdichtingsbalgklep kan niet alleen worden gebruikt in processystemen met ultralage temperaturen bij -200 graden, maar voorkomt ook lekkage van gevaarlijke media in de atmosfeer. Meestal gebruikt voor zeer gevaarlijke elektronische speciale gassen, zoals silaanvulsystemen.

Shenzhen Wofei Technology Co., Ltd, met meer dan 10 jaar ervaring in de levering van industriële en speciale gassen, materialen, gastoevoersystemen en gastechniek voor de halfgeleider-, LED-, DRAM- en TFT-LCD-markten, kunnen wij u voorzien van de noodzakelijke materialen om uw producten naar de voorgrond van de industrie te duwen. We kunnen niet alleen een breed scala aan kleppen en fittingen leveren voor speciale halfgeleidergassen, maar we kunnen ook gasleidingen en apparatuurinstallaties voor onze klanten ontwerpen. Als u op dit gebied vragen heeft, neem dan contact met ons op via 27919860.