Anvendelse av spesiell gass halegassbehandlingsgass！ Norge

Avgassbehandlingsutstyr kan håndtere gasser som brukes i etseprosesser og kjemiske dampavsetningsprosesser i halvleder-, flytendekrystall- og solenergiindustrien, inkludert SiH4, SiH2Cl2, PH3, B2H6, TEOS, H2, CO, NF3, SF6, C2F6, WF6 , NH3, N2O og så videre.

Eksosbehandlingsmetode

I henhold til egenskapene til eksosbehandling, kan behandlingen deles inn i fire typer behandling:

1. Vannvaskingstype (behandling av etsende gasser)

2. Oksiderende type (som håndterer brennbare og giftige gasser)

3. Adsorpsjon (i henhold til typen adsorpsjonsmateriale for å håndtere den tilsvarende eksosgassen).

4. Plasmaforbrenningstype (alle typer avgasser kan behandles).

Hver type behandling har sine egne fordeler og ulemper, så vel som sitt anvendelsesområde. Når behandlingsmetoden er vannvask, er utstyret billig og enkelt, og kan kun håndtere vannløselige gasser; bruksområdet for den elektriske vannvasketypen er høyere enn for vannvasketypen, men driftskostnaden er høy; den tørre typen har god behandlingseffektivitet, og er ikke anvendelig for gassstrømmen som er lett å tette eller strømme.

Kjemikalier og deres biprodukter som vanligvis brukes i halvlederindustrien kan kategoriseres i henhold til deres kjemiske egenskaper og deres forskjellige områder:

1. Brannfarlige gasser som SiH4H2, etc.

2. Giftige gasser som AsH3, PH3, etc.

3. Etsende gasser som HF, HCl, etc.

4. Drivhusgasser som CF4, NF3 osv.

Siden de ovennevnte fire gassene er skadelige for miljøet eller menneskekroppen, må de forhindre direkte utslipp til atmosfæren, så det generelle halvlederanlegget er installert med et stort sentralisert avgassbehandlingssystem, men dette systemet er bare vannvaskende eksos, så det er applikasjonen er begrenset til langdistanse vannløselige gasser, og kan ikke håndtere den stadig skiftende og subtile inndelingen av halvlederprosessens eksosgass. Derfor er det nødvendig å velge og matche det tilsvarende avgassbehandlingsutstyret i henhold til gassegenskapene avledet fra hver prosess for å løse avgassproblemet på en liten måte. Siden arbeidsområdet for det meste er borte fra det sentrale avgassbehandlingssystemet, fører ofte på grunn av gassegenskaper til krystallisering eller støvakkumulering i rørledningen, noe som resulterer i tilstopping av rørledningen som fører til gasslekkasje, og i alvorlige tilfeller til og med forårsake en eksplosjon , kan ikke sikre at stedets ansattes arbeidssikkerhet. Derfor, i arbeidsområdet trenger å konfigurere en liten avgassbehandling utstyr egnet for egenskapene til prosessgassen, for å redusere den stillestående eksosen i arbeidsområdet, for å sikre sikkerheten til personell.