Anvending av spesialgass for behandling av avslutningsgass!

Utstøpsbehandlingsutstyr kan håndtere gasser som brukes i etteringsprosesser og kjemisk dampavlagning i semifører-, væskekristall- og solenergiindustrien, herunder SiH4, SiH2Cl2, PH3, B2H6, TEOS, H2, CO, NF3, SF6, C2F6, WF6, NH3, N2O og så videre.

Metode for utstøpsbehandling

Ifølge egenskapene til utstøpsbehandlingen kan behandlingen deles inn i fire typer behandling:

1. Vandvasketype (behandling av korrosive gasser)

2. Oksidasjonstype (håndtering av forbrennelige og giftige gasser)

3. Adsorbsjon (etter typen av adsorbsjonsmateriale for å håndtere de tilsvarende utstøpsgassene).

4. Plasmaforbrennings type (alle typer utstøp kan behandles).

Hver type behandling har sine egne fordeler og ulemper, samt sitt anvendelsesområde. Når behandlingsmetoden er vannvasking, er utstyr inexpensive og enkelt, og kan bare behandle vannløselige gasser; anvendelsesområdet for den elektriske vannvaskings typen er større enn den vanlige vannvaskings typen, men driftskostnadene er høyere; den tørre typen har god behandlings-effektivitet, og er ikke relevant for gassstrømmer som lett blir stoppet eller flyter.

Kjemikalier og deres biprodukter som ofte brukes i semiforeindustrien kan kategoriseres etter deres kjemiske egenskaper og deres ulike omfatter:

1. Flammebare gasser som SiH4H2, osv.

2. Giftige gasser som AsH3, PH3, osv.

3. Korrosive gasser som HF, HCl, osv.

4. drivhusgasser som CF4, NF3, osv.

Da de ovennevnte fire gassene er skadelige for miljøet eller menneskets kropp, må direkte utslipp av dem til atmosfæren forhindres. Derfor har de fleste halvlederfabrikker installert et stort sentralt avfallsutslippsbehandlingsystem, men dette systemet gjør bare vannskrubbing av utslippet. Dets anvendelsesområde er derfor begrenset til lange avstander med vannoppløselige gasser og kan ikke håndtere de stadig forandrende og komplekse utslipp fra halvlederprosessen. Derfor er det nødvendig å velge og tilpasse det tilhørende avfallsutslippsbehandlingsutstyr etter gasegenskapene fra hver enkelt prosess for å løse utslippsproblemet på en mindre skala. Ettersom arbeidsområdet vanligvis ligger langt unna sentralsystemet for behandling av avfallsutslipp, fører gasegenskapene ofte til krylling eller akkumulering av støv i rørene, noe som fører til at rørene blir blokkert og forårsaker gassutslipp. I alvorlige tilfeller kan dette endog føre til eksplosjoner, og det er umulig å garantere sikkerheten for ansatte på arbeidsstedet. Derfor bør det i arbeidsområdet settes inn et kompakt avfallsutslippsbehandlingsutstyr som passer til egenskapene til prosessgassen for å redusere opphopningen av utslipp i arbeidsområdet og sikre personnelsikkerheten.