Bulk Gas Delivery System
Bulk-gassleveransesystemet er et spesiallaget system som er designet for å lagre, transportere og bruke store mengder gasser. Det består hovedsakelig av et gassforsyningsystem og et rørledningsystem. Gassforsyningsystemet omfatter komponenter som gaskilder, rensetilsystemer og kvalitetsovervåkingsmekanismer for å sikre kvaliteten og stabilheten på gassene. I mellomtiden er leveranserørene designet etter spesifikke krav for å kontrollere strømrate og trykkendringer under gasstransporten, for å sikre en trygg og effektiv leveranse.
Dette systemet brukes mye i ulike felter, spesielt i de industriene med høy gassbehov. I store produksjonsanlegg for ultra-store integrerte kretser leverer bulk-gassystemet stabilt forskjellige spesialgasser som SiH4, N2O og C2F6, og oppfyller strenge prosesskrav. Det spiller også en avgjørende rolle i solcelleproduksjonslinjer, LED-epitaksialvekstprosesser, LCD-skjeremaskinering, samt i optisk fiber og silisiummaterialepitaksialprodusering.
I disse anvendelsene forbedrer bulk-gassystemet ikke bare produsjonseffektiviteten og reduserer kostnadene, men det sikrer også stabilhet og sikkerhet. Dessuten oppfyller det strikte krav til gassrenhet, noe som garanterer produktkvalitet og produsjonssikkerhet.
Med den kontinuerlige utviklingen av mikroelektronikkindustrien øker kravene til ultra-rene gasser, noe som stiller høyere krav til renhet og stabilitet i bulk-gassleveranse-systemet. Derfor er forskning og utvikling av dette systemet i stadig fremgang for å møte de endrede markedskravene.
I alt, med sine effektive, stabile og sikre karakteristikk, spiller bulk-gassleveranse-systemet en stadig viktigere rolle i industriell produksjon, energiutvikling, vitenskapelig forskning og andre områder.
Her er noen spesifikke eksempler på anvendelsesfall av bulk-gassleveranse-systemer:
1. Pneumatisk transport av cementfabrikkretsask: En sementfabrikk har innført et tettfase pneumatisk transportasjonssystem, som bruker komprimert gass som drivkraft for å transportere returasken gjennom en pneumatisk pump og transportasjonsrør til en spesifikk sementreturash mottaksboks. Dette systemet transporterer asken fullstendig innenfor lukkede rør uten noen støvutslipp eller lekkasjesteder, og sikrer dermed en trygg og ren produksjonsmiljø. Samtidig oppnår systemet fullstendig automatisk drift og kontroll gjennom et PLC-automatisk programmeringssystem og mikrodatamaskin-kontrollsysteem, noe som betydelig forbedrer produktiviteten og sikkerheten.
2. Halvlederprodusjon: I prosessen for produksjon av halvledere er kravene til gassrenhet og leveringsstabilitet ekstremt høye. Derfor bruker mange halvlederskjemmer bulk-gassleveranse-systemer for å levere store mengder gass som nitrogen, oksygen og hydrogen. Disse systemene bruker ultra-høytrykksgasstransportteknologi for å sikre gassrenhet og stabilitet, noe som garanterer kvaliteten og integriteten på chip-produksjonen.
3. Additiv fremstilling av medisinsk utstyr: Additiv framstilling (AM) brukes stadig mer i produksjonen av medisinsk utstyr. I PBF-prosessen kan bruk av riktig mengde ultra-høytrykks-nitrogen eller argon forbedre strukturell integritet. Derfor brukes også bulk-gassleveranse-systemer for å levere høykvalitetsgass for additiv framstilling av medisinsk utstyr, for å sikre kvaliteten og ytelsen på det produserte medisinske utstyret.
Disse anvendelsesfallene er bare en liten del av de store gassleveranse-systemenes anvendelser i ulike felter. I virkeligheten er dets anvendelsesområde mye bredere. Med teknologisk utvikling og industriforandring, vil det store gassleveransek systemet fortsette å levere effektive og stabile gassforsyning-løsninger til flere industrier.