Systemkrav for forberedning av elektroniske spesialgasser!

Produksjonsprosessen for elektroniske spesialgasser omfatter flere prosesser som syntese, rensetning, fylling, analyse og testing, blanding og dosering. For å oppfylle kravene fra nedstrøms semifabrikatorproduksjon på renhet og innhold av ukrensende stoffer er rensetningsprosessen veldig viktig. Avhengig av sammensetningen av opptilstrøms syntegass eller rågass utføres lavtemperaturdistillasjon eller flertrinnsrensetning.

Høy renesskrav

Forberedelsesprosessen av elektroniske spesialgasser kan deles inn i to hovedblokker: oppstrøms syntese og forrenning, som tilhører kjemeproduksjonsprosessen. Størrelsen på produksjonsrøret er stort, og det finnes ingen spesielle krav til renhet. Etter nedstrøms forrenning fylles produktet med gass og blanding for forberedelse. Produksjonsrøret er liten og har krav til renhet. Det må oppfylle standardspesifikasjonen for semiforproduksjonsprosessen.

Høyte krav til tettighet

Grunnet deres kjemiske aktivitet stiller elektroniske spesialgasser også høye krav til materialene og teppe i produksjonssystemet. Liksom kravene fra semiførerkretslagering forhindrer det innføringen av forurensete stoffer eller korrosjon av spesialgasser som fører til lekkasje ved grensesnitt. Systemet kan også brukes til å forhindre innføringen av forureninger eller lekkasje forårsaket av korrosjon av spesialgasser.

Høy kvalitetsstabilitetskrav

Kvaliteten på elektroniske spesialgasser omfatter flere indikatorer, blant annet renhet og innhold av urenhetspartikler. En hvilken som helst endring i disse indikatorene vil påvirke resultatene fra den nedstrøms semiførerkretslageringsprosessen. Derfor er det viktig å kontrollere stabilheten på indikatorene i forberedelsesprosesssystemet for å sikre konsekvensen i produktindikatorene for elektroniske spesialgasser.

Anvendelse av forberedelsesprosesssystemer for spesialgasser

Grunnet den kjemiske aktiviteten og kvalitetskravene til EGP må produktjonssystemet for EGP-forberedelse, spesielt nedstrømsrensesystemet, oppfylle kravene til høy renselighetsmaterialer, høy tetthet, høy renselighet og høy kvalitetskonsekvens, og byggingen av ingeniørkomponenter må oppfylle standardene i halvlederproduksjonsnæringen.

Det vi vanligvis refererer til som "høy rensning" er teoretisk sett definisjonen av renheten til en substans, for eksempel høyrengte gasser, høyrengte kjemikalier, osv. Prosesssystemer eller proseskomponenter som brukes på høyrengte stoffer kalles også høyrengte, for eksempel høyrengte systemer og høyrengte klaffere. Elektroniske spesialgasspreparasjonssystemer krever høyrengte monteringskomponenter, klaffere og andre flytende komponenter, det vil si monteringskomponenter og klaffere som er behandlet med høyrengte materialer og rene produksjonsprosesser, og er bygd opp for enkle rensete og rensing. Med høy tettighetsprestasjon. Disse flytende komponentene er designet for å møte kravene til prosessflytveien i applikasjonen, ved å bruke ingeniør- og konstruksjonskrav fra semifabrikatorindustrien.

Høyrengte rørforbindelser

VCR metallgulvansj utselesforbindelser og automatiske veiledede buttvekslingsforbindelser brukes mye i krav om renhet i fluidsystemer på grunn av evnen til å oppfylle både en glad overgang av strømveis ved forbindelsen, ingen stagnasjonsområde, og høy forseglingsevne. VCR-forbindelser danner en smal overflateforsegling ved å presse ut en relativt bløk metallgulvannsj. Gjentakelig og konsistent forbindelses- og forseglingsevne garanteres hver gang den deformerte gulvannsjen tas vekk og erstattes.

Rør veldes ved hjelp av et automatisk orbitalveldingssystem. Røret er beskyttet av høyrenhetsgass inni og ute. Tungsteneloden roterer langs banen for høykvalitetsvelding. Fullstendig automatisk orbitalvelding smelter røret uten å innføre andre materialer, oppnår en høykvalitetsvelding ved å kontrollere tyndveggede rør gjentatte ganger, noe som er vanskelig å oppnå med håndvelding.

VCR Metallgulvannsj Utselesforbindelse

Automatisk Orbital Butt-Velding Forbindelse av Rør

Høy Renhet Kraner

Kjemisk aktiviteten til flammebærende, eksplosive, korrosive og giftige elektroniske spesialgasser stiller høye krav til tettningen av ventilen. For å forbedre tettighetsreliabiliteten, kreves det pakningsløse ventil for å forebygge ekstern lekkasje, det vil si at skiftingen mellom ventilstenget og ventilkroppen tettet med metallbølger eller metallmembran for å eliminere lekkasje som følge av slitasje og deformasjon av pakningstettningen. Bølgetette og membrantette ventil brukes vanlig i prosessystemer for høyrenhetssaker på grunn av større tettighetsreliabilitet og lettere rensing og utskiftning av ventilinnert.

Luftsluttede knekkvalver er en pakningsløs nålventilkonstruksjon som tillater sakte åpning og strømregulering. Brukes for elektroniske spesialgasser med sikkerhetskrav til strøm eller på precursor-kildeflesker med høye sikkerhetskrav. Den all-metall stangspissen tillater ekstremt lave driftstemperaturer og brukes for kryogenisk likfikasjon av elektroniske spesialgasser i ferdigprodukttanker etter kryogen distillasjon for rørlegging.

Fjærsløs membranlukkeventil er en 1/4" snapp-åpen ventil som brukes som et automatisk kontrollert skifteventil i leveringsrørlegging. De brukes vanligvis i ultra-høytrykks, høyreinhetssituasjoner på grunn av deres enkle internt strømvei, liten intern volum og enkel renning og erstatning.

Membranforseglete valve som lukkes via stavenes spiss kan åpnes sakte og brukes ved høyere driftstrykk enn membranforseglete valve uten fjær. De brukes mye på høytrykkselektroniske spesialgasser eller forerstoffer i flasker.

Den sekundære forseglingsskrubberventilen kan ikke bare brukes i ultralavtemperaturprosesssystemer på -200 grader, men forhindre også utslipp av farlige medier til atmosfæren. Vanligvis brukes de for veldig farlige elektroniske spesialgasser, som silangfyllingssystem.

Shenzhen Wofei Technology Co., Ltd, med over 10 års erfaring i levering av industrielle og spesialgasser, materialer, gassystemer og gasskjøring for semiforels-, LED-, DRAM- og TFT-LCD-markedet, kan vi tilby deg de nødvendige materialene for å få produktene dine frem til fronten av bransjen. Vi kan ikke bare levere en bred vifte av knekkere og tilbehør for elektroniske spesialgasser innen semiforel, men vi kan også designe gassledninger og utstyllingsinstallasjon for våre kunder. Hvis du har noen behov på dette området, ta kontakt med oss på 27919860.