Systemkrav for elektroniske spesialgassforberedelsesprosesser！ Norge

Produksjonsprosessen av elektroniske spesialgasser inkluderer flere prosesser som syntese, rensing, fylling, analyse og testing, blanding og proporsjonering. For å oppfylle kravene til nedstrøms halvlederproduksjon for renhet og urenhetsinnhold, er renseprosessen svært viktig. Avhengig av sammensetningen av oppstrøms syntesegass eller rågass, utføres lavtemperaturdestillasjon eller flertrinnsrensing.

Høye krav til renhold

Forberedelsesprosessen for elektroniske spesialgasser kan deles inn i to hovedblokker av oppstrøms synteseforberedelse og rensing, som tilhører den kjemiske produksjonsprosessen. Størrelsen på produksjonsrørledningen er stor, og det er ingen spesielle krav til renslighetsnivå. Etter nedstrømsrensing fylles produktet med gass og blandes for tilberedning. Produksjonsrørledningen er liten og har krav til renslighetsnivå. Den må oppfylle standardspesifikasjonen for halvlederproduksjonsprosessen.

Høye krav til tetting

På grunn av sin kjemiske aktivitet stiller elektroniske spesialgasser også høye krav til materialer og forsegling av produksjonsprosesssystemet. Akkurat som kravene til halvlederproduksjon, forhindrer den grensesnittlekkasje forårsaket av innføring av urenheter eller korrosjon av spesielle gasser. Systemet kan også brukes til å forhindre innføring av urenheter eller lekkasje av grensesnitt forårsaket av korrosjon av spesielle gasser.

Høye kvalitetskrav til stabilitet

Kvaliteten på elektroniske spesialgasser inkluderer en rekke indikatorer som renhet og innhold av urenheter. Enhver endring i indikatorene vil påvirke resultatene av nedstrøms halvlederproduksjonsprosessen. Derfor, for å sikre konsistensen til de elektroniske spesialgassproduktindikatorene, er forberedelsesprosesssystemet for å kontrollere stabiliteten til indikatorene også veldig viktig.

Anvendelse av spesialgassprepareringsprosesssystemer

På grunn av den kjemiske aktiviteten og kvalitetskravene til EGP, må produksjonssystemet for EGP-preparering, spesielt nedstrøms rensesystemet, oppfylle kravene til materialer med høy renhet, høy forsegling, høy renhet og høykvalitetskonsistens, og konstruksjonen av konstruerte komponenter må oppfyller standardene til halvlederproduksjonsindustrien.

Det vi vanligvis refererer til som "høy renhet" er teoretisk sett definisjonen av renheten til et stoff, slik som gasser med høy renhet, kjemikalier med høy renhet osv. Prosesssystemer eller prosesssystemkomponenter som brukes på stoffer med høy renhet, er også referert til. til så høy renhet, for eksempel høy renhet systemer og høy renhet ventiler. Elektroniske spesialgassprepareringssystemer krever applikasjonsfittings, ventiler og andre væskekomponenter med høy renhet, dvs. fittings og ventiler som er behandlet med materialer med høy renhet og rene produksjonsprosesser, og er strukturert for enkel rensing og rengjøring. Med høy tetningsytelse. Disse væskekomponentene er designet for å møte prosessflytbanen til applikasjonen, ved å bruke ingeniør- og konstruksjonskravene til halvlederindustrien.

Rørforbindelser med høy renhet

VCR-metallpakningsflateforseglingsforbindelser og automatiske styrestumpsveiseforbindelser er mye brukt i krevende prosesskrav for væskesystemrenhet på grunn av evnen til å møte både jevn overgang av strømningsbanen ved tilkoblingen, ingen stagnasjonssone og høy tetningsytelse.VCR-tilkoblinger danne en smal overflatetetning ved å ekstrudere en relativt myk metallpakning. Repeterbar og konsekvent tilkobling og tetningsytelse er sikret hver gang den deformerte pakningen fjernes og erstattes.

Rør sveises ved hjelp av et automatisk orbitalsveisesystem. Røret er beskyttet av gass med høy renhet innvendig og utvendig. Wolframelektroden roterer langs banen for sveising av høy kvalitet. Helautomatisk orbitalsveising smelter røret uten å introdusere andre materialer, å oppnå en sveis av høy kvalitet ved gjentatte ganger å kontrollere tynnveggede rør er vanskelig å oppnå med manuell sveising.

VCR metallpakning ansiktsforsegling

Automatisk orbital stumpsveising tilkobling av rør

Ventiler med høy renhet

Den kjemiske aktiviteten til brennbare, eksplosive, etsende og giftige elektroniske spesialgasser stiller høye krav til tetning av ventilen. For å forbedre tetningspåliteligheten, er kravet om pakningsløse ventiler for å forhindre ekstern lekkasje, det vil si å bytte drift av ventilstammen og ventilhuset mellom tetningen ved hjelp av metallbelg eller metallmembran, for å eliminere lekkasje på grunn av slitasje og deformasjon av pakningstetningen. Belgforseglede og membranforseglede ventiler brukes ofte i prosesssystemer for applikasjoner med høy renhet på grunn av den større påliteligheten til tetningene og enklere rengjøring og utskifting av ventilens indre.

Belgforseglede ventiler er en pakkeløs nåleventilkonstruksjon som muliggjør langsom åpning og strømningsregulering. Brukes til elektronisk spesialgassfylling med sikkerhetsstrømningskrav eller på forløperkildeflasker med høye sikkerhetskrav. Stopptuppene i metall tillater ekstremt lave driftstemperaturer og brukes til kryogen flytendegjøring av elektroniske spesialgasser i ferdigprodukttanker etter kryogen destillasjon for rør.

Fjærløs membranforseglingsventil er en 1/4" snap-open ventil for bruk som en automatisk styrt koblingsventil i leveringsrør. De brukes ofte i ultrahøyt trykk og høy renhet på grunn av deres enkle indre strømningsbane, liten internt volum, og enkel rensing og utskifting.

Membrantette ventiler som lukkes via spindelspissen kan åpne sakte og brukes ved høyere driftstrykk enn ikke-fjærende membrantette ventiler. De er mye brukt på høytrykks elektronisk spesialgassfylling eller forløperkildeflasker.

Den sekundære tetningsbelgventilen kan ikke bare brukes i prosesssystemer med ultralav temperatur ved -200 grader, men forhindrer også lekkasje av farlige medier til atmosfæren. Brukes vanligvis til svært farlige elektroniske spesialgasser, for eksempel silanfyllingssystem.

Shenzhen Wofei Technology Co., Ltd, med over 10 års erfaring i levering av industri- og spesialgasser, materialer, gassforsyningssystemer og gassteknikk for halvleder-, LED-, DRAM-, TFT-LCD-markedet, kan vi gi deg nødvendige materialer for å presse produktene dine i forkant av bransjen. Vi kan ikke bare levere et bredt spekter av ventiler og armaturer for halvleder elektroniske spesialgasser, men vi kan også designe gassrør og utstyrsinstallasjoner for våre kunder. Hvis du har behov på dette området, vennligst kontakt oss på 27919860.