Popularizarea gazelor de puritate ultra-înaltă în fabricarea semiconductoarelor! România

Gazele de puritate ultra-înaltă sunt esențiale de-a lungul lanțului de aprovizionare cu semiconductori. De fapt, pentru o fabrică tipică, gazele de înaltă puritate reprezintă cea mai mare cheltuială de material după siliciu în sine. În urma penuriei globale de cipuri, industria se extinde mai repede decât oricând - iar cererea de gaze de înaltă puritate este în creștere.

Cele mai frecvent utilizate gaze în vrac în fabricarea semiconductoarelor sunt azotul, heliul, hidrogenul și argonul.

Azot

Azotul reprezintă 78% din atmosfera noastră și este extrem de abundent. De asemenea, se întâmplă să fie inert din punct de vedere chimic și neconductiv. Drept urmare, azotul și-a găsit drumul într-un număr de industrii ca gaz inert rentabil.

Industria semiconductoarelor este un mare consumator de azot. Se preconizează că o fabrică modernă de producție de semiconductori va folosi până la 50,000 de metri cubi de azot pe oră. În fabricarea semiconductoarelor, azotul acționează ca un gaz de inertizare și purjare de uz general, protejând plăcile sensibile de siliciu de oxigenul reactiv și umiditatea din aer.

Heliu

Heliul este un gaz inert. Aceasta înseamnă că, la fel ca azotul, heliul este inert din punct de vedere chimic - dar are și avantajul suplimentar de conductivitate termică ridicată. Acest lucru este deosebit de util în fabricarea semiconductoarelor, permițându-i să conducă eficient căldura departe de procesele cu energie ridicată și ajută la protejarea lor de daune termice și reacții chimice nedorite.

Hidrogen

Hidrogenul este utilizat pe scară largă în întregul proces de fabricație a electronicelor, iar producția de semiconductori nu face excepție. În special, hidrogenul este utilizat pentru:

Recoacere: Vaferele de siliciu sunt de obicei încălzite la temperaturi ridicate și răcite lent pentru a repara (recoace) structura cristalină. Hidrogenul este folosit pentru a transfera căldura uniform la napolitană și pentru a ajuta la reconstruirea structurii cristaline.

Epitaxie: Hidrogenul de puritate ultra-înaltă este utilizat ca agent reducător în depunerea epitaxială a materialelor semiconductoare precum siliciul și germaniul.

Depunere: Hidrogenul poate fi dopat în folii de siliciu pentru a face structura lor atomică mai dezordonată, ajutând la creșterea rezistivității.

Curățarea cu plasmă: Plasma cu hidrogen este deosebit de eficientă în îndepărtarea contaminării cu staniu din sursele de lumină utilizate în litografia UV.

Argon

Argonul este un alt gaz nobil, deci prezintă aceeași reactivitate scăzută ca azotul și heliul. Cu toate acestea, energia scăzută de ionizare a argonului îl face util în aplicațiile semiconductoare. Datorită ușurinței sale relative de ionizare, argonul este utilizat în mod obișnuit ca gaz de plasmă primar pentru reacțiile de gravare și depunere în fabricarea semiconductorilor. În plus, argonul este folosit și în laserele cu excimeri pentru litografie UV.

De ce contează puritatea

De obicei, progresele în tehnologia semiconductoarelor au fost realizate prin scalarea dimensiunilor, iar noua generație de tehnologie a semiconductoarelor este caracterizată de dimensiuni mai mici ale caracteristicilor. Acest lucru aduce beneficii multiple: mai mulți tranzistori într-un anumit volum, curenți îmbunătățiți, consum mai mic de energie și comutare mai rapidă.

Cu toate acestea, pe măsură ce dimensiunea critică scade, dispozitivele semiconductoare devin din ce în ce mai sofisticate. Într-o lume în care poziția atomilor individuali contează, pragurile de toleranță la erori sunt foarte strânse. Ca rezultat, procesele moderne de semiconductor necesită gaze de proces cu cea mai mare puritate posibilă.

WOFLY este o întreprindere de înaltă tehnologie specializată în ingineria sistemelor de aplicare a gazului: sistem electronic special de gaze, sistem de circuite de gaz de laborator, sistem industrial centralizat de alimentare cu gaz, sistem de gaz în vrac (lichid), sistem de conducte secundare de gaz de înaltă puritate și gaz de proces special, livrare chimică sistem, sistem de apă pură pentru a oferi un set complet de servicii de inginerie și tehnice și produse auxiliare din consultanța tehnică, planificarea generală, proiectarea sistemului, selectarea echipamentelor, componentele prefabricate, instalarea și construcția site-ului proiectului, testarea generală a sistemului, întreținere și alte produse de sprijin într-o manieră integrată.