تطبيق غاز خاص لمعالجة الغاز الذيل!

يمكن لمعدات معالجة الغاز الخلفي التعامل مع الغازات المستخدمة في عمليات الحفر وعمليات ترسيب البخار الكيميائي في صناعات أشباه الموصلات والكريستال السائل والطاقة الشمسية، بما في ذلك SiH4 وSiH2Cl2 وPH3 وB2H6 وTEOS وH2 وCO وNF3 وSF6 وC2F6 وWF6. ، NH3، N2O، وهكذا.

طريقة معالجة غاز العادم

وفقاً لخصائص معالجة غاز العادم يمكن تقسيم المعالجة إلى أربعة أنواع من المعالجة:

1. نوع الغسيل المائي (معالجة الغازات المسببة للتآكل)

2. النوع المؤكسد (يتعامل مع الغازات القابلة للاحتراق والسامة)

3. الامتزاز (حسب نوع مادة الامتزاز للتعامل مع غاز العادم المقابل).

4.نوع الاحتراق بالبلازما (يمكن معالجة جميع أنواع الغازات العادمة).

ولكل نوع من العلاج مزاياه وعيوبه بالإضافة إلى نطاق تطبيقه. عندما تكون طريقة المعالجة هي الغسيل بالماء، تكون المعدات رخيصة وبسيطة، ولا يمكنها التعامل إلا مع الغازات القابلة للذوبان في الماء؛ نطاق تطبيق نوع غسل المياه الكهربائية أعلى من نوع غسل المياه، ولكن تكلفة التشغيل مرتفعة؛ يتمتع النوع الجاف بكفاءة معالجة جيدة، ولا ينطبق على تدفق الغاز الذي يسهل انسداده أو تدفقه.

يمكن تصنيف المواد الكيميائية ومنتجاتها الثانوية المستخدمة بشكل شائع في صناعة أشباه الموصلات وفقًا لخصائصها الكيميائية ونطاقاتها المختلفة:

1. الغازات القابلة للاشتعال مثل SiH4H2 وغيرها.

2. الغازات السامة مثل AsH3، PH3 وغيرها.

3. الغازات المسببة للتآكل مثل HF وHCl وغيرها.

4. الغازات الدفيئة مثل CF4، NF3 وغيرها.

نظرًا لأن الغازات الأربعة المذكورة أعلاه ضارة بالبيئة أو جسم الإنسان، فيجب منع انبعاثها المباشر إلى الغلاف الجوي، لذلك تم تركيب محطة أشباه الموصلات العامة بنظام مركزي كبير لمعالجة غاز العادم، ولكن هذا النظام عبارة عن عادم لتنقية المياه فقط، لذلك فهو يقتصر التطبيق على الغازات القابلة للذوبان في الماء لمسافات طويلة، ولا يمكن التعامل مع التقسيم الدقيق والمتغير باستمرار لغاز عادم عملية أشباه الموصلات. لذلك، من الضروري اختيار ومطابقة معدات معالجة غاز العادم المقابلة وفقًا لخصائص الغاز المستمدة من كل عملية من أجل حل مشكلة غاز العادم بطريقة بسيطة. نظرًا لأن منطقة العمل تكون في الغالب بعيدة عن نظام معالجة غاز العادم المركزي، فغالبًا ما تؤدي خصائص الغاز إلى التبلور أو تراكم الغبار في خط الأنابيب، مما يؤدي إلى انسداد خط الأنابيب مما يؤدي إلى تسرب الغاز، وفي الحالات الخطيرة، قد يؤدي حتى إلى حدوث انفجار ، لا يمكن التأكد من سلامة عمل موظفي الموقع. لذلك، في منطقة العمل تحتاج إلى تكوين معدات معالجة غاز العادم الصغيرة المناسبة لخصائص غاز العملية، من أجل تقليل غاز العادم الراكد في منطقة العمل، لضمان سلامة الموظفين.