تطبيق معالجة غاز الطرف الخاص بالغاز！

يمكن لمعدات معالجة الغاز المؤخر أن تتعامل مع الغازات المستخدمة في عمليات التآكل وعمليات الودائع البخارية الكيميائية في صناعات شبه الموصلات، والبلور السائل، والطاقة الشمسية، بما في ذلك SiH4، SiH2Cl2، PH3، B2H6، TEOS، H2، CO، NF3، SF6، C2F6، WF6، NH3، N2O، وما إلى ذلك.

طريقة معالجة غاز العادم

وفقًا لخصائص معالجة غاز العادم، يمكن تقسيم المعالجة إلى أربع أنواع من المعالجة:

1. نوع الغسيل بالماء (معالجة الغازات الحمضية)

2. نوع الأكسدة (التعامل مع الغازات القابلة للاشتعال والسموم)

3. الامتصاص (وفقًا لنوع مادة الامتصاص للتعامل مع غاز العادم المقابل).

4. نوع احتراق البلازما (يمكن معالجة جميع أنواع غازات العادم).

لكل نوع من العلاج مزاياه وعيوبه الخاصة به وكذلك نطاق تطبيقه. عندما يكون أسلوب العلاج هو غسل بالماء، تكون المعدات رخيصة وبسيطة ويمكنها التعامل فقط مع الغازات القابلة للذوبان في الماء؛ يتجاوز نطاق تطبيق النوع الكهربائي الذي يستخدم الماء ذلك الخاص بالنوع الذي يستخدم الماء فقط، ولكن تكلفته التشغيلية مرتفعة؛ النوع الجاف لديه كفاءة علاج جيدة، ولا ينطبق على التدفقات الغازية التي من السهل انسدادها أو تدفقها.

يمكن تصنيف المواد الكيميائية ومنتجاتها الثانوية الشائعة المستخدمة في صناعة شرائح الدوائر المتكاملة حسب خصائصها الكيميائية ونطاقاتها المختلفة:

1. الغازات القابلة للاشتعال مثل SiH4H2 وما إلى ذلك.

2. الغازات السامة مثل AsH3، PH3 وما إلى ذلك.

3. الغازات الحمضية مثل HF، HCl وما إلى ذلك.

4. غازات الاحتباس الحراري مثل CF4، NF3 وما إلى ذلك.

بما أن الغازات الأربعة المذكورة أعلاه ضارة بالبيئة أو الجسم البشري، فيجب منع انبعاثها المباشر إلى الغلاف الجوي. لذلك، يتم تجهيز معظم مصانع شرائح الدارات المتكاملة بنظام معالجة مركز كبير للنفايات الغازية، لكن هذا النظام يقوم فقط بتنظيف الغاز باستخدام الماء، وبالتالي فإن تطبيقه محدود بالنسبة للغازات القابلة للذوبان في الماء على بعد بعيد، ولا يمكنه التعامل مع التغيرات المستمرة والتفصيلية لعملية تصنيع الشريحة نصف الموصلة. لذلك، من الضروري اختيار وتطابق المعدات المناسبة لمعالجة النفايات الغازية حسب خصائص الغازات الناتجة عن كل عملية لحل مشكلة النفايات الغازية بطريقة صغيرة. وبما أن منطقة العمل تكون غالبًا بعيدة عن نظام معالجة النفايات الغازية المركزية، فغالبًا ما يؤدي ذلك إلى تبلور الغاز أو تراكم الغبار داخل الأنابيب، مما يؤدي إلى انسداد الأنابيب وتسرب الغازات، وفي الحالات الشديدة قد يتسبب في انفجار، ولا يمكن ضمان سلامة العاملين في الموقع. لذلك، يجب تجهيز منطقة العمل بمعدات صغيرة لمعالجة النفايات الغازية تناسب خصائص غاز العملية لتقليل تراكم النفايات الغازية في منطقة العمل وضمان سلامة الأفراد.